处理装置、装置管理控制器、以及装置管理方法与流程

本发明涉及对衬底进行处理的衬底处理装置，例如，涉及可掌握对衬底进行成膜处理的半导体制造装置的运转状态的技术。

背景技术：

在半导体制造领域中，为了谋求衬底处理装置的运转率和生产效率的提高，以器件制造商(半导体器件的制造商)为主体进行着装置的信息管理。作为基本的监视方法，通常使用如下方法：通过服务器收集半导体制造装置的信息，利用统计解析技术等来检查装置的异常。

例如，在专利文献1中记载了对数据的健全性进行管理的方法，在专利文献2中记载了与发生了数据异常时的异常解析有关的技术，在专利文献3中记载了对构成衬底处理装置的部件进行保养管理的技术。这些技术是与衬底处理装置连接的管理装置对衬底处理装置的运转状态进行管理的技术。

但是，今后，器件的精细化进一步推进，并且装置的数据量有增加的倾向，为此谋求着不增加器件制造商的负担地、在装置侧进行自我监视的生产管理。而且，已成为iot(internetofthings：物联网)强化时代，谋求着在装置侧进行数据处理的技术。因此，有必要采取用于使装置更加稳定运转的对策。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5855841号公报

专利文献2：日本专利第5546197号公报

专利文献3：日本专利第3300816号公报

技术实现要素：

本发明的目的在于，能够提供表示衬底处理装置能否稳定地运转的信息的构成。

根据本发明的一个方案，提供如下的结构：至少具有对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、和对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部，基于从由部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和数据匹配控制部所获取的用力(必需能力)监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息。

发明效果

根据上述结构，能够提供表示衬底处理装置能否稳定地运转的信息。

附图说明

图1是表示适合用于本发明的一实施方式的衬底处理装置的立体图。

图2是表示适合用于本发明的一实施方式的衬底处理装置的侧剖视图。

图3是表示适合用于本发明的一实施方式的控制系统的功能结构的图。

图4是表示适合用于本发明的一实施方式的主控制器的功能结构的图。

图5是表示适合用于本发明的一实施方式的衬底处理系统的结构的图。

图6是说明适合用于本发明的一实施方式的装置管理控制器的功能结构的图。

图7是说明本发明的一实施方式的汇总画面显示程序的处理流程的图。

图8是表示本发明的一实施方式的装置的运用状态的汇总画面的显示例的图。

图9是本发明的一实施方式的装置的运转状态的诊断方法项目列表的一图示例。

图10是说明本发明的一实施方式的数据匹配动作的图。

图11是说明本发明的一实施方式的文件匹配的显示画面的图。

图12是本发明的一实施方式的文件匹配的处理流程图。

图13是本发明的一实施方式的保养部件管理的处理流程图。

图14是表示本发明的一实施方式的装置状态监视控制部的功能结构的图。

图15是本发明的一实施方式的装置状态监视的处理流程图。

图16是说明本发明的一实施方式的装置状态监视的图。

图17是本发明的一实施方式的数据解析支援控制的处理流程图。

图18是表示本发明的一实施方式的装置的运用状态的汇总画面的显示例的图。

附图标记说明

1…衬底处理装置(装置)、201…主控制器(操作部)、215…装置管理控制器、215b…画面显示控制部、215c…数据匹配控制部、215d…部件管理控制部、215e…装置状态监视控制部、215h…存储部、227…操作显示部。

具体实施方式

(衬底处理装置的概要)

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。首先，在图1、图2中，对实施本发明的衬底处理装置(以下，有时仅称为装置)1进行说明。

衬底处理装置1具备壳体2，在该壳体2的正面壁3的下部开设有为了维护而设置的正面口4，正面口4通过正面门5而被开闭。

在壳体2的正面壁3上以将壳体2的内外连通的方式开设有晶片盒(pod)搬入搬出口6，晶片盒搬入搬出口6通过前闸门7而被开闭，在晶片盒搬入搬出口6的正面前方侧设置有装载口(loadport)8，装载口8构成为将所载置的晶片盒9对位。

晶片盒9是密闭式的衬底搬送容器，通过未图示的工序内搬送装置而被搬入到装载口8上，或者从装载口8上搬出。

在壳体2内的前后方向的大致中央部的上部设置有旋转式晶片盒架11，该旋转式晶片盒架11构成为收纳多个晶片盒9。

旋转式晶片盒架11具备：垂直地立起设置并间歇旋转的支柱12；和在上中下层的各位置处呈放射状支承在该支柱12上的多层架板13。架板13构成为以载置多个晶片盒9的状态收纳晶片盒9。

在旋转式晶片盒架11的下方设有晶片盒开启器14，该晶片盒开启器14载置晶片盒9，还具有能够对该晶片盒9的盖进行开闭的结构。

在装载口8、旋转式晶片盒架11、晶片盒开启器14之间设置有晶片盒搬送机构15。晶片盒搬送机构15能够保持晶片盒9地升降、且能够在水平方向上前进后退，构成为在装载口8、旋转式晶片盒架11、晶片盒开启器14之间搬送晶片盒9。

在壳体2内的前后方向上的大致中央部的下部，在后端的范围内设有副壳体16。在该副壳体16的正面壁17以上下两层排列地开设有一对晶片搬入搬出口(衬底搬入搬出口)19，该晶片搬入搬出口19用于相对于副壳体16内搬入搬出晶片(以后，也称为衬底)18。对各个衬底搬入搬出口19设有晶片盒开启器14。

晶片盒开启器14具备：载置晶片盒9的载置台21、和对晶片盒9的盖进行开闭的开闭机构22。晶片盒开启器14构成为，通过开闭机构22对载置于载置台21的晶片盒9的盖进行开闭，由此对晶片盒9的晶片出入口进行开闭。

副壳体16构成相对于配设有晶片盒搬送机构15和旋转式晶片盒架11的空间(晶片盒搬送空间)为气密的移载室23。在移载室23的前侧区域设置有晶片移载机构(衬底移载机构)24，该衬底移载机构24具备载置衬底18的所需张数(在图示中为5张)的晶片载置板25。晶片载置板25能够在水平方向上直线移动、在水平方向上旋转，并能够升降。衬底移载机构24构成为相对于舟皿(以后，也称为衬底保持体)26进行衬底18的装填及推出。

在移载室23的后侧区域，构成收容舟皿26并使舟皿26待机的待机部27，在该待机部27的上方设有纵型的处理炉28。处理炉28在内部形成处理室29，该处理室29的下端部成为炉口部，该炉口部通过炉口闸门31而被开闭。

在壳体2的右侧端部与副壳体16的待机部27的右侧端部之间设置有用于使舟皿26升降的舟皿升降机32。在与舟皿升降机32的升降台连结的臂33上水平地安装有作为盖体的密封盖34。盖体34垂直地支承舟皿26，能够在将该舟皿26装入到上述处理室29的状态下气密地封堵炉口部。

舟皿26构成为将多张(例如，50张～125张左右)的晶片18以其中心对齐的水平姿势多层地保持。

在与舟皿升降机32侧相对的位置配设有清洁单元35。清洁单元35由供给风扇及防尘过滤器构成，以供给净化后的环境气体或者为非活性气体的清洁气体36。

构成为，从清洁单元35吹出的清洁气体36流通到晶片移载机构24和舟皿26，然后被未图示的管道吸入，而被排出到壳体2的外部，或者被清洁单元35吹出到移载室23内。

接下来，对装置1的动作进行说明。

当晶片盒9被供给到装载口8时，晶片盒搬入搬出口6通过前闸门7而被打开。装载口8上的晶片盒9被晶片盒搬送装置15从晶片盒搬入搬出口6通过而搬入到壳体2的内部，并被载置到旋转式晶片盒架11的指定的架板13上。晶片盒9被旋转式晶片盒架11暂时保管，然后被晶片盒搬送装置15从架板13搬送到任一方的晶片盒开启器14并被移载到载置台21上，或者从装载口8直接移载到载置台21上。

此时，晶片搬入搬出口19通过开闭机构22而被关闭，在移载室23中流通并充满着清洁气体36。例如，通过使移载室23中作为清洁气体36而充满氮气，将氧浓度设定为20ppm以下，远低于壳体2内部(大气环境气体)的晶片盒搬送空间的氧浓度。

载置于载置台21的晶片盒9的开口侧端面被按压到副壳体16的正面壁17中的晶片搬入搬出口19的开口缘边部，并且该晶片盒9的盖被开闭机构22取下，从而晶片出入口打开。

当晶片盒9被晶片盒开启器14打开后，由衬底移载机构24从晶片盒9取出衬底18，并将衬底18移送到缺口对准机构(未图示)，利用该缺口对准机构对合衬底18之后，衬底移载机构24将衬底18搬入到位于移载室23后方的待机部27，并装填到舟皿26中。

向舟皿26交付了衬底18的衬底移载机构24返回到晶片盒9，并将接下来的衬底18装填到上述舟皿26中。

在一方(上层或下层)的晶片盒开启器14处的利用衬底移载机构24进行的衬底18向舟皿26的装填作业中，由晶片盒搬送装置15从旋转式晶片盒架11向另一方(下层或上层)的晶片盒开启器14搬送并移载其他晶片盒9，同时进行另一方的晶片盒开启器14对晶片盒9的打开作业。

当预先指定的张数的衬底18被装填到舟皿26中时，被炉口闸门31关闭的处理炉28的炉口部通过炉口闸门31而被打开。接着，舟皿26通过舟皿升降机32上升，而被搬入到处理室29中。

装载后，通过密封盖34气密地封堵炉口部。此外，在本实施方式中，在该定时(装载后)执行将处理室29置换为非活性气体的吹扫工序(预吹扫工序)。

通过气体排气机构(未图示)对处理室29进行真空排气，以使处理室29成为所期望的压力(真空度)。另外，通过加热器驱动部(未图示)将处理室29加热到规定温度，以使处理室29成为所期望的温度分布。此外，通过气体供给机构(未图示)向处理室29供给被控制为规定流量的处理气体。

供给到处理室29的处理气体与衬底18的表面接触，在衬底18的表面上实施规定的处理。而且，反应后的处理气体被气体排气机构从处理室29排出。

在经过了预先设定的处理时间后，通过气体供给机构从非活性气体供给源(未图示)供给非活性气体，处理室29被置换为非活性气体，并且处理室29的压力恢复为常压(后吹扫工序)。然后，通过舟皿升降机32并经由盖体34使舟皿26下降。

关于处理后的衬底18的搬出，以与上述说明相反的顺序，将衬底18及晶片盒9搬出到壳体2的外部。未处理的衬底18进一步被装填到上述舟皿26中，反复进行衬底18的批处理。

(控制系统200的功能结构)

接下来，参照图3对以作为操作部的主控制器201为中心的控制系统200的功能结构进行说明。如图3所示，控制系统200具备：操作部201、作为搬送控制部的搬送系统控制器211、作为处理控制部的处理系统控制器212、和作为数据监视部的装置管理控制器215。在本实施方式中，控制系统200被收容在装置1内。

操作部201构成为通过例如100base-t等lan线路而与搬送控制部211及处理控制部212电连接，因此能够进行各装置数据的发送接收和各文件的下载及上传等。

在此，所谓装置数据是装置1在运转状态时产生的数据，例如，是装置1在对衬底18进行处理时使各结构部件动作而产生的数据。例如，可列举装置1在对衬底18进行处理时的处理温度、处理压力、处理气体的流量等与衬底处理有关的数据(监视数据)、例如所成膜的膜厚以及该膜厚的累积值等与制造出的制品衬底的品质有关的数据(处理数据(processdata))、与石英反应管、加热器、阀、mfc(质量流量控制器)等装置1的结构部件有关的数据(部件数据)等数据。

另外，在本实施方式中，装置数据还包含电力、水、气体流量、排气装置等从顾客工厂向装置1提供的数据(设备数据)。另外装置数据还包含与工艺配方执行过程中的报警监视有关的数据(报警发生信息数据)、没有执行工艺配方期间的维护信息(事件数据)、与异常解析有关的数据(异常解析数据)等故障信息数据。

