基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件的制作方法
本发明属于微电子技术领域，涉及半导体器件，特别是基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件，可用于电力电子系统。
技术背景
功率半导体器件是电力电子技术的核心元件，随着能源和环境问题的日益突出，研发新型高性能、低损耗功率器件就成为提高电能利用率、节约能源、缓解能源危机的有效途径之一。而在功率器件研究中，高速、高压与低导通电阻之间存在着严重的制约关系，合理、有效地改进这种制约关系是提高器件整体性能的关键。随着微电子技术的发展，传统第一代si半导体和第二代gaas半导体功率器件性能已接近其材料本身决定的理论极限。为了能进一步减少芯片面积、提高工作频率、提高工作温度、降低导通电阻、提高击穿电压、降低整机体积、提高整机效率，以gan为代表的宽禁带半导体材料，凭借其更大的禁带宽度、更高的临界击穿电场和更高的电子饱和漂移速度，且化学性能稳定、耐高温、抗辐射等突出优点，在制备高性能功率器件方面脱颖而出，应用潜力巨大。特别是采用gan基异质结结构的横向高电子迁移率晶体管，即横向gan基高电子迁移率晶体管hemt器件，更是因其低导通电阻、高击穿电压、高工作频率等特性，成为了国内外研究和应用的热点、焦点。
然而，在横向gan基hemt器件中，为了获得更高的击穿电压，需要增加栅漏间距，这会增大器件尺寸和导通电阻，减小单位芯片面积上的有效电流密度和芯片性能，从而导致芯片面积和研制成本的增加。此外，在横向gan基hemt器件中，由高电场和表面态所引起的电流崩塌问题较为严重，尽管当前已有众多抑制措施，但电流崩塌问题依然没有得到彻底解决。为了解决上述问题，研究者们提出了垂直型gan基电流孔径异质结场效应器件，也是一种垂直型异质结场效应器件，参见algan/gancurrentapertureverticalelectrontransistors,ieeedeviceresearchconference,pp.31-32,2002。gan基电流孔径异质结场效应器件可通过增加漂移层厚度提高击穿电压，避免了牺牲器件尺寸和导通电阻的问题，因此可以实现高功率密度芯片。而且在gan基电流孔径异质结场效应器件中，高电场区域位于半导体材料体内，这可以彻底地消除电流崩塌问题。2004年，ilanben-yaacov等人利用刻蚀后mocvd再生长沟道技术研制出algan/gan电流孔径异质结场效应器件，该器件未采用钝化层，最大输出电流为750ma/mm，跨导为120ms/mm，两端栅击穿电压为65v，且电流崩塌效应得到显著抑制，参见algan/gancurrentapertureverticalelectrontransistorswithregrownchannels,journalofappliedphysics,vol.95,no.4,pp.2073-2078,2004。2012年，srabantichowdhury等人利用mg离子注入电流阻挡层结合等离子辅助mbe再生长algan/gan异质结的技术，研制出基于gan衬底的电流孔径异质结场效应器件，该器件采用3μm漂移层，最大输出电流为4ka·cm-2，导通电阻为2.2mω·cm2，击穿电压为250v，且抑制电流崩塌效果好，参见cavetonbulkgansubstratesachievedwithmbe-regrownalgan/ganlayerstosuppressdispersion,ieeeelectrondeviceletters,vol.33,no.1,pp.41-43,2012。同年，由masahirosugimoto等人提出的一种增强型gan基电流孔径异质结场效应器件获得授权，参见transistor,us8188514b2,2012。此外，2014年，huinie等人基于gan衬底研制出一种增强型gan基电流孔径异质结场效应器件，该器件阈值电压为0.5v，饱和电流大于2.3a，击穿电压为1.5kv，导通电阻为2.2mω·cm2，参见1.5-kvand2.2-mω-cm2verticalgantransistorsonbulk-gansubstrates,ieeeelectrondeviceletters,vol.35,no.9,pp.939-941,2014。
传统gan基电流孔径异质结场效应器件是基于gan基宽禁带半导体异质结结构，其包括：衬底1、漂移层2、孔径层3、左、右两个对称的电流阻挡层4、孔径5、沟道层6、势垒层7和钝化层12；势垒层7上面的两侧淀积有源极9，源极9下方通过离子注入形成两个注入区8，源极9之间的势垒层7上面淀积有栅极10，衬底1下面淀积有漏极11，钝化层12完全包裹除了漏极底部以外的所有区域，如图1所示。
经过十多年的理论和实验研究，研究者们发现，上述传统gan基电流孔径异质结场效应器件结构上存在固有缺陷，会导致器件中电场强度分布极不均匀，尤其是在电流阻挡层与孔径区域交界面下方附近的半导体材料中存在极高的电场峰值，从而引起器件过早击穿。这使得实际工艺中很难实现通过增加n型gan漂移层的厚度来持续提高器件的击穿电压。因此，传统结构gan基电流孔径异质结场效应器件的击穿电压普遍不高。为了获得更高的器件击穿电压，并可以通过增加n型gan漂移层的厚度来持续提高器件的击穿电压，2013年，zhongdali等人利用数值仿真技术研究了一种基于超结的增强型gan基电流孔径异质结场效应器件，研究结果表明超结结构可以有效调制器件内部的电场分布，使处于关态时器件内部各处电场强度趋于均匀分布，因此器件击穿电压可达5～20kv，且采用3μm半柱宽时击穿电压为12.4kv，而导通电阻仅为4.2mω·cm2，参见designandsimulationof5-20-kvganenhancement-modeverticalsuperjunctionhemt,ieeetransactionsonelectrondecices,vol.60,no.10,pp.3230-3237,2013。采用超结的gan基电流孔径异质结场效应器件从理论上可以获得高击穿电压，且可实现击穿电压随n型gan漂移层厚度的增加而持续提高，是目前国内外已报道文献中击穿电压最高的一种非常有效的大功率器件结构。然而，超结结构的制造工艺难度非常大，尤其是厚n型gan漂移层情况下，几乎无法实现高性能超结结构的制作。此外，在采用超结结构的gan基电流孔径异质结场效应器件中，当器件导通时超结附近会产生额外的导通电阻，且该导通电阻会随着漂移层厚度的增加而不断增加，因此虽然器件的击穿电压随着漂移层厚度的增加而提高，但是器件的导通电阻也会相应的增加，器件中击穿电压与导通电阻之间的矛盾并没有彻底解决。因此，探索和研发制造工艺简单、击穿电压高、导通电阻小的新型gan基电流孔径异质结场效应器件，意义非常重大。
