技术特征：
技术总结
本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置包括：基板保持工具，其能够将多个基板在铅垂方向上具有间隔地堆叠为多层，具有在铅垂方向上分隔所述多个基板所堆叠的区域的多个分隔板；处理容器，其能够收容该基板保持工具；突出部，其以从该处理容器内的与所述分隔板的外周侧面相对的内周壁面朝向所述分隔板的外周侧面向内侧突出的方式延伸，在形成于突出了的顶端的内周侧面和所述分隔板的外周侧面之间形成有间隙；以及气体供给部件，其能够向形成在该突出部的所述内周侧面和所述分隔板的外周侧面之间的所述间隙供给非活性气体而形成压力比周围的压力高的正压部。
技术研发人员：似鸟弘弥;小池悟
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.03.28
技术公布日：2017.10.10