在操作部201上设有供作为外部存储装置的记录介质(例如usb存储器等)插入、拔出的作为安装部的端口。向操作部201安装有与该端口对应的操作系统(os)。另外，在操作部201上经由例如通信网络而连接有外部上级计算机和管理装置。因此，即使装置1设置在清洁室内的情况下，上级计算机也能够配置在清洁室外的办公室等中。另外，管理装置通过lan线路与装置1连接，具有从操作部201收集装置数据的功能。

装置管理控制器215构成为，通过lan线路与操作部201连接，从操作部201收集装置数据，并基于对装置数据加工而生成的数据来导出表示装置的运用状态的指标。此外，关于装置管理控制器215将在后详细描述。

搬送控制部211构成为，与主要由旋转式晶片盒架11、舟皿升降机32、晶片盒搬送装置15、衬底移载机构24、舟皿26以及旋转机构(未图示)构成的衬底搬送系统211a连接并对其进行控制。尤其是，搬送控制部211构成为，经由动作控制器211a而分别控制舟皿升降机32、晶片盒搬送装置15、衬底移载机构24的搬送动作。

处理控制部212具备：温度控制器212a、压力控制器212b、气体流量控制器212c、序列发生器212d。这些温度控制器212a、压力控制器212b、气体流量控制器212c、序列发生器212d构成副控制器，并与处理控制部212电连接，因此能够进行各装置数据的发送接收、各文件的下载及上传等。此外，处理控制部212和副控制器以分体部件的形式进行了图示，但也可以是一体结构。

在温度控制器212a上连接有由加热器及温度传感器等构成的加热机构212a。温度控制器212a构成为，通过对处理炉28的加热器的温度进行控制来调节处理炉28内的温度。此外，温度控制器212a构成为对晶闸管进行控制并且控制向加热器导线束供给的电力。

在压力控制器212b上连接有通过压力传感器、作为压力阀的apc阀及真空泵构成的气体排气机构212b。压力控制器212b构成为，基于由压力传感器检测到的压力值来控制apc阀的开度及真空泵的动作，以使得处理室29内的压力在所期望的定时成为所期望的压力。

气体流量控制器212c由mfc(massflowcontroller：质量流量控制器)构成。序列发生器212d构成为，通过使阀212d开闭而控制来自处理气体供给管和吹扫气体供给管的气体的供给和停止。另外，处理控制部212构成为，对mfc212c、序列发生器212d进行控制，以使得向处理室29内供给的气体的流量在所期望的定时成为所期望的流量。

另外，本实施方式的操作部201、搬送控制部211、处理控制部212、装置管理控制器215能够不依赖专用系统而是使用通常的计算机系统来实现。例如，能够通过从存储有用于执行上述处理的程序的记录介质(usb存储器等)向通用计算机安装该程序来构成执行规定处理的各控制器。

而且，用于供给这些程序的手段是任意的。除了如上述那样经由规定的记录介质供给以外，还可以例如经由通信线路、通信网络、通信系统等来供给。在该情况下，例如，也可以在通信网络的公告板上公告该程序，将该程序叠加在载波上并经由网络来提供。然后，起动像这样提供的程序，并在os的控制下与其他应用程序同样地执行，由此能够执行规定的处理。

(主控制器(操作部)201的结构)

接下来，参照图4说明操作部201的结构。

操作部201构成为包括：主控控制部220、作为主控存储部的硬盘222、包括显示各种信息的显示部和受理来自操作者的各种指示的操作部的操作显示部227、与装置1内外进行通信的作为主控通信部的发送接收模块228。此外，所谓操作者，除了装置操作员以外，还包括装置管理者、装置工程师、保养员、作业者。主控控制部220构成为包括作为处理部的cpu(中央处理装置)224和作为临时存储部的存储器(ram、rom等)226、且具有时钟功能(未图示)的计算机。

在硬盘222中保存有：定义了衬底的处理条件及处理顺序的配方(recipe)等的各配方文件、用于执行这些各配方文件的控制程序文件、定义了用于执行配方的参数的参数文件、以及报错处理程序文件及报错处理的参数文件，除此之外，还保存有包含输入处理参数的输入画面的各种画面文件、各种图标文件等(均未图示)文件。

构成为，在作为显示装置的操作显示部227上显示用于操作装置1的操作画面。操作显示部227的操作画面是例如使用了液晶的触摸面板。另外，操作显示部227也可以是包括含有液晶显示器等显示部以及键盘及鼠标等器件的用户界面部等的结构。

操作显示部227构成为包括操作部和显示部。也可以在操作显示部227的操作画面上设置向衬底搬送系统211a和衬底处理系统(加热机构212a、气体排气机构212b以及气体供给系统212c)输入动作指示的作为输入部的各操作按钮。

操作显示部227受理来自操作画面的作业者进行的输入指示，并将输入的指示数据发送到操作部201。另外，操作显示部227受理用于使在存储器226等中展开的配方、或者在主控存储部222中保存的多个配方中任意的衬底处理配方(也称为工艺配方)等文件执行的指示，并向主控控制部220发送。

在主控通信部228上连接有交换式集线器(switchinghub)等，操作部201构成为与外部计算机和装置1内的其他控制器等进行数据的发送接收。另外，操作部201经由未图示的网络对外部的上级计算机、例如主机计算机发送装置1的状态等装置数据。

(衬底处理方法)

接下来，对使用本实施方式的装置1来实施的、具有规定的处理工序的衬底处理方法进行说明。在此，对于规定的处理工序，列举实施半导体器件的制造工序的工序之一的衬底处理工序(在此为成膜工序)的情况为例。

在实施衬底处理工序时，例如从操作部201将与待实施的衬底处理对应的衬底处理配方(工艺配方)下载到处理控制部212内的ram等存储器中。由此，在配方执行过程中，操作部201能够对处理控制部212和搬送控制部211发出动作指示。此外，衬底处理工序至少具有搬入工序、成膜工序、搬出工序和回收工序。另外，移载工序(也可以包含向装置1投入衬底的衬底投入工序)也可以包含在衬底处理工序中。

(移载工序)

从操作部201对搬送控制部211发出衬底移载机构24的驱动指示。然后，按照来自搬送控制部211的指示，衬底移载机构24开始从作为载置台的交接台21上的晶片盒9向舟皿26移载衬底18的移载处理。该移载处理一直进行到预定的所有衬底18向舟皿26的装填完成。

(搬入工序)

在衬底18向舟皿26的装填结束后，通过按照来自搬送控制部211的指示而动作的舟皿升降机32，使舟皿26在保持着衬底18的状态下上升。舟皿26被装入到形成于处理炉28内的处理室29。构成为，当舟皿26被完全装满后，盖体34就将设于处理炉28下部的作为炉口边缘的歧管(manifold)的下端气密地封堵。

(成膜工序)

以使处理室29的压力成为规定的成膜压力(真空度)的方式，按照来自压力控制部212b的指示并基于由压力传感器测定的压力信息对压力调整装置进行反馈控制。另外，以使处理室29的温度成为规定的温度(成膜温度)的方式，按照来自温度控制部212a的指示并基于作为温度检测器的温度传感器检测到的温度信息来对向加热器的通电情况进行反馈控制。

接下来，按照来自搬送控制部211的指示使基于旋转机构进行的舟皿26及衬底18的旋转开始。然后，在维持为规定的压力、规定的温度的状态下，向舟皿26所保持的多张衬底18供给规定的气体(处理气体)而对衬底18进行规定的处理(例如成膜处理)。

(搬出工序)

当对载置于舟皿26的衬底18进行的成膜工序完成后，按照来自搬送控制部211的指示，之后使基于旋转机构进行的舟皿26及衬底18的旋转停止，通过舟皿升降机32使盖体34下降而使歧管的下端开口，并且将保持着处理完毕的衬底18的舟皿26搬出到处理炉28的外部。

(回收工序)

保持着处理完毕的衬底18的舟皿26被从清洁单元35吹出的清洁气体36极为有效地冷却。然后，当冷却到例如150℃以下时，从舟皿26取出处理完毕的衬底18并移载到晶片盒9中，然后，进行未处理的新衬底18向舟皿26的移载。

通过执行工艺配方，反复执行以上的各工序，由此本实施方式的装置1能够以高生产能力进行例如对衬底18上的膜形成。

(衬底处理系统的结构)

图5是表示在本实施方式中使用的衬底处理系统的结构的图。如图5所示那样，在该衬底处理系统中，主(master，主导)装置1(0)和重复(repeat)装置1(1)～1(6)通过网络连接。在图5的例子中，重复装置1是装置1(1)～1(6)这6台，但不限于6台。

所谓主装置1(0)是具有成为标准的装置数据和文件的衬底处理装置(装置)。主装置1(0)及重复装置具有与装置同样的硬件结构，并具有装置管理控制器215。主装置1(0)是例如进行调整以使装置数据变为准确恰当的装置1的初号机。重复装置是例如第2台以后的装置1，经由网络从主装置1(0)接收主装置1(0)所具有的装置数据和文件的副本，并分别存储到各重复装置的存储部中。

在本实施方式中，将装置管理控制器215设置在装置1内。另外，通过使分别设置于主装置1(0)和各装置1中的装置管理控制器215彼此经由网络连接，能够使各装置1共享主装置的装置数据和文件。另外，由于各装置1能够共享主装置1(0)的装置数据和文件，因此成为能够容易地进行文件匹配、异常原因解析和装置状态监视等的结构。

由此，各装置1成为能够监视装置1是否处于可稳定运转的运用状态的结构。也就是说，能够监视装置1能否持续正常运转的状态、另外是否正在接近故障状态等。

所谓文件匹配是指，装置1使该装置1的各种信息与主装置1(0)的各种信息匹配，具体而言复制主装置1(0)的文件、与装置1(0)的文件进行比较、核对。另外，文件匹配具有在装置数据的复制中不需要使用usb存储器、装置制造商的保养员能够容易地进行作业这样的优点。

(装置管理控制器215的功能结构)

图6是说明在本实施方式中使用的装置管理控制器的功能结构的图。对装置1的健康状态(装置的综合运用状态)进行检查的作为健康检查控制器的装置管理控制器215构成为，导出对装置1的各种运用状态评价的信息(例如，成为装置1的稳定运转的指标的信息，其是从表示对装置1与主装置1(0)之间的装置数据的匹配状态、装置1的装置数据的经时变化量、构成装置1的部件的劣化状态、装置1的故障发生状况等进行监视而得到的结果的数据中的至少一个以上导出的)。

装置管理控制器215可以构成为，进行对装置1的综合运用状态进行评价的信息的量化，例如在后述装置1的运用状态的汇总画面(图8、图18)等上进行显示从而能够一目了然地掌握，另外，还可以构成为，基于将对装置1的综合运用状态进行评价的信息量化而得到的数值来监视装置1的运转状态，在无法稳定运转或者有无法稳定运转的隐患的情况下，发出警报(例如，使警报音鸣响和/或进行显示等)。

另外，装置管理控制器215构成为，能够通过装置1的操作显示部227操作用于导出装置1的稳定运转指标所需的后述4个功能(数据匹配、部件管理、装置状态监视、数据解析支援)。

如图6所示，装置管理控制器215构成为，具备从由画面显示部215a、画面显示控制部215b、数据匹配控制部215c、部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e、数据解析控制部215f构成的组中选择的多个控制部、在与操作部201之间进行该装置1的装置数据的发送接收的通信部215g、至少存储装置数据的存储部215h。此外，在本实施方式中，通过各个控制部执行4个功能(数据匹配、部件管理、装置状态监视、数据解析支援)，但也可以构成为使一个控制部含有所有的功能。另外，在本实施方式中，不限于4个功能，只要有多个功能即可。

装置管理控制器215构成为具有从由以下控制部构成的组中选择的多个控制部，所述以下控制部为：判定从工厂设备供给的设备数据的妥当性的数据匹配控制部215c、对构成装置的结构部件的状态的部件数据的劣化以及消耗程度进行监视的部件管理控制部215d、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部215e、以及对装置的故障信息的产生状况进行监视的数据解析控制部215f。

另外，装置管理控制器215构成为，基于从由部件管理控制部215d所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部215e所获取的装置状态监视结果数据、和数据匹配控制部215c所判定的用力监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息。此外，代替存储部215h，也可以构成为使用主控存储部222和临时存储部226。