随着应用领域的扩展，在电动汽车、s类功率放大器、功率管理系统等许多技术领域中，为了有效地实现功率转换和控制，迫切需要具有双向阻断能力的高性能功率器件，即器件不仅要有很强的正向阻断能力，即正向击穿电压，还要同时具有很强的反向阻断能力，也就是希望器件在关态下具有很高的负的漏极击穿电压，即反向击穿电压。
场板结构已成为横向gan基hemt器件中用于提高器件正向击穿电压和可靠性的一种成熟、有效的场终端技术，且该技术可以实现器件击穿电压随场板的长度和结构变化而持续增加。近年来，通过利用场板结构已使横向gan基hemt器件的性能取得了突飞猛进的提升，参见highbreakdownvoltagealgan–ganpower-hemtdesignandhighcurrentdensityswitchingbehavior,ieeetransactionsonelectrondevices,vol.50,no.12,pp.2528-2531,2003,和highbreakdownvoltagealgan–ganhemtsachievedbymultiplefieldplates,ieeeelectrondeviceletters,vol.25,no.4,pp.161-163,2004，以及highbreakdownvoltageachievedonalgan/ganhemtswithintegratedslantfieldplates,ieeeelectrondeviceletters,vol.27,no.9,pp.713-715,2006。因此，将场板结构引入gan基电流孔径异质结场效应器件中，以提高器件的正向击穿电压，具有非常重要的优势。然而，截至目前国内外仍然没有将场板结构成功应用于gan基电流孔径异质结场效应器件中的先例，这主要是由于gan基电流孔径异质结场效应器件结构上的固有缺陷，会导致器件漂移层中最强电场峰位于电流阻挡层与孔径层交界面下方附近，该电场峰远离漂移层两侧表面，因此场板结构几乎无法发挥有效调制器件中电场分布的作用，即使在gan基电流孔径异质结场效应器件中采用了场板结构，器件性能也几乎没有任何提高。
此外，现有的gan基电流孔径异质结场效应器件均采用欧姆漏极，当器件漏极施加非常低的反向电压时，器件中的电流阻挡层便会失效，形成很大的漏源泄漏电流，而且随着漏极反向电压的增加，器件栅极也会正向开启，并通过很大栅电流，最终导致器件失效。因此，现有的gan基电流孔径异质结场效应器件均无法实现反向阻断功能，即使将场板结构应用于gan基电流孔径异质结场效应器件中，对改善器件的反向阻断特性也无任何效果。
综上所述，针对上述技术瓶颈，研发具备优良双向阻断能力的高性能垂直型gan基电流孔径异质结场效应器件，非常必要、迫切，具有重要的现实意义。
技术实现要素：
本发明的目的在于针对上述已有技术的不足，提供一种基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件，以减小器件的制作难度，提高器件的正向击穿电压和反向击穿电压，并实现正向击穿电压和反向击穿电压的可持续增加，缓解器件击穿电压与导通电阻之间的矛盾，改善器件的击穿特性和可靠性。
为实现上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：
一、器件结构
一种基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件，包括:衬底1、漂移层2、孔径层3、两个对称的电流阻挡层4、沟道层6、势垒层7和钝化层14，势垒层7上的两侧淀积有两个源极9，两个源极9下方通过离子注入形成两个注入区8，源极9之间的势垒层上面淀积有栅极10，衬底1下面淀积有肖特基漏极11，钝化层14完全包裹在除肖特基漏极11底部以外的所有区域，两个电流阻挡层4之间形成孔径5，其特征在于：
所述两个电流阻挡层4，采用由第一阻挡层41和第二阻挡层42构成的二级阶梯结构，且第一阻挡层41位于第二阻挡层42的外侧；
所述钝化层14，是由若干层绝缘介质材料自下而上堆叠而成；绝缘介质材料可采用sio2、sin、al2o3、sc2o3、hfo2、tio2中的任意一种或其它绝缘介质材料；该钝化层两侧的下部区域内有浮空漏场板12，上部区域内有浮空源场板13；
所述浮空漏场板12，由自下而上的漏场板、第一漏浮空场板、第二漏浮空场板至第q漏浮空场板构成，漏场板与肖特基漏极11电气连接，第一漏浮空场板至第q漏浮空场板为浮空型场板，且相互之间相互独立，q根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数；
所述浮空源场板13，由自下而上的第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板和源场板构成，第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板，即m个源浮空场板为浮空型场板，且相互之间相互独立，源场板与源极9电气连接，m根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数。
二、制作方法
本发明制作基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件的方法，包括如下过程：
a.制作漂移层2和孔径层3。
a1)在采用n-型gan材料的衬底1上外延掺杂浓度为1×1015～1×1018cm-3的n-型gan半导体材料，形成漂移层2；
a2)在漂移层2上外延n型gan半导体材料，形成厚度h为0.5～3μm、掺杂浓度为1×1015～1×1018cm-3的孔径层3；
b.制作电流阻挡层4。
b1)在孔径层3上制作掩模，利用该掩模在孔径层内的两侧位置注入剂量为1×1015～1×1016cm-2的p型杂质，制作厚度a与孔径层厚度h相同，宽度c为0.2～1μm的两个第一阻挡层41；
