基板分割装置的制作方法

文档序号:11214255阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
基板分割装置(1)能够分割形成有划线槽(S)的由脆性材料构成的基板(W)。基板分割装置(1)包括第一保持工作台(3)、第二保持工作台(5)以及转动连结部(7)。第一保持工作台(3)具有保持基板(W)的第一保持面(11)。第二保持工作台(5)具有保持基板(W)的第二保持面(21),第一保持工作台(3)与第二保持工作台(5)以使第一保持面(11)与第二保持面(21)横向排列而能形成水平面的方式在侧部(3a、5a)之间隔开间隙(33)而相邻。转动连结部(7)将第一保持工作台(3)与第二保持工作台(5)的侧部(3a、5a)彼此连结为转动自如。转动连结部(7)具有第一转动连结部(45a)以及第二转动连结部(45b)。

技术研发人员:广野嘉文
受保护的技术使用者:三星钻石工业股份有限公司
技术研发日:2017.03.17
技术公布日:2017.10.10
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