另外，如上述那样，在监视结果数据中含有：表示对预先指定的装置数据与对应于该装置数据的标准数据进行比较的结果的数据即装置状态监视结果数据；表示对装置所具有的设备数据与成为该设备数据的基准的基准数据进行核对的结果的数据即用力监视结果数据；表示对装置数据中的示出结构部件的状态的部件数据与示出保养时期的阈值数据进行比较的结果的数据即保养时期监视结果数据；以及表示某规定期间内的故障信息数据的发生频率的故障信息监视结果数据。另外，有时这些监视结果数据也简单地总称为监视结果数据。

装置管理控制器215构成为，在装置1启动时等处理开始前执行数据匹配程序而实现数据匹配控制部215c，在装置1的运转过程中，执行部件管理程序而实现部件管理控制部215d、并执行装置状态监视程序而实现装置状态监视控制部215e。另外，装置管理控制器215构成为，在装置1的运转过程中和停止中，执行报警监视程序和数据解析程序而实现数据解析控制部(报警监视控制部)215f、并通过执行画面显示程序而实现画面显示控制部215b。

装置管理控制器215作为硬件结构而具有与操作部201同样的结构。装置管理控制器215也可以具有收集装置数据并蓄积到存储部215h中的作为数据库的功能，能够对蓄积的装置数据施以加工而使其图表化，并显示到画面显示部215a或操作显示部227上。

此外，在本实施方式中，与具有衬底处理功能和上级报告功能的操作部201另行地设置装置管理控制器215，但不限于这样的方式。例如，当然也可以是，操作部201监视包含与部件的寿命有关的部件数据、与装置状态的监视有关的装置状态监视数据、与报警监视有关的报警发生信息数据等故障信息数据在内的装置数据，并且操作部201具有装置间的数据匹配功能。而且，在本实施方式中，还可以构成为，装置管理控制器215所具有的四个功能(数据匹配、部件管理、装置状态监视、数据解析支援)组入到操作部201、搬送控制部211、处理控制部212中的任一个的控制器中。

(画面显示部215a)

画面显示部215a构成为，在后述的装置1的运用状态的汇总画面(图8、图18)等上显示各种数据的后述的结果数据。但是，在作为显示装置而使用外置的终端或操作显示部227的情况下，也可以省略画面显示部215a。此外，还可以构成为，代替画面显示部215a而使用操作显示部227，或者也可以用为了参照画面而连接的终端等来代替。

(画面显示控制部215b)

画面显示控制部215b通过执行画面显示程序而控制成：将装置1的运用状态的汇总画面等的各种数据加工成画面显示用的数据而生成画面显示数据并更新，且显示到操作显示部227上。

(画面显示控制功能)

接下来，使用图7说明本实施方式中的画面显示控制功能、也就是通过装置管理控制器215的画面显示控制部215b执行的画面显示程序的处理流程。在本实施方式中，说明对后述的装置1的运用状态的汇总画面(图8、图18)进行显示的功能。

如图7所示那样，在该画面显示程序中，按照汇总画面显示工序(图7的步骤s11)、监视结果数据获取工序(s12)、数据判定工序(s13)、判定结果显示工序(s14)的顺序执行。此外，在本实施方式中不限于按照上述工序的顺序，例如也可以在数据判定工序(s13)之后接着进行汇总画面显示工序(s11)。

首先，执行汇总画面显示工序(s11)。由此，如图8及图18所示那样的预先选择的各画面被显示在操作画面上。

接下来，在监视结果数据获取工序(s12)中，画面显示控制部215b从存储部215h获取图6所示的4个控制部(数据匹配控制部215c、部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e、数据解析控制部215f)输出的监视结果数据中的、为了作为汇总画面显示到本实施方式中的操作显示部227上所使用的监视结果数据。

接下来，执行数据判定工序(s13)，进行在s12中获取的监视结果数据的判定和给分。在数据判定工序(s13)中，判定由数据匹配控制部215c、部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e、数据解析控制部215f各自输出的结果数据是正常还是异常、以及异常到何种程度。

被判定为异常的监视结果数据的给分针对由数据匹配控制部215c、部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e、数据解析控制部215f分别输出的每个监视结果数据，使用通过预先决定的规则所分配的分数而计算出。

另外，分数分配在各控制部中赋予加权，在装置状态监视控制部215e中被判定为异常的监视结果数据的分配分数比在部件管理控制部215d中被判定为异常的监视结果数据的分配分数高。

接下来，在判定结果显示工序(s14)中，画面显示控制部215b根据数据判定工序(s13)的判定结果和给分结果分别更新并显示在s11中显示的装置1的运用状态的汇总画面。

(数据匹配控制部215c)

数据匹配控制部215c在装置1的安装(setup)时(例如，第一次启动时)，对装置1所具有的与顾客用力(顾客必需能力)有关的设备数据、和在顾客用力范围确认用的初始值表中示出的作为基准值(幅度)的基准数据进行核对。数据匹配控制部215c将装置1所具有的与用力有关的项目的实测值与基准数据进行比较，根据相对于该基准数据的偏离情况来判定是异常还是正常。该功能在装置1的设置时嵌入到装置管理控制器215中，并监视设备数据。也可以是，在装置1的设置时将主装置1(0)的当前的实测值作为基准数据与装置1所具有的设备数据进行核对。

数据匹配控制部215c确认与用力有关的设备数据是否进入到初始值表所示的基准值的范围内或者进入到主装置的当前值的±3％以内，并作为用力监视结果数据而存储到存储部215h中。具体而言，将被诊断为偏离了基准数据的设备数据和偏离了基准数据的设备数据的数量作为用力监视结果数据而存储到存储部215h中。此时，数据匹配控制部215c构成为能够彼此区分(即，分别能够识别)地存储偏离了基准值的情况下的数据和偏离了主装置的当前值的情况下的数据。

另外，数据匹配控制部215c在装置1的处理开始前，将设备数据与基准数据进行比较，由此数据匹配控制部215c能够防止在设备数据异常的状态下直接执行工艺配方。

此外，也可以构成为，在装置1的处理开始前进行的设备数据的监视不仅由数据匹配控制部215c执行，而且还由数据匹配控制部215c以外的控制部、例如装置状态监视控制部215e执行。

而且，数据匹配控制部215c构成为，通过执行数据匹配程序，而执行文件匹配功能，该文件匹配功能为实施从操作部201接收到的该装置1的文件与主装置1(0)的文件之间的复制和/或比较的功能。该文件匹配功能的详细内容将在后叙述。

(部件管理控制部215d)

部件管理控制部215d通过执行部件管理程序而执行保养时期监视功能，基于从操作部201接收到的该装置1的部件数据(例如，部件的使用次数和使用时间)而更新存储在存储部215h中的部件数据。另外，构成为，对部件管理控制部215d构建了如下结构：基于部件的过去的使用次数和使用时间的变化来预测使用次数和使用时间达到制造商更换推荐值的时期。

使用图13对本实施方式中的部件管理控制部215d进行的保养时期监视的处理流程进行说明。

如图13所示，通过处理控制部212以一定周期向操作部201报告装置数据(图13的步骤s51)。操作部201从收集到的装置数据提取出作为监视对象的部件数据，并将该部件数据以一定周期向装置管理控制器215(部件管理控制部215d)报告(s52)。此外，也可以是，部件管理控制部215d从装置数据提取出部件数据。

部件管理控制部215d针对收集到的部件数据(装置数据)，与对各个部件数据的每一个设定的阈值进行比较(s53)。该阈值可以是部件生产商的推荐值，也可以是根据使用的实际情况而对推荐值实施加减而得到的值。在部件数据没有超过该阈值的情况下(s54中为“否”)，返回到s53，并且将对部件数据和与该部件数据对应的阈值进行比较的结果(正常)作为保养时期监视结果数据而存储到存储部215h中。

另一方面，在部件数据超过了该阈值的情况下(s54中为“是”)，将超过了该阈值这一信息向操作部201通知，并且将对部件数据和与该部件数据对应的阈值进行比较的结果(异常)作为保养时期监视结果数据而存储到存储部215h中(s55)。然后，操作部201将表示保养部件的部件数据超过了阈值的警告显示到操作显示部227上(s56)。

操作部201参照预先保存在主控存储部222中的装置管理数据，来判断由部件数据超过了阈值的保养部件构成的模块的状态是否为下一个动作执行等待状态等能够指定维护的状态(s57)。若为可转至维护的状态(s57中为“是”)，则发出指示以指定维护(s58)。若不为可转至维护的状态(s57中为“否”)，则一直等待直到成为可转至维护的状态。

处理控制部212在从操作部201接收到维护指定时，将相应的模块的状态转移至维护等待状态(s59)，将已转移到维护等待状态的情况通知给操作部201(s60)，并使得不能执行该模块的下一个动作。此外，所谓模块是装置1的结构部位，不必与图8的“模块(module)”一致。

操作部201在s58中发出了维护指示之后从处理控制部212接收到向维护等待状态的转移时，对维护对象模块进行维护指定(s61)。

在维护指定后，针对被指定了维护的处理模块(processmodule)，执行维护(s62)。例如，处理模块的累积膜厚异常的情况下，实施执行清洗配方、或者进行舟皿26更换等的恢复处理。在恢复处理后，进行规定的安装(setup)作业，维护结束(s63)。

操作者在对象模块被维护之后，通过操作显示部227的操作画面进行维护解除指定。于是，操作部201向处理控制部212发出维护解除的指令(s64)。处理控制部212将对象模块的状态变更为下一动作执行等待状态，并将其设为处理控制部212可使用的模块(s65)。

操作部201显示用于催促保养对象的部件数据的初始化的画面(s66)，并且判定保养对象的部件数据有无初始化(s67)。在没有初始化必要的情况下(s67中为“否”)，使该流程图的处理结束，在存在有初始化必要的部件数据的情况下(s67中为“是”)，选择哪个部件是初始化对象部件。

若选择了初始化对象部件，则操作部201向部件管理控制部215d指示进行与维护实施完毕模块相关联的保养部件的部件数据的初始化(s68)。部件管理控制部215d基于来自操作部201的指示进行初始化对象的部件数据的初始化(s69)。

例如，使初始化对象的部件数据的监视值(例如使用次数)清零(存在也称为重置的情况)。此外，也可以构成为，操作部201能够从操作显示部227受理操作员的输入，来使部件数据的监视值清零，如此，从监视部件寿命这一观点出发，能够更高效地掌握部件的动作状况。

另外，构成为，通过该初始化，部件管理控制部215d实施使s53的阈值比较的结果是被判定为异常的保养时期监视结果数据恢复为正常的处理。

根据本实施方式中的部件管理控制部215d的部件管理处理，部件管理控制部215d能够在保养部件的故障前掌握推荐的保养定时，因此能够实现装置1的更为稳定的运转及制品衬底的批次作废比例的降低。

根据本实施方式的部件管理控制部215d的部件管理处理，部件管理控制部215d将操作显示部227切换为对象模块的部件保养画面，并且使与对象模块相关联的保养部件的部件数据初始化，因此在维护后使装置1恢复为能够生产的模块的情况下，能够可靠地进行维护指定的解除。

根据本实施方式中的部件管理控制部215d的部件管理处理，由于部件管理控制部215d能够将保养部件的部件数据(例如使用次数)按时间轴以图表显示在操作显示部227上，因此能够通过操作显示部227画面来预测监视对象部件的监视值的维护时期，从而能够事先准备保养部件。

(装置状态监视控制部215e)

装置状态监视控制部215e通过执行装置状态监视程序来执行装置状态监视功能。装置状态监视控制部215e时时刻刻从操作部201接收到该装置1的装置数据，并更新在存储部215h中存储的装置数据，并且基于从例如主装置1(0)得到的标准数据、即装置1应作为目标的标准数据(例如，反应室温度的经时波形、上限值、下限值等)来时时刻刻进行装置1的装置数据的监视。也就是说，能够时时刻刻将装置1的装置数据与标准数据进行比较来监视装置1的装置数据。由此，能够实现误报少的装置状态的监视。

接下来，使用图14和图15对在装置状态监视控制部215e中执行的装置状态监视程序进行说明。装置状态监视程序保存在装置管理控制器215的存储器内(例如存储部215h中)，实现装置状态监视控制部215e。

如图14所示，装置状态监视控制部215e具备：设定部311、波段生成部312、fdc(faultdetection&classification：故障检测和分类)监视部313、计数显示部314、以及诊断部315。另外，fdc监视部313具备比较部313a、计数部313b以及判定部313c。