b2)在孔径层3和左右第一阻挡层41上制作掩模，利用该掩模在左右第一阻挡层41之间的孔径层内的两侧注入剂量为1×1015～1×1016cm-2的p型杂质，制作厚度b为0.3～1μm，宽度d为1.4～3.4μm的两个第二阻挡层42，两个第一阻挡层41与两个第二阻挡层42构成两个对称的二级阶梯结构的电流阻挡层4，左右电流阻挡层4之间形成孔径5；
c.制作沟道层6和势垒层7。
c1)在两个第一阻挡层41、两个第二阻挡层42和孔径5上部外延gan半导体材料，形成厚度为0.04～0.2μm的沟道层6；
c2)在沟道层6上部外延gan基宽禁带半导体材料，形成厚度为5～50nm的势垒层7；
d.在势垒层7上部制作掩模，利用该掩模在势垒层内两侧注入剂量为1×1015～1×1016cm-2的n型杂质，以制作注入区8，其中，两个注入区的深度均大于势垒层厚度，且小于沟道层6与势垒层的总厚度；
e.制作源极9与栅极10。
e1)在两个注入区8上部和势垒层7上部制作掩模，利用该掩模在两个注入区上部淀积金属，以制作源极9；
e2)在源极9上部和势垒层7上部制作掩模，利用该掩模在左、右两侧源极9之间的势垒层7上部淀积金属，以制作栅极10，栅极与两个电流阻挡层在水平方向上的交叠长度大于0μm；
f.在衬底1背面上淀积金属，以制作肖特基漏极11；
g.制作浮空漏场板12。
g1)制作漏场板：
g11)淀积一层绝缘介质材料，以覆盖除了肖特基漏极底部以外的其他区域，且左、右两侧的绝缘介质材料的厚度与肖特基漏极的厚度相同；
g12)在绝缘介质材料上部制作掩模，利用该掩模在左右两侧的绝缘介质材料上部淀积宽度d1为0.5～6μm、厚度l1为0.5～3μm的金属，所淀积金属距离衬底的水平距离t1为0.2～0.6μm，且所淀积金属的下边缘与衬底下边缘水平对齐，以制作漏场板；
g2)制作第一漏浮空场板至第q漏浮空场板：
g21)在漏场板和步骤g11)中淀积的绝缘介质材料上部再淀积一层绝缘介质材料；
g22)在步骤g21)淀积的绝缘介质材料上制作掩模，利用该掩模在左、右两侧的绝缘介质上淀积宽度d1为0.5～6μm、厚度l1为0.5～3μm的金属，以制作第一漏浮空场板，第一漏浮空场板与漏场板间距s1为0.1～1.5μm，第一漏浮空场板距离漂移层2的水平距离t1为0.2～0.6μm；
g23)在第一漏浮空场板和步骤g21)淀积的绝缘介质材料上再淀积一层绝缘介质材料；
g24)在步骤g23)淀积的绝缘介质材料上制作掩模，利用该掩模在左、右两侧的绝缘介质上淀积宽度d1为0.5～6μm、厚度l1为0.5～3μm的金属，以制作第二漏浮空场板，第二漏浮空场板与第一漏浮空场板间距为s2，第二漏浮空场板距离漂移层2的水平距离t1为0.2～0.6μm；
以此类推，直至形成第q漏浮空场板，漏场板、第一漏浮空场板至第q漏浮空场板构成浮空漏场板12，q根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数；
h.在漂移层左右两边的第q漏浮空场板上部和绝缘介质材料的上部再次淀积绝缘介质材料，形成平台；
i.制作浮空源场板13。
i1)制作第一源浮空场板：
在绝缘介质材料上制作掩模，利用该掩模在左、右两侧的平台上淀积宽度d2为0.5～6μm、厚度l2为0.5～3μm的金属，以制作第一源浮空场板，第一源浮空场板距离漂移层2的水平距离为t2；
i2)制作第二源浮空场板至第m源浮空场板：
i21)在第一源浮空场板和未被第一源浮空场板覆盖的绝缘介质材料上淀积一层绝缘介质材料；
i22)在步骤i21)淀积的绝缘介质材料上制作掩模，利用该掩模在左、右两侧的绝缘介质上淀积宽度d2为0.5～6μm、厚度l2为0.5～3μm的金属，以制作第二源浮空场板，第二源浮空场板与第一源浮空场板间距为w1，第二源浮空场板距离漂移层2的水平距离为t2；
i23)在第二源浮空场板和步骤i21)淀积的绝缘介质材料上再淀积一层绝缘介质材料；
i24)在步骤i23)淀积的绝缘介质材料上制作掩模，利用该掩模在左、右两侧的绝缘介质上淀积宽度d2为0.5～6μm、厚度l2为0.5～3μm的金属，以制作第三源浮空场板，第三源浮空场板与第二源浮空场板间距为w2，第三源浮空场板距离漂移层2的水平距离为t2；
以此类推，直至形成第m源浮空场板，m根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数，t2近似满足关系：
i3)制作源场板：
i31)在第m源浮空场板和未被第m源浮空场板覆盖的绝缘介质材料上再次淀积一层绝缘介质材料；
i32)在步骤i31)淀积的绝缘介质材料上制作掩模，并利用该掩模在左、右两侧新的绝缘介质上淀积金属，以制作源场板，源场板与第m源浮空场板的间距wm为0.1～1.5μm，源场板距离漂移层2的水平距离为t2，源场板上边缘高于第一阻挡层41下边缘，源场板下边缘低于第一阻挡层41下边缘，且源场板与漂移层在垂直方向上的交叠长度l2为0.5～3μm；
i33)将源场板与源极电气连接，该源场板与第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板构成浮空源场板13；t2近似满足关系：
j.淀积绝缘介质材料覆盖器件上部区域，由所有淀积的绝缘介质材料形成钝化层14，完成整个器件的制作。
本发明与传统gan基电流孔径异质结场效应器件比较，具有以下优点：
a.实现正向击穿电压持续增加。
本发明采用二级阶梯形式的电流阻挡层，使器件内部的第一阻挡层、第二阻挡层与孔径层交界面下方附近均会产生一个电场峰，且第一阻挡层对应的电场峰值大于第二阻挡层对应的电场峰值；由于第一阻挡层的电场峰非常接近漂移层两侧表面，便可以利用浮空源场板有效减弱漂移层两侧表面附近第一阻挡层对应的电场峰，并可以在源场板、每个源浮空场板处漂移层两侧表面附近形成新的电场峰，且该电场峰数目与源浮空场板和源场板的场板数相等；
通过调整浮空源场板与漂移层之间的水平间距、电流阻挡层的尺寸和掺杂、相邻两个场板的垂直间距等，可以使得电流阻挡层与孔径层交界面下方附近的电场峰值与源场板、各源浮空场板对应的漂移层表面附近各电场峰值相等，且小于gan基宽禁带半导体材料的击穿电场，从而提高了器件的正向击穿电压，且通过增加源浮空场板的数目，可实现正向击穿电压的持续增加。
b.实现反向击穿电压持续增加。
本发明采用了漏浮空场板，利用多个漏浮空场板可以有效调制漂移层内电场分布，使得器件漂移层内的高电场区面积显著增加，并可在漏场板、每个漏浮空场板处漂移层两侧表面附近形成新的电场峰，且电场峰数目与漏浮空场板和漏场板的数目相等；
