技术总结
一种晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。
技术研发人员：林生海;高自强
受保护的技术使用者：辛耘企业股份有限公司
文档号码：201710173012
技术研发日：2017.03.22
技术公布日：2017.10.10