设定部311对波段生成部312、fdc监视部313及诊断部315指示进行通过来自操作显示部227的输入(操作指令的输入等)等而指定的波段管理的设定。

波段生成部312基于通过设定部311设定的标准数据、上限的指定值以及下限的指定值而生成波段。在此，所谓波段是指通过使相对于基于标准数据(成为标准的装置所具有的数据，例如，主装置1(0)的主数据(masterdata))的波形具有幅度而规定的范围。具体而言，是指通过在构成标准数据的各数据点的值的基础上指定上限值、或下限值、或者上限值及下限值而规定的范围。

另外，被指定为装置状态监视控制部215e的监视对象的装置数据为装置状态监视数据，表示该装置状态监视数据被装置状态监视控制部215e监视的结果的数据是装置状态监视结果数据。以后，将标准数据作为主数据来进行说明。

fdc监视部313将波段生成部312所生成的波段和从装置1时时刻刻产生的装置数据(装置状态监视数据)进行比较，若装置数据偏离波段预先规定的次数以上，则判断为装置数据异常。另外，构成为，在检测到异常的情况下，例如在操作显示部227上显示检测到异常的主旨。在此，将对波段和装置数据进行比较而偏离波段的数据点称为偏离点。

计数显示部314构成为，针对通过fdc监视部313计数的偏离点，将每次批处理的偏离点的数量显示在操作显示部227上。诊断部315使用异常诊断规则来进行由偏离点的数量构成的统计量的诊断。另外，构成为，在诊断为异常的情况下，例如在操作显示部227上显示检测到异常的主旨。

(fdc监视部)

fdc监视部313将从操作部201接收到的装置数据与基于成为该装置数据的判定基准的主数据而生成的波段进行比较，由此进行装置数据的监视。

比较部313a按构成主数据的数据点的间隔(例如，1秒)来比较装置数据是否没有偏离波段，并将比较结果保存到存储部215h中。比较部313a与偏离波段的数据点的数量无关地，反复进行装置数据的数据点与波段的比较直到不再获取到所指定的装置数据为止。

计数部313b在由比较部313a针对所设定的装置数据结束了所有数据点的比较后，基于保存在存储部215h中的比较结果来对偏离了波段的点的总数进行计数。另外，计数部313b将装置数据的值、主数据的值、与该主数据对应的波段(针对主数据的上限值及下限值)、以及所计数得到的计数值建立关联，并作为关联数据而保存到存储部215h中。

判定部313c在由计数部313b计数得到的计数值超过预先设定的值的情况下，判定为装置数据异常，在为预先设定的值以下的情况下，判定为装置数据正常。将该判定的结果作为装置状态监视结果数据而保存到存储部215h中。

图15是fdc监视部313所进行的监视的流程图。以下，利用图15说明fdc监视部313进行的监视的流程。

在步骤101(s101)中，比较部313a针对被设定为监视对象的项目(诊断对象项目)的装置数据(装置状态监视数据)，从存储部215h读出装置数据的值。

在步骤102(s102)中，比较部313a使用基于成为判定监视对象的装置数据(装置状态监视数据)的基准的主数据而生成的波段，对步骤s101中获取的装置数据的值与波段进行比较。具体而言，比较装置数据的值是否没有超过被设定为波段的上限值或下限值。

在比较的结果为装置数据的值落入波段范围内的情况下，即在装置数据的值为上限值以下且下限值以上的情况下，转移至步骤103。另一方面，在比较的结果为装置数据的值没有落入波段范围内的情况下，即在装置数据的值超过了上限值或者低于下限值的情况下，转移至步骤104。

在步骤103(s103)中，比较部313a判定在步骤200中获取的装置数据的值为正常的正常点，并在存储部215h中保存比较结果(ok)。

另一方面，在步骤104(s104)中，比较部313a判定在步骤101中获取的装置数据的值为异常的偏离点，并在存储部215h中保存比较结果(ng)。

在步骤105(s105)中，比较部313a确认在存储部215h中是否保存有作为装置数据的下一个数据点，在有保存的情况下，转移到步骤101，在没有作为装置数据保存的下一个数据点的情况下，转移到步骤106。

在步骤106(s106)中，计数部313b基于保存在存储部215h中的比较结果对在步骤104中判定为偏离点的数量进行计数。

在步骤107(s107)中，判定部313c对在步骤106中所计数得到的计数值和作为预先设定的次数的阈值进行比较。在计数值为阈值以下的情况下，转移到步骤108，在计数值超过了阈值的情况下，转移到步骤109。

在步骤108(s108)中，判定部313c判定为装置数据正常，并结束该装置数据的监视。

在步骤109(s109)中，判定部313c判定为装置数据异常，并在操作显示部227上显示检测到异常的主旨，结束该装置数据的监视。

此外，在该处理流程中，也可以构成为，将装置数据和比较结果保存到主控存储部222而非存储部215h中。

以上，对由装置状态监视控制部215e执行的fdc之一的波段管理进行了说明，但以往的fdc为u.fdc(userfdc：用户故障检测与分类)，着眼于用户侧(器件制造商侧)的数据为监视对象，不适于与衬底处理装置1的结构部件、例如部件的消耗度有关的监视。也就是说，在利用了spc(statisticalprocesscontrol：统计过程控制)的u.fdc中，作为监视装置状态的功能而不充分。于是，在本发明中，开发了通过独有的fdc(s.fdc(specialfdc：特殊故障检测与分类))来监视装置状态的技术，因此在以下进行说明。

(mfc(massflowcontroller：质量流量控制器)的零点修正)

作为s.fdc，使用图16说明对mfc的零点修正的状态进行监视的实施例。该监视由装置状态监视控制部215e执行。通过该监视，装置状态监视控制部215e求出mfc流量电压相对于批处理数的斜度，由此预测应进行零点修正的批次。所谓批次，是指从晶片18被装填到舟皿26中起，到晶片18在处理室29中被处理后从舟皿26中取出为止。

图16的纵轴是在mfc中流动的气体的流量为零时从mfc输出的流量电压。该流量电压表示在mfc中流动的气体的流量的大小，因此原本必须为零。图16的横轴表示装置1的衬底处理批次数。装置1的批处理按照批次no999、998、···3、2、1的顺序进行。

如图16所示，可知mfc流量电压随着批处理的反复进行而增大，也就是说可知mfc的零点发生了偏离。零点修正用于修正该偏离。成为装置状态监视控制部215e的监视对象的mfc流量电压也包含在装置状态监视数据中。因此，同样地，表示对该mfc流量电压与阈值(上限值)进行比较的结果的数据包含在装置状态监视结果数据中。

在该实施例中，将进行零点修正的mfc流量电压的阈值(上限值)设为0.05v。另外，成为mfc流量电压的监视对象的仅是装置1内大量存在的mfc中与衬底的品质有关的mfc。此外，虽然在此没有记载，但也能够适用于压力传感器的零点修正。

装置状态监视控制部215e在配方开始前的定时和配方执行过程中流动于mfc的气体流量为零的定时，获取mfc流量电压并存储到存储部215h中，并且将所获取的流量电压与阈值进行比较。然后，在所获取的流量电压超过了阈值的情况下，作为装置状态监视结果数据而将表示监视对象的mfc的流量电压为异常的数据存储到存储部215h中，并且在配方结束后进行零点修正。此外，也可以构成为，不将mfc流量电压存储到存储部215h中，而是将其存储到主控存储部222中。

流动于mfc的气体流量为零的定时是该mfc的一次侧(气体流动的上游侧)开闭阀和二次侧(气体流动的下游侧)开闭阀双方均关闭时。装置状态监视控制部215e预先计算出在配方执行过程中成为mfc流量零的定时、也就是一次侧阀和二次侧阀均成为关闭的时刻，当来到该时刻时，从mfc获取mfc流量电压，并与阈值进行比较。

另外，装置状态监视控制部215e构成为，针对一个mfc将一次批处理中获取的多个mfc流量电压中最大的流量电压与阈值进行比较。因此，即使一次超过了阈值的情况下，装置状态监视控制部215e也判定为mfc流量电压异常，并将表示mfc的流量电压为异常的数据存储到存储部215h中。此外，在所获取的流量电压没有达到阈值的情况下，作为装置状态监视结果数据将表示监视对象的mfc的流量电压为正常的数据存储到存储部215h中。

而且，装置状态监视控制部215e针对一个mfc将在一个批处理中获取的多个mfc流量电压中最大的流量电压存储到存储部215h中。然后，针对每一批次、或者每多个批次求出mfc流量电压相对于批次数(图16的横轴)的斜度，并根据该斜度预测mfc流量电压达到阈值的批次、也就是应进行零点修正的批次，并将预测结果显示到操作显示部227上。例如，如图16所示的虚线圆圈a那样显示。圆圈a表示mfc流量电压达到阈值的批次。

此外，装置状态监视控制部215e也可以不预测mfc流量电压达到阈值的批次，而仅将图16所示的图表的数据发送到画面显示控制部215b。在该情况下，基于从装置状态监视控制部215e接收到的图表数据，画面显示控制部215b使图16所示的图表显示到操作显示部227上。进而，保养员等操作者看到图表就可判断应进行零点修正的批次。

装置状态监视控制部215e对与衬底的品质有关的全部mfc进行这样的mfc流量电压监视。另外，上述的mfc流量电压监视也可以组入到配方中。

根据本实施方式中的装置状态监视控制部215e的装置状态监视处理，由于构成为，装置状态监视控制部215e分别使用fdc对多个装置数据(反应室温度和压力等)进行基于监视对象的装置数据(装置状态监视数据)的异常诊断，因此能够实现更为准确的装置状态的监视，另外，容易在异常显现化前的阶段掌握异常原因。

另外，装置状态监视控制部215e构成为不仅能够利用装置1的用户所使用的数据异常诊断方法即公知的u.fdc，而且还能够利用装置1的制造商独自创建的数据异常诊断方法即s.fdc，因此能够容易地以更大范围精密地掌握异常原因。

(数据解析控制部215f、报警监视控制部)

数据解析控制部215f构成为，通过执行数据解析程序，在发生了异常(例如，作为制造物的衬底的膜厚异常)时，将用于供保养员解析异常原因的解析数据显示到操作显示部227上。另外，数据解析控制部215f如后述那样作为报警监视控制部而发挥功能。

(解析支援功能)

在此，使用图17说明数据解析控制部215f所执行的解析支援功能的处理流程。

(数据接收工序(s121))

首先，数据解析控制部215f经由通信部215g从操作部201、处理控制部211、搬送控制部212接收表示工艺配方的推进状况或装置1的异常状态的装置数据(故障信息数据)，并存储到存储部215h中。在所接收的故障信息数据中附加有用于对作为数据产生源的装置1的结构部位进行特定的构成特定信息、对在数据产生时装置1所执行的配方进行特定的配方特定信息、对数据的产生时刻进行特定的数据时刻信息、和对异常进行特定的异常特定信息。此外，也可以构成为，代替存储部215h而使用主控存储部222。

(验证项目表的创建工序(s122))

数据解析控制部215f在受理包含上述异常特定信息、构成特定信息以及配方特定信息在内的基本信息的输入后，参照保存在存储部215h中的结构部位获取表来获取与构成特定信息建立了关联的结构部位特定信息。接下来，数据解析控制部215f参照保存在存储部215h中的异常解析信息表来提取出与异常特定信息、结构部位特定信息均建立了关联的验证项目特定信息。然后，创建验证项目表。

(验证项目表的显示工序(s123))

然后，数据解析控制部215f使创建的验证项目表显示到操作显示部227上。

(配方特定信息的获取工序(s124))

接下来，数据解析控制部215f受理由保养员通过操作显示部227对显示在验证项目表中的验证项目特定信息的选择操作。然后，数据解析控制部215f从基本信息获取配方特定信息。

(从生产历史信息进行的配方检索工序(s125))

数据解析控制部215f参照生产历史信息并检索有无保存在基本信息中的配方特定信息。检索例如如下进行：从记录在生产历史信息中的多个配方中最新的配方朝向过去的配方追溯。然后，数据解析控制部215f若从生产历史信息内检测到保存在基本信息中的配方特定信息，则分别获取通过该配方特定信息特定出的配方的开始时刻及结束时刻。

(数据读出工序(s126))