通过调整浮空漏场板与漂移层之间的水平间距、相邻两个场板的垂直间距等，可以使得漏场板、各漏浮空场板对应的漂移层内各电场峰值近似相等，且小于gan基宽禁带半导体材料的击穿电场，从而提高了器件的反向击穿电压，且通过增加漏浮空场板的数目，可实现击穿电压的持续增加。
c.在提高器件击穿电压的同时，器件导通电阻几乎恒定。
本发明通过在器件两侧采用场板技术来提高器件击穿电压，由于场板不会影响器件导通电阻，当器件导通时，在器件内部漂移层只存在由电流阻挡层所产生的耗尽区和肖特基漏极附近的耗尽区，即高阻区，并未引入其它耗尽区，因此，随着源浮空场板和漏浮空场板数目的增加，器件的正向击穿电压和反向击穿电压持续增加，而导通电阻几乎保持恒定。
d.工艺简单，易于实现，提高了成品率。
本发明器件结构中，源浮空场板和漏浮空场板的制作是通过在漂移层两侧多次淀积金属和绝缘介质材料而实现的，其工艺简单，且不会对器件中半导体材料产生损伤，避免了采用超结的gan基电流孔径异质结场效应器件结构所带来的工艺复杂化问题，大大提高了器件的成品率。
以下结合附图和实施例进一步说明本发明的技术内容和效果。
附图说明
图1是传统gan基电流孔径异质结场效应器件的结构图；
图2是本发明基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件的结构图；
图3是本发明制作基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件的总流程图；
图4是本发明中制作浮空漏场板的子流程图；
图5是本发明中制作浮空源场板的子流程图；
图6是对本发明器件仿真所得正向击穿情况下的二维电场分布图；
图7是对本发明器件仿真所得反向击穿情况下的二维电场分布图。
具体实施方式
参照图2，本发明基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件是基于gan基宽禁带半导体异质结结构，其包括：衬底1、漂移层2、孔径层3、两个对称的电流阻挡层4、沟道层6、势垒层7和钝化层14，势垒层7上的两侧淀积有两个源极9，两个源极下方通过离子注入形成两个注入区8，源极9之间的势垒层7上面淀积有栅极10，衬底1下面淀积有肖特基漏极11，钝化层14完全包裹在除肖特基漏极11底部以外的所有区域。其中：
所述衬底1，采用n-型gan材料；
所述漂移层2，位于衬底1上部，其掺杂浓度为1×1015～1×1018cm-3；
所述孔径层3，位于漂移层2上部，其厚度h为0.5～3μm、掺杂浓度为1×1015～1×1018cm-3；
所述电流阻挡层4，是由第一阻挡层41和第二阻挡层42构成得的二级阶梯结构，其中：两个第一阻挡层位于孔径层3内的左右两侧，两个第二阻挡层42位于两个第一阻挡层41内侧，各阻挡层均采用p型掺杂；该第一阻挡层41的厚度a为0.5～3μm，宽度c为0.2～1μm，该第二阻挡层42的厚度b为0.3～1μm，宽度d为1.4～3.4μm，且满足a>b，两个对称的电流阻挡层4之间形成孔径5；
所述沟道层6，位于两个电流阻挡层4和孔径5上部，其厚度为0.04～0.2μm；
所述势垒层7，位于沟道层6上部，其由若干层相同或不同的gan基宽禁带半导体材料组成，厚度为5～50nm；
所述栅极10，其与两个电流阻挡层4在水平方向上的交叠长度大于0μm；
所述器件两边的钝化层14，是由若干层绝缘介质材料自下而上堆叠而成；绝缘介质材料可采用sio2、sin、al2o3、sc2o3、hfo2、tio2中的任意一种或其它绝缘介质材料；该钝化层两侧内的下部区域内有浮空漏场板12，上部区域淀内有浮空源场板13；
所述浮空漏场板12，由自下而上的漏场板、第一漏浮空场板、第二漏浮空场板至第q漏浮空场板构成，漏场板与肖特基漏极11电气连接，第一漏浮空场板至第q漏浮空场板为浮空型场板，且相互之间相互独立，q根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数；漏场板、第一漏浮空场板、第二漏浮空场板至第q漏浮空场板的高度相等，均表述为l1；宽度相同，均表述为d1，l1为0.5～3μm，d1为0.5～6μm。
浮空漏场板12中，同一侧的漏场板及各漏浮空场板均相互平行，且相邻两个场板之间的绝缘介质材料的厚度，即相邻场板之间的间距不同，表述为si，且自下而上依次增大，漏场板与第一漏浮空场板之间的间距s1为0.1～1.5μm，i为整数且q≥i≥1；浮空漏场板12中，同一侧的所有场板距离漂移层2的水平距离t1均相等，t1为0.2～0.6μm，漏场板下边缘与衬底1下边缘水平对齐；钝化层左右两侧内的两个浮空漏场板12完全对称；
所述浮空源场板13，由自下而上的第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板和源场板构成，第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板，即m个源浮空场板为浮空型场板，且相互之间相互独立，源场板与源极9电气连接，m根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数；同一侧的源场板及各源浮空场板均相互平行，且距离漂移层2的水平距离均相等且为t2，t2近似满足关系：
第一源浮空场板、第二源浮空场板至第m源浮空场板的厚度相等，均表述为l2，宽度相同，均表述为d2；l2为0.5～3μm，d2为0.5～6μm；源场板的宽度等于各源浮空场板的宽度，源场板上边缘所在高度高于第一阻挡层41下边缘所在高度，源场板下边缘低于第一阻挡层41下边缘，源场板与漂移层在垂直方向上的交叠长度等于l2。
浮空源场板13中，同一侧的源场板及各源浮空场板均相互平行，且相邻两个场板之间的间距wj不同，且自下而上依次减小，第m源浮空场板与源场板的间距wm的范围为0.1～1.5μm，第一源浮空场板与第二源浮空场板之间的间距为w1，第二源浮空场板与第三源浮空场板之间的距离为w2，j为整数且m≥j≥1；左右两侧的两个浮空源场板13完全对称；
所述肖特基漏极11，采用肖特基结构。
参照图3，本发明制作基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件的过程，给出如下三种实施例：
实施例一：制作钝化层为sio2，且带有两个漏浮空场板和两个源浮空场板的基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件。
步骤1.制作漂移层2和孔径层3，如图3a。
1a)采用n-型gan材料做衬底1，使用金属有机物化学气相淀积技术，在衬底1上外延掺杂浓度为1×1015cm-3的n-型gan半导体材料，形成漂移层2，其中：
外延采用的工艺条件为：温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min；
1b)使用金属有机物化学气相淀积技术，在漂移层2上外延厚度为0.5μm、掺杂浓度为1×1015cm-3的n型gan半导体材料，形成孔径层3，其中：
外延采用的工艺条件为：温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min。
步骤2.制作电流阻挡层4，如图3b。
2a)制作第一阻挡层41：
2a1)在孔径层3上制作一次掩模；
2a2)使用离子注入技术，在孔径层内的两侧位置注入剂量为1×1015cm-2的p型杂质mg，制作厚度a为0.5μm，宽度c为0.2μm的两个第一阻挡层41；
2b)制作第二阻挡层42：
2b1)在孔径层3和两个第一阻挡层41上制作一次掩模；
2b2)使用离子注入技术，在左、右第一阻挡层41之间的孔径层3内两侧注入剂量为1×1015cm-2的p型杂质mg，制作厚度b为0.3μm，宽度d为1.4μm的两个第二阻挡层42，两个第一阻挡层和两个第二阻挡层构成两个对称的二级阶梯结构的电流阻挡层4，左、右两个电流阻挡层4之间形成孔径5。
步骤3.制作沟道层6和势垒层7，如图3c。
3a)外延gan材料制作沟道层6：
使用分子束外延技术，在两个第一阻挡层41、两个第二阻挡层42和孔径5的上部外延厚度为0.04μm的gan材料，形成沟道层6，其中：
分子束外延的工艺条件为：真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2和高纯ga源；
3b)外延al0.5ga0.5n，制作势垒层7：
使用分子束外延技术在沟道层6上外延厚度为5nm的al0.5ga0.5n材料，形成势垒层7，其中：
分子束外延的工艺条件为：真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2、高纯ga源和高纯al源。
步骤4.制作注入区8，如图3d。
4a)在势垒层7上部制作一次掩模；
4b)使用离子注入技术，在势垒层内的两侧注入剂量为1×1015cm-2的n型杂质si，形成深度为0.01μm的注入区8；
4c)在1200℃温度下进行快速热退火。
步骤5.制作源极9与栅极10，如图3e。
5a)制作源极9：
5a1)在两个注入区8上部和势垒层7上部制作一次掩模；
5a2)使用电子束蒸发技术，在两个注入区上部淀积ti/au/ni组合金属，形成源极9，其中：所淀积的金属，自下而上的厚度是：ti为0.02μm、au为0.3μm、ni为0.05μm；
5b)制作栅极10：
5b1)在源极9上部和势垒层7上部制作一次掩模；
5b2)使用电子束蒸发技术，在势垒层7上淀积ni/au/ni组合金属，形成栅极10，其中：所淀积的金属，自下而上，其ni的厚度为0.02μm，au的厚度为0.2μm，ni的厚度为0.04μm；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤6.制作肖特基漏极11，如图3f。
使用电子束蒸发技术，在整个衬底1的背面上依次淀积金属ni、au、ni，形成肖特基漏极11，其中：所淀积的金属，ni的厚度为0.02μm，au的厚度为0.7μm，ni的厚度为0.05μm；
淀积金属所采用的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤7.制作浮空漏场板12，如图3g。
参照图4，本步骤的具体实现如下：
7a)制作漏场板：
7a1)使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积一层sio2绝缘介质材料，以覆盖除了肖特基漏极底部以外的其他区域，且左、右两侧的绝缘介质材料的厚度与肖特基漏极的厚度相同；
7a2)在绝缘介质材料上部制作掩模；
7a3)使用电子束蒸发技术，在绝缘介质材料左右两侧上部淀积宽度d1为6μm、厚度l1为3μm的金属，所淀积金属距离衬底的水平距离t1为0.6μm，且所淀积金属的下边缘与衬底下边缘水平对齐，以制作漏场板，并将漏场板与肖特基漏极电气连接；
7b)制作第一漏浮空场板和第二漏浮空场板：
7b1)在第一漏浮空场板上部和在步骤7a1)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sio2绝缘介质材料；
7b2)在sio2绝缘介质材料上制作掩模；
7b3)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l1为3μm，宽度d1为6μm的第一漏浮空场板，且第一漏浮空场板与漏场板间距s1为1.5μm，第一漏场板距离漂移层2的水平距离t1为0.6μm；
7b4)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一漏浮空场板和步骤7b1)中淀积的sio2绝缘介质材料上部再淀积一层sio2绝缘介质材料；
7b5)在sio2绝缘介质材料上制作掩模；
7b6)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l1为3μm，宽度d1为6μm的第二漏浮空场板，且第二漏浮空场板与第一漏浮空场板间距s2为1.55μm，第二漏浮空场板距离漂移层2的水平距离t1为0.6μm；漏场板、第一漏浮空场板和第二漏浮空场板构成浮空漏场板12；
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤8.制作平台，如图3h。
使用等离子体增强化学气相淀积技术，在两个第二漏浮空场板上部和绝缘介质材料的上部再次淀积sio2绝缘介质材料，形成平台；
等离子体增强化学气相淀积技术的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr。
步骤9.制作浮空源场板13，如图3i。
参照图5，本步骤的具体实现如下：
9a)制作第一源浮空场板：
9a1)在绝缘介质材料上制作掩模；