数据解析控制部215f将在从获取的开始时刻到结束时刻的期间产生并与配方特定信息及验证项目特定信息均建立了关联的数据作为故障信息监视结果数据而从存储部215h中读出。

此外，在参照生产历史信息时，在通过配方特定信息特定出的配方被实施了多次的情况下，数据解析控制部215f读出规定次数量(例如从最新的配方起追溯的10次量)的故障信息监视结果数据。即，数据解析控制部215f将工序s126反复执行规定次数量。

(图表创建、显示工序(s127))

然后，数据解析控制部215f基于与所读出的故障信息监视结果数据建立了关联的数据时刻信息，以使配方的开始时刻一致且在时序上重合的方式对该数据进行图表化。然后，数据解析控制部215f使创建的时序图表显示在操作显示部227上。

本实施方式的数据解析控制部215f构成为，参照异常解析信息表，提取出与异常特定信息及结构部位特定信息均建立了关联的验证项目特定信息，并使提取出的验证项目特定信息显示，由此创建并显示验证项目表。由此，保养员能够毫无遗漏地知晓进行异常解析所需的验证项目，能够准确地进行异常解析。

另外，在验证项目表中仅记载了与异常特定信息及结构部位特定信息均建立了关联的验证项目特定信息，因此能够防止保养员进行无需实施的验证项目，从而能够避免在异常解析中浪费无谓的时间。

本实施方式的数据解析控制部215f受理在验证项目表中显示的验证项目特定信息的选择操作，从数据库读出与配方特定信息及验证项目特定信息均建立了关联的数据(故障信息监视结果数据)，并基于数据时刻信息以使配方的开始时刻一致并在时序上重合的方式对所读出的故障信息监视结果数据创建时序图表，且显示到操作显示部227上。由此，有助于缩短解析时间以及减轻因保养员的技术差异而导致的解析错误。

本实施方式的数据解析控制部215f构成为，在创建时序图表时能够反复读出规定次数量(例如从最新的配方追溯的10次量)的数据。而且，构成为，基于数据时刻信息以使配方的开始时刻一致并在时序上重合的方式将所读出的故障信息监视结果数据图表化，由此创建时序图表并将时序图表显示到操作显示部227上。由此，能够减轻进行异常解析的保养员的与数据获取有关的作业负担。

(实施例1)

接下来，基于图7所示的画面显示程序的处理流程，说明使图8所示的装置1的运用状态的汇总画面显示到操作显示部227上的处理、以及使用图9所示的诊断方法项目列表导出对装置1的运用状态进行评价的信息的处理。

另外，在本实施例中构成为，分别使用装置管理控制器215所具有的4个功能(数据匹配、部件管理、装置状态监视、数据解析支援)中的、装置状态监视控制部215e输出的装置状态监视结果数据、部件管理控制部215d输出的保养时期监视结果数据、数据解析控制部215f输出的故障信息监视结果数据来导出表示装置1的运用状态的信息。

首先，执行图7所示的汇总画面显示工序(s11)。由此，从存储部215h读出例如图8所示的包含健康检查视图(healthcheckview)画面(异常部位显示画面)、供给检查(supplycheck)画面(供给状态显示画面)、健康概括(healthsummary)画面(健康状态概要显示画面)、详细信息(detailinformation)画面(详细信息显示画面)的图标文件，并将这些各画面汇总地显示在操作显示部227的画面上。

接下来，在图7所示的监视结果数据获取工序(s12)中，画面显示控制部215b根据图9所示的诊断方法项目列表的诊断方法项目，根据需要从存储部215h获取数据匹配控制部215c、部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e、数据解析支援控制部215f各自输出的诊断结果数据(监视结果数据)。以下，即使在没有特别记载的情况下，也构成为各控制部输出的监视结果数据在每次被输出时存储在存储部215h中。

(详细信息画面中的诊断对象项目)

首先，参照图8对装置状态监视的对象进行说明。在详细信息显示画面中，作为装置1的结构“划分”而示出了反应室、移载室、装载室、搬送系统、顾客用力。另外，作为反应室的“模块”(module)而示出了温度、压力、气体、排气压、水。另外，作为移载室的“模块”而示出了o2(氧气)浓度、压力、温度。另外，作为装载室的“模块”而示出了n2(氮气)排气量、排气压。另外，作为衬底搬送系统的“模块”而示出了晶片盒开启器。另外，作为顾客用力的“模块”而示出了气体(gas)、压力、排气压、pump、水。

这些“模块”是部件管理控制部215d和装置状态监视控制部215e等控制部的监视对象、也就是装置的健康状态的诊断对象(稳定运转的评价对象)即诊断对象项目。在图8的例子中，例如，与作为“结构划分”的反应室有关的诊断对象是反应室温度、反应室压力、向反应室供给的气体(处理气体和稀释气体等)的流量、将反应室内的气体排出的排气压、向反应室的结构物供给的冷却水的流量。

作为“结构划分”的顾客用力的诊断对象项目的气体、压力分别是从顾客设备向装置1供给的气体(处理气体和稀释气体)的流量、压力。排气压是从装置1向顾客设备排气的压力，水是从顾客设备向装置1供给的冷却水的流量。顾客用力(顾客必需能力)是与从装置用户供给的项目有关的装置数据，也称为设备数据(效用数据)(utilitydata)。

如图8所示，构成为，与顾客用力有关的诊断对象项目与其他诊断对象项目分离并集中地显示于一处。由此，在产生了装置异常的情况下，能够明确地掌握该产生部位是顾客承担责任的与顾客用力有关的部位、还是装置制造商承担责任的部位。

(详细信息画面中的诊断方法项目)

接下来，使用图9说明作为部件管理控制部215d和装置状态监视控制部215e等控制部诊断装置数据的基准的诊断方法项目列表。诊断方法项目列表具有序号(no)栏、表示诊断方法项目的诊断项目栏、表示诊断方法的内容和诊断的施行方式的诊断方式栏、以及分数栏(在图9的例子中示出减分法)。

序号1(no.1)及序号2(no.2)的诊断方法项目(u.fdc、s.fdc)是将装置数据的经时变化量的异常与标准数据的上限值或下限值或者上限值及下限值进行比较来诊断的项目，由装置状态监视控制部215e监视。fdc是如下技术：持续进行从装置1输出的特性值的监视，在检测到监视值(即装置数据)有异常的情况下，即监视值相对于标准数据偏离规定值以上的情况下，对其结果进行统计处理，由此对异常的种类进行分类，即对异常原因和异常部位进行诊断。

在该fdc中不含有后述的零件(parts)、也就是不含有部件寿命(使用次数和使用时间)的诊断。由于在通过fdc检测到异常的情况下，装置1尚能运转且不会立即造成制造物的异常，因此不发出伴随着蜂鸣器鸣响的报警。

u.fdc是用于检查装置1的状态是否是能够继续并正常地维持装置1的制造物(例如进行了成膜的衬底)的品质的状态的诊断方法项目。u.fdc是装置1的用户创建并使用的诊断方法项目，作为使用了通常的spc(statisticalprocesscontrol：统计过程控制，一种统计方法)的诊断方法是公知的。u.fdc是直接影响到制造物的品质的诊断方法项目，检查例如反应室的温度、压力等。

在u.fdc中，诊断反应室的温度是否处于预先设定的上限值与下限值之间。在图9的例子中，u.fdc使用spc的规则1(超过3σ)来诊断。在u.fdc中，集中于半导体制造领域所需的最低限度的spc项目(例如，反应室的温度和压力、衬底移载室的氧浓度等)，用户仅进行指定配方/步骤/项目(温度等)的简单设定即可，因此易于使用。

s.fdc是用于检查装置1的结构物(例如开闭阀、加热器和/或mfc)的状态是否处于正常范围内的诊断方法项目，是装置1的制造商所创建的诊断方法项目。s.fdc是例如与mfc的零点修正有关的诊断方法，诊断流量零时的mfc的流量电压是否处于预先设定的上限值与下限值之间。s.fdc是装置管理控制器215中标准装备的、该装置专用的诊断方法项目，由于是该装置专用的，所以由适合该装置的监视内容构成。用户能够切换地设定s.fdc的诊断方法项目的有效、无效来使用，但不能改变诊断的内容。

序号3(no.3)的零件(parts)是装置1的制造商创建并使用的诊断方法项目，是用于通过对与构成装置1的部件寿命相关联的部件数据(使用时间、使用次数等)和部件生产商的推荐值进行比较来诊断部件的保养时期的项目。例如，将使用次数达到部件生产商的推荐值的时期诊断为保养时期。另外，也可以构成为，基于至此为止的实际使用情况，将使用次数达到部件生产商的推荐值的90％或者120％的时期诊断为保养时期。像这样，基于部件生产商的推荐值来判断保养时期。

零件由部件管理控制部215d监视。部件管理控制部215d在判断为使用次数达到了部件的保养时期时判定为异常，并作为保养时期监视结果数据存储到存储部215h中。然而，即使在部件管理控制部215d检测到基于零件导致的异常的情况下，由于该异常不会立即造成制造物的异常，因此部件管理控制部215d也不会发出伴随着蜂鸣器鸣响的报警。

零件的对象主要是空气阀、气缸、马达驱动器等驱动系统的部件，例如对驱动系统的部件的使用次数进行计数并同时监视其是否达到制造商推荐值(阈值)。作为诊断方法项目的零件在装置1的设置时组入到装置管理控制器215中，在用户没有意识到的情况下自动地进行管理。

序号4(no.4)的报警(alarm)是基于装置1不能运转那样的异常信息(故障信息)的产生次数来诊断装置1的状态的诊断方法项目。另外，报警构成为不与上述序号1～3的u.fdc、s.fdc、零件重叠(也就是说，涉及与序号1～3的u.fdc、s.fdc、零件不同的异常)，另外，构成为仅对特定的故障进行判定，并将因同一原因导致的故障信息的重复排除在外。

报警伴随着蜂鸣器鸣响而发出，例如，在衬底搬送时衬底没有载置在舟皿26的规定位置的情况下，传感器检测到异常而由此发出报警。另外，例如，当反应室温度在衬底处理开始时没有上升到规定温度的情况下，传感器检测到异常而由此发出报警。另外，例如，在移载室23的门没有关闭的情况下，传感器检测到异常而由此发出报警。

报警由装置管理控制器215以外的装置1的控制器(操作部201、搬送控制部211、处理控制部212等)监视，若检测到异常，蜂鸣器就鸣响，向数据解析控制部215f通知故障信息数据。数据解析控制部215f基于接收到的故障信息数据，如图8示出的详细信息显示画面所示那样，通过对象部位的类别(结构划分和模块)对在装置1中产生的故障信息数据进行分类，监视每个类别的产生倾向。

该功能在装置1的设置时组入在装置管理控制器215中，在用户没有意识到的情况下自动地进行管理。像这样，数据解析控制部215f作为对装置1的故障信息数据的产生状况进行监视的报警监视控制部而发挥功能。

此外，也可以构成为，基于报警的故障信息数据的监视由数据解析控制部215f以外的控制部进行。

(供给检查画面中的诊断对象项目的诊断)

数据匹配控制部215c在装置1的衬底处理开始前，对在供给状态显示画面中显示的诊断对象项目进行诊断。在此，衬底处理开始前也包含装置交付后的启动时等的、衬底向装置内的投入前以及衬底的搬送时。

在图8所示的供给状态显示画面中，原料气体(图8中表示为前驱物(precursor))、冷却水(图8中表示为冷却水流量(coolingwterfliow))、向反应室的n2气体供给量(图8中表示为ltp(lowtemperaturepurge)purge&blower：低温吹扫)、排气量(图8中表示为排出(exhaust))、真空泵的排气量(图8中表示为泵(pump))、向移载室的n2气体流量(图8中表示为风扇(fan))这6个项目是诊断对象项目。这6个项目是设备数据，其一部分与上述详细信息显示画面的顾客用力的“模块”、即诊断对象项目重合。

数据匹配控制部215c将顾客用力确认用的初始值表中示出的基准值或者将主装置1(0)的当前的实测值设定为基准数据。例如，在装置1的处理开始前，对与图8所示的诊断对象项目对应的设备数据与基准数据分别进行比较。各个项目的实测值与基准数据(顾客用力确认用的初始值表中示出的基准值或主装置1(0)的实测值)进行比较，数据匹配控制部215c根据相对于实测值的偏离情况来判定为异常。

画面显示控制部215b构成为，针对每个诊断对象项目从存储部215h获取与u.fdc、s.fdc、零件、报警有关的各诊断结果数据。例如，如果为反应室温度，则获取针对纵型反应室内的各区域(例如，u(上)区域、cu(中上)区域、cl(中下)区域、l(下)区域)的设定值(设定温度)、当前值等与温度有关联的装置数据的诊断结果数据(u.fdc、s.fdc、零件、报警)。

在此，与u.fdc、s.fdc有关的诊断结果数据是装置状态监视结果数据，与零件(部件管理)有关的诊断结果数据是保养时期监视结果数据，与报警(故障信息管理)有关的诊断结果数据是故障信息监视结果数据。

另外，获取在供给状态显示画面中使用的诊断结果数据。该诊断结果数据是如上述那样对与来自顾客的用力有关的设备数据和基准数据进行比较得到的结果数据，是与作为诊断对象项目的、气体(gas)、压力、排气压、泵(pump)、水、前驱物、冷却水流量、低温吹扫、排出、泵、风扇有关的数据。该与来自顾客的用力有关的设备数据的诊断结果数据是用力监视结果数据。

接下来，执行数据判定工序(s13)，执行在s12中获取的诊断结果数据的判定和给分。在数据判定工序(s13)中，关于诊断对象项目，判定诊断结果数据是正常还是异常，以及异常到何种程度。

(对详细信息画面的诊断对象项目的判定)

在对详细信息显示画面的诊断对象项目的判定中，针对各诊断对象项目进行各诊断结果数据(与u.fdc、s.fdc、零件、报警有关的诊断结果数据)的判定和给分。

例如，在诊断对象项目为反应室温度的情况下，画面显示控制部215b针对反应室温度，使用从装置状态监视控制部215e接收并存储在存储部215h中的诊断结果数据，按照图9的分数栏的减分法对诊断结果数据进行判定并给分。

具体而言，画面显示控制部215b在图9所示的诊断方法项目列表中，将异常数据为2件以上的情况判定为异常大(×)，从满分(100分)减去在图9的分数栏的“×”栏中定义的分数。另外，将异常数据(被判定为异常的诊断结果数据)为1件的情况判定为异常小(△)，从满分减去在图9的“△”栏中定义的分数。另外，将没有异常数据的情况判定为正常(○)，为满分。

另外，画面显示控制部215b在原本没有成为诊断对象的情况、没有获取到与诊断对象项目相关联的诊断结果数据等不存在成为判定对象的诊断结果数据的情况下，判定为数据判定对象外(―)。判定结果和给分结果存储在存储部215h中。

在图8的例子中，首先进行与反应室温度项目有关的诊断结果数据的判定和给分。关于反应室温度项目，即使只有一个表示异常的诊断方法项目，也将反应室温度数据判定为异常。另外，将针对与反应室温度数据有关的所有诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)而没有异常产生的情况判定为正常。

当针对与反应室温度项目有关的诊断结果数据的判定和给分结束时，对下一个诊断对象项目(例如反应室压力)，同样地针对与反应室压力有关的各诊断方法项目进行诊断结果数据的判定和给分。如此，针对与所有诊断对象项目有关的各诊断方法项目，进行诊断结果数据的判定和给分(也就是健康状态的量化)。

(详细信息画面和健康概括画面的给分处理)

在此，详细说明详细信息显示画面和健康状态概要显示画面的给分处理。在该处理中，通过画面显示控制部215b进行接下来的s201～s205所示那样的给分。

(s201)

首先，针对反应室温度项目，计算并合计出u.fdc、s.fdc、零件、报警各自的负分数。在图8的例子中，针对s.fdc，由于2件以上的数据为异常(×)，因此s.fdc的负分数为30分(参照图9)。

另外，针对零件，由于1件数据为异常(△)，因此零件的负分数为10分。u.fdc和警报为无负分数。因此，针对反应室温度项目，负分数的合计为40分，分数(score)为60分(100-40)。

(s202)

对所有诊断对象项目、即详细信息画面的所有模块(从图8所示的反应室的温度到顾客用力的水为止)实施该判定和计算，获取针对所有诊断对象项目的分数，并存储到存储部215h中。

(s203)

接下来，计算出对所有诊断对象项目统计的、各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)各自的负分数的合计，并存储到存储部215h中。

例如，针对u.fdc，计算所有诊断对象项目(反应室的温度～顾客用力的水)的负分数的合计。在图8的例子中，针对反应室排气压项目而1件数据为异常(△)，针对顾客用力的排气压项目而1件数据为异常(△)，因此u.fdc的负分数的合计为30分。

同样地，计算出s.fdc的负分数的合计、零件的负分数的合计、报警的负分数的合计。在图8的例子中，s.fdc的负分数为30分，零件的负分数为20分，报警的负分数为5分。

(s204)

接下来，针对与各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)有关的负分数，分别计算出当天的当前值、当天量的平均值、最近一周的平均值、最近一个月的平均值，并存储到存储部215h中。最近一周的平均值是在一周内对1日量的平均值(或者最大值)进行平均而得到的值，最近一个月的平均值是在一个月内对1日量的平均值(或者最大值)进行平均而得到的值。

(s205)

接下来，针对与各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)有关的负分数，对各自的当天的当前值进行合计，并从满分(100分)减去该合计值，由此计算出装置1的健康指数(装置的综合运用状态的评价指数)。在图8的例子中，在健康状态概要显示画面上显示了健康指数为95分。此外，该95分是一个例示，应注意与详细信息显示画面的分数并不一致。

此外，在实施例1中，通过异常数据的个数来划分为“△”、“×”，但不限于该方式，也可以构成为，即使异常为1件以上，也为“×”，即使表示接近异常的警告为1件以上，也定义为“△”。

另外，在上述的说明中，在s203中，计算出各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)各自的负分数的合计，并存储在存储部215h中，但也可以构成为，计算出各诊断方法项目的分数(100分-负分数)的合计，并存储到存储部215h中。

另外，在上述说明中，在s204中，针对与各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)有关的负分数，分别计算出当天的当前值、当天量的平均值、最近一周的平均值、最近一个月的平均值，并存储在存储部215h中，但也可以构成为，针对各诊断方法项目的分数(100分-负分数)，分别计算出当天的当前值、当天量的平均值、最近一周的平均值、最近一个月的平均值，并存储到存储部215h中。

(对供给检查画面的诊断对象项目的判定)

另外，在数据判定工序(s13)中，判定在供给状态显示画面中使用的诊断结果数据。即，判定各个诊断对象项目的衬底处理开始时的实测值相对于初始值表中所示的基准值或主装置的值是否超过了规定的阈值(例如±3％)。

在图8的例子中，针对冷却水流量，装置1的处理开始时的值相对于初始值表所示的基准值超出了±3％的情况(用a表示)被判定为2件，针对低温吹扫，装置1的处理开始时的值相对于主装置的值超过了±3％的情况(用b表示)被判定为1件，针对排出，装置1的处理开始时的值相对于初始值表所示的基准值超过了±3％的情况(用a表示)被判定为1件。

(判定结果显示工序：s14)

接下来，在判定结果显示工序(s14)中，画面显示控制部215b从存储部215h读出数据判定工序(s13)的判定结果和给分结果，更新并显示图8所示的详细信息显示画面、异常部位显示画面、健康状态概要显示画面、供给状态显示画面。

(详细信息画面的更新)

在详细信息显示画面的更新中，针对与各诊断对象项目有关的各诊断方法项目栏(u.fdc、s.fdc、零件、报警)的诊断结果数据，在详细信息画面的各诊断方法项目栏(u.fdc、s.fdc、零件、报警)中，将正常的情况显示为“○”，将判定为2件以上异常的情况显示为“×”，将判定为1件异常的情况显示为“△”，将不存在成为判定对象的诊断结果数据的情况显示为“―”。另外，在详细信息显示画面的分数栏中显示与各诊断对象项目有关的分数。

详细而言，在与u.fdc和s.fdc有关的诊断结果数据判定为无异常(无异常数据)的情况下显示“○”，在1件装置状态监视数据判定为有异常(有异常数据)的情况下显示“△”，在2件以上装置状态监视数据判定为有异常(有异常数据)的情况下显示“×”。由此，能够容易地掌握与u.fdc、s.fdc有关的异常状态。

另外，在与零件有关的诊断结果数据判定为无异常(没有超过阈值)的情况下显示“○”，在1件部件数据判定为有异常(超过阈值)的情况下显示“△”，在2件以上部件数据判定为有异常(超过阈值)的情况下显示“×”。由此，能够容易地掌握与部件寿命有关的异常状态。

另外，关于与报警有关的诊断结果数据，在没有故障信息数据的情况下显示“○”，在有1件故障信息数据的情况下显示“△”，在有2件以上故障信息数据的情况下显示“×”。在故障信息数据的标识符(id)相同的情况下，与报警的产生数无关地诊断为产生了1件故障。由此，能够容易地掌握与故障信息产生状态有关的异常状态。

另外，在详细信息显示画面中，“×”显示为红色、“△”显示为黄色，分色地进行显示。对于分数栏也是，若分数不足100分且为80分以上则显示黄色，若不足80则显示红色，分色地进行显示。

此外，在详细信息显示画面中，构成为，若点击显示为“×”或“△”的单元，则画面显示控制部215b进而显示诊断对象项目的详细信息。由此，例如，在诊断对象项目为反应室温度的情况下，可知晓反应室的哪个部分(上层、中层、下层等)的温度成为异常的原因。

(健康检查画面的更新)

另外，画面显示控制部215b也可以构成为，显示装置1的整体图，并且为了能够辨别包含被判定为异常的诊断结果数据的单元(在图8中示出为结构划分)和项目(在图8中示出为模块)、即被判定为异常的装置1的结构部位是异常的，而进行标记或着色，来更新并显示异常部位显示画面。在图8的例子中，在装置1的整体立体图中，反应室单元(图中的a)被以红色着色来显示。另外，适当设定异常的辨别显示，以使得在例如fdc、零件、报警等诊断方法项目的各自中异常有2个以上的情况、分数栏的分数在规定分数以下的情况下进行异常的辨别显示。

(健康概括画面的更新)

另外，画面显示控制部215b构成为，在健康状态概要显示画面上显示当天或过去一周或过去一个月的与u.fdc、s.fdc、零件、报警有关的健康状态的变化。在图8的例子中，画面显示控制部215b关于各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)如上述那样分别计算出当天的分数、最近一周的分数的平均值、最近一个月的分数的平均值，并通过柱状图显示在健康状态概要显示画面上。柱状图的纵轴是用于比较的相对值，纵轴的0～4相当于分数的0～100。

该健康状态是从满分(100分)减去当天或过去一周或过去一个月的u.fdc、s.fdc、零件、报警的负分数而得到的。由此，操作者针对各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)能够容易地掌握当天的装置健康状态、最近一周的健康状态、最近一个月的健康状态。

此外，也可以构成为，通过柱状图在健康状态概要显示画面上显示当天或过去一周或过去一个月的u.fdc、s.fdc、零件、报警的件数和/或负分数。由此，能够容易地掌握u.fdc、s.fdc、零件、报警各自的异常状态变化。

另外，画面显示控制部215b构成为，将表示装置的健康状态的健康指数更新并以数值显示到健康状态概要显示画面上。在图8的例子中，在健康状态概要显示画面的右上部显示为“95分”。该健康指数如上述的s205中所示那样是集合了各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警、分数)的综合分数。

由此，操作者能够简单且一目了然地掌握当天的装置健康状态。此外，也可以不用数字而是通过包含过去几周量或几日量的柱状图等来显示健康指数。若像这样进行显示，则容易知晓例如最近一周的装置健康状态的推移。另外，也可以构成为，若该健康指数为规定的阈值以下，则为了使装置1的健康状态得到确认，而使装置1的蜂鸣器鸣响来发出警报。

(供给检查画面的更新)

另外，画面显示控制部215b基于在诊断结果数据获取工序(s12)中获取的、与作为诊断对象项目的前驱物、冷却水流量、低温吹扫、排出、泵、风扇有关的设备数据的诊断结果数据，更新并显示供给状态显示画面。此时，画面显示控制部215b以设备数据中的被诊断为异常的诊断结果数据的数量来显示表示异常产生的图标。