9a2)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的平台上淀积金属，以制作高度l2为3μm，宽度d2为6μm的第一源浮空场板，且第一源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.49μm；
9b)制作第二源浮空场板：
9b1)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一源浮空场板和未被第一源浮空场板覆盖的sio2绝缘介质材料上淀积一层sio2绝缘介质材料；
9b2)在步骤9b1)淀积的sio2绝缘介质材料上制作掩模；
9b3)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l2为3μm，宽度d2为6μm的第二源浮空场板，且第二源浮空场板与第一源浮空场板间距w1为1.6μm，第二源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.49μm；
9c)制作源场板：
9c1)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第二源浮空场板和步骤9b1)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sio2绝缘介质材料；
9c2)在步骤9c1)淀积的sio2绝缘介质材料上制作掩模；
9c3)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作宽度d2为6μm的源场板，且源场板与第二源浮空场板间距w2为1.5μm，与漂移层2的水平距离t2为0.49μm，源场板上部边缘高于第一阻挡层41下边缘0.5μm，源场板与漂移层在垂直方向上的交叠长度等于3μm；
9c4)将源场板与源极9电气连接，该源场板与第一源浮空场板、第二源浮空场板构成浮空源场板13；
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤10.制作钝化层14，如图3j。
使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积sio2绝缘介质材料覆盖整个器件上部区域，由所有淀积的sio2绝缘介质材料形成钝化层14，完成整个器件的制作。
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr。
实施例二：制作钝化层为sio2，且带有两个漏浮空场板和三个源浮空场板的基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件。
第一步.制作漂移层2和孔径层3，如图3a。
1.1)采用n-型gan做衬底1；在温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min的工艺条件下，使用金属有机物化学气相淀积技术，在衬底1上外延掺杂浓度为6×1016cm-3的n-型gan半导体材料，形成漂移层2；
1.2)在温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min的工艺条件下，使用金属有机物化学气相淀积技术，在漂移层2上外延厚度为1.5μm、掺杂浓度为5×1016cm-3的n型gan半导体材料，形成孔径层3。
第二步.制作电流阻挡层4，如图3b。
2.1)制作第一阻挡层41：
2.11)在孔径层3上制作一次掩模；
2.12)使用离子注入技术，在孔径层内的两侧位置注入剂量为5×1015cm-2的p型杂质mg，制作厚度a为1.5μm，宽度c为0.5μm的两个第一阻挡层41。
2.2)制作第二阻挡层42：
2.21)在孔径层3和两个第一阻挡层41上制作一次掩模；
2.22)使用离子注入技术，在左、右第一阻挡层41之间的孔径层3内两侧注入剂量为6×1015cm-2的p型杂质mg，制作厚度b为0.5μm，宽度d为2μm的两个第二阻挡层42，两个第一阻挡层和两个第二阻挡层构成两个对称的二级阶梯结构的电流阻挡层4，左、右两个电流阻挡层4之间形成孔径5。
第三步.制作沟道层6和势垒层7，如图3c。
3.1)外延gan材料制作沟道层6：
在真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2、高纯ga源的工艺条件下，使用分子束外延技术，在两个第一阻挡层41、两个第二阻挡层42和孔径5的上部外延厚度为0.1μm的gan材料，形成沟道层6；
3.2)外延al0.2ga0.8n，制作势垒层7：
在真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2、高纯ga源、高纯al源的工艺条件下，使用分子束外延技术在沟道层6上外延厚度为20nm的al0.2ga0.8n材料，形成势垒层7；
第四步.制作左、右两个注入区8，如图3d。
4.1)在势垒层7上部制作一次掩模；
4.2)使用离子注入技术，在势垒层内的两侧注入剂量为6×1015cm-2的n型杂质si，形成深度为0.03μm的注入区8；
4.3)在1200℃温度下进行快速热退火。
第五步.制作源极9与栅极10，如图3e。
5.1)制作源极9：
5.11)在两个注入区8上部和势垒层7上部制作一次掩模；
5.12)在真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
5.2)制作栅极10：
5.21)在源极9上部和势垒层7上部制作掩模；
5.22)在真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
第六步.制作肖特基漏极11，如图3f。
在真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
第七步.制作浮空漏场板12，如图3g。
参照图4，本步骤的具体实现如下：
7.1)制作漏场板：
7.11)使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积一层sio2绝缘介质材料，以覆盖除了肖特基漏极底部以外的其他区域，且左、右两侧的绝缘介质材料的厚度与肖特基漏极的厚度相同；
7.12)在绝缘介质材料上部制作掩模；