例如，当上述诊断对象项目的实测值相对于初始值表所示的基准值超过±3％而不同时，使供给状态显示画面的相应项目对应地显示表示该主旨的图标a。另外，当各个诊断对象项目的实测值相对于主装置的值超过±3％而不同时，使供给状态显示画面的相应项目对应地显示表示该主旨的图标b。图标a和图标b是将例如将感叹号图形化而得到的，通过使其颜色不同而能够彼此识别地显示。在图8的例子中，图标a和图标b分别用a和b表示。

像这样，在判定结果显示工序(s14)中构成为，画面显示控制部215b基于在诊断结果数据获取工序(s12)中获取的数据、数据判定工序(s13)的判定结果和给分结果来对汇总画面显示工序(s11)中获取的各画面文件进行加工并显示。

在本实施例中，画面显示控制部215b构成为显示图8所示的汇总画面，但图8的图示例只不过是用于示出说明本发明的一例。

例如，在供给状态显示画面中作为设备数据而定义了6个项目，但不限于该方式。另外，详细信息显示画面、异常部位显示画面、健康状态概要显示画面也同样地不限于本实施方式。例如，在详细信息显示画面中，单元(在图8中表示为结构划分)和项目(在图8中表示为模块)可任意设定。另外，也能够构成为，在将顾客用力从装置1的健康诊断中排除那样的情况下，从详细信息显示画面中除去作为结构划分的顾客用力。

此外，在图8的例子中，显示了异常部位显示画面、供给状态显示画面、健康状态概要显示画面、详细信息显示画面共计4个画面，但也可以构成为显示这4个画面中的任一个画面，或者也可以构成为显示这4个画面中的任意多个画面。

根据实施例1中的画面显示控制部215b的画面显示处理，起到以下所示的一个或多个效果。

根据实施例1，由于构成为，画面显示控制部215b在健康状态概要显示画面上针对各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc、零件、报警)的每一个显示分数或负分数或者异常件数，因此能够针对各诊断方法项目的每一个容易地掌握当天的装置健康状态、最近一周的装置健康状态、最近一个月的装置健康状态。

根据实施例1，由于构成为，画面显示控制部215b在详细信息显示画面上对多个诊断对象项目分别显示基于装置数据进行异常诊断的诊断方法项目(fdc)的诊断结果、与构成装置1的部件的使用时间或使用次数有关的诊断方法项目(零件)的诊断结果、和与装置1的报警(故障信息)的产生次数有关的诊断方法项目(警报)的诊断结果，因此能够容易地掌握针对各个诊断对象项目的各诊断方法项目的诊断结果。

而且，由于构成为，画面显示控制部215b对各诊断对象项目显示表示健康度(正常度)的分数，因此能够容易地掌握相对于各个诊断对象项目的健康度。

(实施例2)

接下来，基于图7所示的画面显示程序的处理流程分别说明使图18所示的装置1的运用状态的汇总画面显示到操作显示部227上的处理、以及使用图18所示的诊断对象项目导出对装置1的运用状态进行评价的信息的处理。在此，在实施例2中，图9中的诊断方法与实施例1相同。除此以外，对与实施例1重复的部分适当省略，以下说明实施例2。

在本实施例中，构成为，基于装置管理控制器215所具有的4个功能(数据匹配、部件管理、装置状态监视、数据解析支援)中的、装置状态监视控制部215e输出的装置状态监视结果数据、部件管理控制部215d输出的保养时期监视结果数据、数据匹配控制部215c输出的用力监视结果数据，来导出表示装置1的运用状态的信息。

首先，执行图7所示的汇总画面显示工序(s11)。由此，从存储部215h读出包含健康检查视图画面(异常部位显示画面)、供给检查画面(供给状态显示画面)、健康概括画面(健康状态概要显示画面)、总分表画面(详细信息显示画面)、参数匹配画面(文件核对比较显示画面)在内的图标文件，且将各画面例如如图18所示那样一并显示在操作显示部227的画面上。

总分表画面(详细信息显示画面)是与实施例1的详细信息画面(详细信息显示画面)相同的诊断对象项目，另外，诊断方法(u.fdc、s.fdc、零件)也相同，只是画面名称不同。此外，在图18中作为结构划分而仅有反应室，但能够通过未图示的滚动部分进行滚动而在画面上显示其他诊断对象项目。

另外，供给检查画面(供给状态显示画面)作为项目仅追加了类别(图18中记载为类别(category))和诊断结果(图18中记载为检查状态(checkstatus))，诊断对象项目相同。此外，该供给检查画面(供给状态显示画面)也能够通过未图示的滚动部分进行滚动来在画面上显示其他诊断对象项目。

另外，健康概括画面(健康状态概要显示画面)仅有与实施例1同样地显示对装置的综合运用状态进行评价的信息的部分，为简洁的画面，健康检查视图画面(异常部位显示画面)是与实施例1同样的画面。

参数匹配(parametermatching)画面(文件核对比较显示画面)是利用将数据匹配控制部215c进行了后述文件匹配的结果(匹配率)保存到装置1的各控制器(控制部)中的文件来显示的画面。此外，该文件匹配的结果与表示装置1的运用状态的信息的量化无关。在此，ou表示操作部201，robo表示搬送控制部211，pmc表示处理控制部212，system表示装置管理控制器215。

接下来，在图7所示的监视结果数据获取工序(s12)中，与参数匹配画面(文件核对比较显示画面)以外的画面文件有关的数据获取与实施例1相同，因此省略记载。

在本实施例中，构成为，画面显示控制部215b根据需要从存储部215h获取由数据匹配控制部215c进行的文件匹配的结果。

(工具匹配功能)

接下来，使用图10～图12对由数据匹配控制部215c进行的工具匹配(toolmatching)功能进行说明。

在本实施方式中，重复装置直接与主装置通信，通过从主装置获取所需数据的方式，实现了不依赖于管理装置和作为上级计算机之一的主机计算机，通过重复装置本身就能够使重复装置与主装置匹配的工具匹配。

如图10所示，能够在重复装置、例如重复装置1(2)的主控存储部222中设定作为初始信息的主装置1(0)的名称及ip地址(internetprotocoladdress：互联网通信协议地址)。该主装置1(0)的名称及ip地址例如由作业员通过重复装置1(2)的操作显示部227来设定，但也可以构成为从主装置1(0)向重复装置1(2)分发。在与主装置1(0)的连接中使用ip地址和名称这两个信息的理由在于，设置成在与主装置1(0)之间确立了基于ip地址实现的通信连接之后，再核对装置名称的结构。由此，能够防止因ip地址设定错误导致的误连接，能够使作业员在不用意识到主装置的情况下进行匹配(数据匹配)作业。

在图10所示的数据匹配控制中，包含重复装置1(2)的装置1的数据匹配控制部215c从主装置1(0)的主控存储部222读出配方文件和参数文件并将其保存到装置1的主控存储部222中，来进行文件匹配。

在文件匹配中，复制主装置1(0)的配方文件来作为装置1的配方文件，并进行主装置1(0)的参数文件与装置1的参数文件之间的比较、核对。

此外，也可以构成为不将从主装置1(0)接收到的配方文件和参数文件保存到主控存储部222中，而将其保存到装置1的存储部215h中，来进行文件匹配。

不复制参数文件而是进行比较的理由在于，在交付装置1的初号机以后，在运用装置1的过程中用户获取最佳的参数，并将其作为技术诀窍(know-how)来进行管理。在没有这种情形的情况下，也可以构成为不对参数文件进行比较，而与配方文件同样地进行复制。相反，也能够构成为，不复制配方文件而是对其进行比较。

在进行数据匹配控制(工具匹配)时，如图11所示那样，在操作显示部227上显示与主装置1(0)之间的文件匹配(配方文件从主装置1(0)复制，参数文件与主装置1(0)进行比较)的进度表。由此，作业员能够容易地知晓配方文件的复制和参数的比较作业的进度状况，还能够容易地再次开始进行配方文件的复制和参数的比较作业。

在图11的例子中，从主装置1(0)的相应配方文件复制配方文件1(配方1)～配方文件10(配方10)，并将重复装置1(2)的参数文件1(参数1)～参数文件11(参数11)与主装置1(0)的相应参数文件进行比较。

例如，针对配方文件1，在文件总数200中正常复制了的文件数为160，正常复制了的比率(匹配率)为80％。在配方文件1的“匹配率”的栏中，从左侧按顺序以柱状图显示正常复制了的比率(在图中为右斜的阴影线图案)、复制失败的比率(在图中为点状图案)、不可复制的比率(在图中为左斜的阴影线图案)、复制未完成的比率(在图中为白底图案)。

此外，在实际的画面中，优选正常复制了的比率用蓝色显示、复制失败的比率用黄色显示、不可复制的比率用红色显示、复制未完成的比率用白色显示等，分色进行显示。

不可复制是例如在工艺配方的情况下在复制目的地的装置1中不存在组合文件时产生的。复制未完成是作业员中断复制时等产生的。在不可复制和复制未完成的情况下，在消除了不可复制等的原因之后，通过进行规定的操作、例如在操作显示部227的画面上点击“匹配率”栏的未完成区域，能够再次开始复制。

针对其他配方文件2～10，也以与配方文件1同样的方式，用柱状图显示“匹配率”栏。并且，作为表示配方文件整体(配方文件1～10)的匹配率的综合匹配率，在“文件”栏中显示85％。

另外，例如，针对参数文件1，文件总数244中的、比较结果为正常(也就是文件内容相同)的文件数为231，比较结果为正常的比率(匹配率)为大约95％。在参数文件1的“匹配率”栏中，从左侧按顺序用柱状图显示比较结果为正常的比率(在图中为右斜的阴影线图案)、比较结果为异常的比率(在图中为左斜的阴影线图案)。

针对其他参数文件2～11也以与参数文件1同样的方式，用柱状图显示“匹配率”栏。并且，作为表示参数文件整体(参数文件1～11)的匹配率的综合匹配率，在“参数”栏中显示92％。

另外，如在参数文件9的柱状图中标示的箭头所示那样，在比较结果为异常的情况下，通过在操作显示部227的画面上点击柱状图的异常部分区域，能够详细地显示参数文件的不同点。

图12是本实施方式的文件匹配的处理流程图。该处理流程由数据匹配控制部215c执行。

首先，进行第一个配方文件的复制(图12的步骤s21)。在该配方文件为不可复制的情况下(s22中为“是”)，将红色显示标志设为on(s23)，并转移到步骤s27。在为可复制的情况下(s22中为“否”)，检查复制是否失败，在复制失败的情况下(s24中为“是”)，将黄色显示标志设为on(s25)，并转移到步骤s27。在复制没有失败的情况下(s24中为“否”)，将蓝色显示标志设为on(s26)，并转移到步骤s27。

在步骤s27中，检查是否所有配方文件的复制均已结束。在所有配方文件的复制尚未结束的情况下(s27中为“否”)，返回到s21，进行下一个配方文件的复制。

在所有配方文件的复制均已结束的情况下(s27中为“是”)，进行第一个参数文件的比较(s28)。在该参数文件中存在不同点的情况下(s29中为“是”)，将红色显示标志设为on(s30)，转移到步骤s32。在不存在不同点的情况下(s29中为“否”)，将蓝色显示标志设为on(s31)，并转移到步骤s32。

在步骤s32中，检查是否所有参数文件的比较均已结束。在所有参数文件的比较尚未结束的情况下(s32中为“否”)，返回到s28，进行下一个参数文件的比较。

在所有参数文件的比较均已结束的情况下(s32中为“是”)，使图11所示的匹配进度画面显示到操作显示部227的画面上。此时，对于蓝色显示标志、红色显示标志、黄色显示标志为on的文件，分别用蓝色、红色、黄色显示图11的匹配率栏。另外，对于未完成的文件，用白色显示图11的匹配率栏。之后，结束本处理。

另外，数据匹配控制部215c在上述数据匹配控制部215c的匹配处理结束(s32中为“是”)时，将包含表示匹配率的综合匹配率在内的匹配处理后的全部结果存储到存储部215h中。

根据本实施方式中的数据匹配控制部215c的匹配处理，由于构成为，数据匹配控制部215c进行装置1的文件与主装置的文件之间的复制和比较，因此能够提高装置1的文件的可靠度。

根据本实施方式中的数据匹配控制部215c的匹配处理，由于构成为，数据匹配控制部215c显示文件的不可复制、复制失败、复制未完成、有无不同点，因此能够容易地掌握不可复制、复制失败、复制未完成、有无不同点。

根据本实施方式中的数据匹配控制部215c的匹配处理，由于构成为，数据匹配控制部215c在表示所显示的文件的不同点的部分被点击时显示详细信息，因此能够容易地掌握文件不同点的详细内容。

此外，本实施方式中的画面显示控制部215b构成为，从存储部215h获取基于数据匹配控制部215c进行的对全部文件进行了匹配的综合匹配率，并显示文件核对比较显示画面的匹配率(matchingrate)。

接下来，执行数据判定工序(s13)，进行在s12中获取的诊断结果数据的判定和给分。与实施例1同样地，在数据判定工序(s13)中，关于诊断对象项目，判定诊断结果数据是正常还是异常、以及异常到何种程度。

(对总分表画面的诊断对象项目的判定)

在对详细信息显示画面的诊断对象项目的判定中，针对各诊断对象项目进行各诊断结果数据(与u.fdc、s.fdc、零件有关的诊断结果数据)的判定。

具体而言，画面显示控制部215b在关于u.fdc、s.fdc的诊断结果数据中，在异常数据(被判定为异常的诊断结果数据)为5件以上的情况下，判定为异常大(×)，另外，在异常数据为1件到4件的情况下，判定为异常小(△)，另外在没有异常数据的情况下，判定为正常(○)。此外，对一件异常数据分配的分数为1分。

另外，画面显示控制部215b在原本没有成为诊断对象的情况、没有获取与诊断对象项目有关联的诊断结果数据等不存在成为判定对象的诊断结果数据的情况下，判定为数据判定对象外(―)。以后，存在×是错误图标、△是警告图标、○正常图标、―是除外图标的情况。此外，判定结果和给分结果存储在存储部215h中。关于给分结果将在后叙述。

另外，画面显示控制部215b构成为将判定的结果显示在详细信息显示画面上，在图18的例子中，表示通过图9所示的u.fdc对与项目(模块)的舟皿有关的装置数据进行诊断的结果为，异常数据为1件。也就是说，在健康状态概要显示画面上显示了99(100-1)，因此将异常数据的个数推测为1个。

接下来，画面显示控制部215b构成为，在关于零件(部件管理)的诊断结果数据中判定异常数据的程度。画面显示控制部215b在异常数据(被判定为异常的诊断结果数据)为20件以上的情况下，判定为异常大(×)，另外，在异常数据为1件到19件的情况下判定为异常小(△)，另外在没有异常数据的情况下判定为正常(○)。此外，在图18的例子中，由于为数据判定对象外，因此在所有项目中显示除外图标(―)。

此外，对于异常数据为1件到4件的情况分配的分数为1分，对于异常数据为5件到9件的情况分配的分数为2分，对异常数据为10件到14件的情况分配的分数为3分，对异常数据为15件到19件的情况分配的分数为4分。总之，构成为，画面显示控制部215b将异常数据为20件以前的情况判定为异常小，在详细信息显示画面上显示警告图标(△)。

另外，画面显示控制部215b构成为，将与部件管理控制部215d、装置状态监视控制部215e分别输出的被判定为异常的诊断结果数据相当的结构部位以能够辨别的方式显示在异常部位显示画面上。

(对供给检查画面的诊断对象项目的判定)

另外，在数据判定工序(s13)中，判定数据匹配控制部215c输出的诊断结果数据(用力监视结果数据)。即，画面显示控制部215b判定各个诊断对象项目的衬底处理开始时的实测值是否相对于基准数据超过规定的阈值(例如±3％)。此外，在图18的例子中，是对所有项目的诊断结果数据落入阈值内的例子。

画面显示控制部215b构成为，若为装置1的处理开始时的值从基准数据(初始值表所示的基准值)偏离的项目，则在相应的判定结果(核对状态)单元中显示表示产生了异常的图标(a图标)。若在画面上选择a图标，则显示与对象的项目相关的更为详细的信息。例如，构成为，对于一个项目关联有多个设备数据，将这些设备数据中的异常数据(被判定为异常的用力监视结果数据)着色为红色等而能够辨别地进行显示。此外，对一个该被着色的设备数据(异常数据)分配的分数为1分。

(健康概括画面的给分处理)

接下来，详细说明健康状态概要显示画面的给分处理。作为装置的综合运用状态的评价指数的健康指数，使用例如减法以下式表示。

健康指数＝满分(100)-(被判定为异常的用力监视结果数据的数量+被判定为异常的装置状态监视结果数据的数量(u.fdc)+被判定为异常的装置状态监视结果数据的数量(s.fdc)+零件减数)。

在此，关于零件减数，在被判定为异常的保养时期监视结果数据的数量为1件到4件时，减数为1分，在为5件到9件时减数为2分，在为10件到14件时减数为3分，在为15件到19件时减数为4分，在为20件到24件时减数为5分···是依次向上增加的数，是被判定为异常的保养时期监视结果数据的数量以大致5倍增加得到的数。

也就是说，在图18中，健康指数为100-(0-1-0-0)＝99。

另外，从被判定为异常的装置状态监视结果数据的数量和被判定为异常的用力监视结果数据的数量算出的减数可以仅数异常的数，不需要特别注意，但零件减数必须在针对每个诊断对象项目计算之后再进行合计，因此需要注意。

接着，在判定结果显示工序(s14)中，画面显示控制部215b从存储部215h读出数据判定工序(s13)的判定结果和给分结果，更新并显示图18所示的详细信息显示画面、异常部位显示画面、健康状态概要显示画面、供给状态显示画面。

(总分表画面的更新)

画面显示控制部215b在详细信息显示画面的更新中，关于各诊断对象项目的各诊断方法项目(u.fdc、s.fdc)栏的诊断结果数据，在正常的情况下显示“○”，在判定为5件以上异常的情况下显示“×”，在判定为1件到4件异常的情况下显示“△”，在不存在成为判定对象的诊断结果数据的情况下显示“―”。

另外，画面显示控制部215b针对详细信息显示画面的诊断方法项目(零件)栏的诊断结果数据，与诊断方法项目(u.fdc、s.fdc)同样地显示“○”、“―”，针对诊断方法项目(零件)栏的诊断结果数据，在判定为20件以上异常的情况下显示“×”，在判定为1件到19件异常的情况下显示“△”。

此外，也可以构成为与实施例1同样地追加报警(故障管理)栏来进行显示，还可以构成为追加分数栏来显示关于各诊断对象项目的分数。但是，在该情况下，构成为，画面显示控制部215b执行实施例1记载的s201至s205。

另外，构成为，与实施例1同样地，在详细信息显示画面中，当点击显示着“×”或“△”的单元时，画面显示控制部215b进而显示诊断对象项目的详细信息。

(健康检查视图画面的更新)

画面显示控制部215b构成为，与实施例1同样地，显示装置1的整体图，并且以能够辨别包含被判定为异常的诊断结果数据的单元(在图18中表示为结构划分)和项目(在图18中表示为模块)、即被判定为异常的装置1的结构部位是异常的方式进行显示。

(健康概括画面的更新)

画面显示控制部215b构成为，分别使用装置状态监视控制部215e输出的装置状态监视结果数据、部件管理控制部215d输出的保养时期监视结果数据、数据匹配控制部215c输出的用力监视结果数据，来导出表示装置1的运用状态的信息。

具体而言，画面显示控制部215b构成为，使用装置状态监视控制部215e输出的被判定为异常的装置状态监视结果数据、被判定为异常的部件管理控制部215d输出的保养时期监视结果数据、被判定为异常的数据匹配控制部215c输出的用力监视结果数据，通过减法来显示装置1的健康指数(表示健康状态的指数)。

(供给检查画面的更新)

另外，画面显示控制部215b基于在诊断结果数据获取工序(s12)中获取的、与作为诊断对象项目的前驱物(图8的前驱物)、冷却水(图8的冷却水流量)、吹扫温度(图8的低温吹扫)、排气(图8的排出)、泵(图8的泵)相关的设备数据的诊断结果数据，更新并显示供给状态显示画面。

(参数匹配画面的更新)

另外，画面显示控制部215b基于在诊断结果数据获取工序(s12)中获取的与作为文件匹配对象的项目的pmc、system、ou、robo有关的文件匹配结果的数据中表示综合匹配率的数据，更新并显示文件比较显示画面。

像这样，根据实施例2，构成为，画面显示控制部215b在衬底处理开始前显示对装置1(重复装置)与主装置的参数文件进行比较的结果，因此，在匹配率低的情况下，能够采取在与主装置的文件取得匹配以前不开始衬底处理这样的对策等。而且，如果是与衬底处理用的配方文件有关联的参数文件，则在匹配率低的情况下，通过禁止配方的执行，能够抑制批次作废。

根据实施例2，由于画面显示控制部215b将表示对从顾客工厂提供的设备数据和基准数据进行比较的结果的用力监视结果数据用于导出表示装置1的运用状态的信息，因此能够更高精度地评价装置的综合运用状态。

此外，在上述那样的本实施方式中，进而也可以构成为，装置管理控制器215将表示装置1的运用状态的信息向上级控制器通知。

另外，在上述那样的本实施方式中，例如，在量化地算出表示装置1的运用状态的信息的情况下，使用了减法(从满分减分的方法)，但不限于该计算方法，例如，也可以与异常数量相应地来加分。

根据本实施方式中的装置管理控制器215，起到以下所示的一个或多个效果。

(1)根据本实施方式，由于构成为，基于从由部件管理控制部215d所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部215e所获取的装置状态监视结果数据、和数据匹配控制部215c所判定的用力监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息，因此，装置管理控制器215能够一元地管理装置的综合状态，能够更高精度地评价装置的综合运用状态。

(2)由于构成为，画面显示控制部215b在健康状态概要显示画面上显示健康指数，因此能够量化且一目了然地掌握装置的运用状态。

(3)由于构成为，画面显示控制部215b以能够辨别包含被判定为异常的诊断结果数据的装置1的结构部位是异常的方式在异常部位显示画面上进行显示，因此能够容易地掌握哪个部位为异常。

(4)由于构成为，画面显示控制部215b在供给状态显示画面上显示装置1的处理开始时的设备数据的实测值相对于基准数据超过了规定的阈值这一情况，因此能够容易地掌握装置1的处理开始时的设备数据是异常的这一情况。

(5)而且，由于构成为，画面显示控制部215b在该供给状态显示画面上相对于诊断对象项目另行地显示设备数据的实测值为异常这一情况，因此能够容易地掌握异常的诊断对象项目。

(6)而且，由于构成为，画面显示控制部215b针对基于装置数据的经时变化量与标准数据进行比较来进行异常诊断的诊断方法项目，在由装置1的用户创建并使用的诊断方法即u.fdc的基础上还显示由装置1的制造商创建并使用的诊断方法即s.fdc，因此能够容易地掌握对各诊断对象项目的s.fdc的诊断结果。

(7)而且，由于构成为，画面显示控制部215b分为u.fdc和s.fdc来进行显示，因此，能够容易地掌握对各诊断对象项目的u.fdc和s.fdc各自的诊断结果。

(8)由于构成为，画面显示控制部215b在详细信息显示画面上针对多个诊断对象项目分别显示基于装置数据进行异常诊断的诊断方法项目(fdc)的诊断结果、和与构成装置1的部件的使用时间或使用次数有关的诊断方法项目(零件)的诊断结果，因此能够容易地掌握对各个诊断对象项目的各诊断方法项目的诊断结果。

此外，本发明的实施方式中的衬底处理装置1不仅能够适用于制造半导体的半导体制造装置，还能够适用于对lcd(liquidcrystaldisplay：液晶显示器)装置那样的玻璃基板进行处理的装置。另外，当然也能够适用于曝光装置、光刻装置、涂布装置、利用了等离子体的处理装置等各种衬底处理装置中。

而且，在成膜处理中也能够实施cvd(chemicalvapordeposition：化学气相沉积)、pvd(physicalvapordeposition：物理气相沉积)等的形成薄膜的处理、形成氧化膜、氮化膜的处理、形成含金属的膜的处理。