7.13)使用电子束蒸发技术，在绝缘介质材料左右两侧上部淀积宽度d1为2.5μm、厚度l1为1.5μm的金属，所淀积金属距离衬底的水平距离t1为0.3μm，且所淀积金属的下边缘与衬底下边缘水平对齐，以制作漏场板，并将漏场板与肖特基漏极电气连接；
7.2)制作第一漏浮空场板和第二漏浮空场板：
7.21)在第一漏浮空场板上部和在步骤7.11)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sio2绝缘介质材料；
7.22)在sio2绝缘介质材料上制作掩模；
7.23)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l1为1.5μm，宽度d1为2.5μm的第一漏浮空场板，且第一漏浮空场板与漏场板间距s1为0.6μm，第一漏场板距离漂移层2的水平距离t1为0.3μm；
7.24)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一漏浮空场板和步骤7.21)中淀积的sio2绝缘介质材料上部再淀积一层sio2绝缘介质材料；
7.25)在sio2绝缘介质材料上制作掩模；
7.26)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l1为1.5μm，宽度d1为2.5μm的第二漏浮空场板，且第二漏浮空场板与第一漏浮空场板间距s2为0.68μm，第二漏浮空场板距离漂移层2的水平距离t1为0.3μm；漏场板、第一漏浮空场板和第二漏浮空场板构成浮空漏场板12；
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
第八步.制作平台，如图3h。
在n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压力为1100mtorr的工艺条件下，使用等离子体增强化学气相淀积技术，在两个第二漏浮空场板上部和sio2绝缘介质材料的上部再次淀积sio2绝缘介质材料，形成平台；
第九步.制作浮空源场板13，如图3i。
参照图5，本步骤的具体实现如下：
9.1)制作第一源浮空场板：
9.11)在绝缘介质材料上制作掩模；
9.12)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的平台上淀积金属，以制作高度l2为1μm，宽度d2为1.5μm的第一源浮空场板，且第一源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.19μm；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
9.2)制作第二源浮空场板和第三源浮空场板：
9.21)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一源浮空场板和未被第一源浮空场板覆盖的sio2绝缘介质材料上淀积一层sio2绝缘介质材料；
9.22)在步骤9.21)淀积的sio2绝缘介质材料上制作掩模；
9.23)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l2为1μm，宽度d2为1.5μm的第二源浮空场板，且第二源浮空场板与第一源浮空场板间距w1为0.42μm，第二源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.19μm；
9.24)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一源浮空场板和步骤9.21)中淀积的绝缘介质材料上淀积一层sio2绝缘介质材料；
9.25)在步骤9.24)淀积的sio2绝缘介质材料上制作掩模；
9.26)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作高度l2为1μm，宽度d2为1.5μm的第三源浮空场板，且第三源浮空场板与第二源浮空场板间距w2为0.35μm，第三源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.19μm；
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
9.3)制作源场板：
9.31)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第三源浮空场板和步骤9.24)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sio2绝缘介质材料；
9.32)在步骤9.31)淀积的sio2绝缘介质材料上制作掩模；
9.33)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sio2绝缘介质上淀积金属，以制作宽度d2为1.5μm的源场板，且源场板与第三源浮空场板间距w3为0.3μm，与漂移层2的水平距离t2为0.19μm，源场板上边缘高于第一阻挡层41下边缘0.5μm，源场板与漂移层在垂直方向上的交叠长度等于1μm；
9.34)将源场板与源极电气连接，该源场板与第一源浮空场板、第二源浮空场板和第三源浮空场板形成浮空源场板13；
淀积sio2绝缘介质材料的工艺条件是：n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压强为1100mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
第十步.制作钝化层14，如图3j。
在n2o流量为850sccm，sih4流量为200sccm，温度为250℃，射频功率为25w，压力为1100mtorr的工艺条件下，使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积sio2绝缘介质材料覆盖整个器件上部区域，由所有淀积的sio2绝缘介质材料形成钝化层14，完成整个器件的制作。
实施例三：制作钝化层为sin，且带有1个漏浮空场板和两个源浮空场板的基于浮空源场板和浮空漏场板的垂直型异质结场效应器件。
步骤a.制作漂移层2和孔径层3，如图3a。
a1)采用温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min的工艺条件，采用n-型gan做衬底1，使用金属有机物化学气相淀积技术，在衬底上外延掺杂浓度为1×1018cm-3的n-型gan材料，制作漂移层2。
a2)采用温度为950℃，压强为40torr，以sih4为掺杂源，氢气流量为4000sccm，氨气流量为4000sccm，镓源流量为100μmol/min的工艺条件，使用金属有机物化学气相淀积技术，在漂移层2上外延厚度为3μm、掺杂浓度为1×1018cm-3的n型gan材料，制作孔径层3。
步骤b.制作电流阻挡层4，如图3b。
b1)先在孔径层3上制作掩模；再使用离子注入技术，在孔径层内的两侧位置注入剂量为1×1016cm-2的p型杂质mg，制作厚度a为3μm，宽度c为1μm的两个第一阻挡层41；
b2)先在孔径层3和两个第一阻挡层41上制作掩模；再使用离子注入技术，在左、右第一阻挡层41之间的孔径层3内两侧位置注入剂量为1×1016cm-2的p型杂质mg，制作厚度b为1μm，宽度d为3.4μm的两个第二阻挡层42，两个第一阻挡层41与两个第二阻挡层42构成两个对称的二级阶梯结构的电流阻挡层4，左右电流阻挡层4之间形成孔径5。
步骤c.制作沟道层6和势垒层7，如图3c。
c1)采用真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2、高纯ga源，使用分子束外延技术，在两个第一阻挡层41、两个第二阻挡层42和孔径5的上部外延厚度为0.2μm的gan材料，形成沟道层6；
c2)采用真空度小于等于1.0×10-10mbar，射频功率为400w，反应剂采用n2、高纯ga源、高纯al源的工艺条件，使用分子束外延技术在沟道层6上外延厚度为50nm的al0.1ga0.9n材料，形成势垒层7。
步骤d.先在势垒层7上部制作掩模；再使用离子注入技术，在势垒层内两侧注入剂量为1×1016cm-2的n型杂质si，制作深度为0.06μm的两个注入区8；然后，在1200℃下进行快速热退火，如图3d。
步骤e.制作源极9与栅极10，如图3e。
e1)先在两个注入区8上部和势垒层7上部制作掩模；再采用真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
e2)先在源极9上部和7上部制作掩模；再采用真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤f.采用真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤g.制作浮空漏场板12，如图3g。
参照图4，本步骤的具体实现如下：
g1)制作漏场板：
g11)使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积一层sin绝缘介质材料，以覆盖除了肖特基漏极底部以外的其他区域，且左、右两侧的绝缘介质材料的厚度与肖特基漏极的厚度相同；
g12)在绝缘介质材料上部制作掩模；
g13)使用电子束蒸发技术，在绝缘介质材料左右两侧上部淀积宽度d1为0.5μm、厚度l1为0.5μm的金属，所淀积金属距离衬底的水平距离t1为0.2μm，且所淀积金属的下边缘与衬底下边缘水平对齐，以制作漏场板，并将漏场板与肖特基漏极电气连接；
g2)制作第一漏浮空场板：
g21)在第一漏浮空场板上部和在步骤g11)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sin绝缘介质材料；
g22)在sin绝缘介质材料上制作掩模；
g23)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sin绝缘介质上淀积金属，以制作高度l1为0.5μm，宽度d1为0.5μm的第一漏浮空场板，且第一漏浮空场板与漏场板间距s1为0.1μm，第一场板距离漂移层2的水平距离t1为0.2μm，第一漏浮空场板与漏场板构成浮空漏场板12；
淀积sin绝缘介质材料的工艺条件是：气体为nh3、n2及sih4，气体流量分别为2.5sccm、950sccm和250sccm，温度、射频功率和压强分别为300℃、25w和950mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤h.采用气体为nh3、n2及sih4，气体流量分别为2.5sccm、950sccm和250sccm，温度、射频功率和压强分别为300℃、25w和950mtorr的工艺条件，使用等离子体增强化学气相淀积技术，在两个第一漏浮空场板上部和绝缘介质材料的上部再次淀积sin绝缘介质材料，形成平台，如图3h。
步骤i.制作浮空源场板，如图3i。
参照图5，本步骤的具体实现如下：
i1)制作第一源浮空场板：
i11)在绝缘介质材料上制作掩模；
i12)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的平台上淀积金属，以制作高度l2为0.5μm，宽度d2为0.5μm的第一源浮空场板，且第一源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.18μm；
i2)制作第二源浮空场板：
i21)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第一源浮空场板和未被第一源浮空场板覆盖的sin绝缘介质材料上淀积一层sin绝缘介质材料；
i22)在步骤i21)淀积的sin绝缘介质材料上制作掩模；
i23)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sin绝缘介质上淀积金属，以制作高度l2为0.5μm，宽度d2为0.5μm的第二源浮空场板，且第二源浮空场板与第一源浮空场板间距w1为0.12μm，第二源浮空场板距离漂移层2的水平距离t2为0.18μm；
i3)制作源场板：
i31)使用等离子体增强化学气相淀积技术，在第二源浮空场板和步骤i21)中淀积的绝缘介质材料上再淀积一层sin绝缘介质材料；
i32)在步骤i31)淀积的sin绝缘介质材料上制作掩模；
i33)使用电子束蒸发技术，在左、右两侧的sin绝缘介质上淀积金属，以制作宽度d2为0.5μm的源场板，且源场板与第二源浮空场板间距w2为0.1μm，与漂移层2的水平距离t2为0.18μm，源场板上边缘高于第一阻挡层41下边缘0.5μm，源场板与漂移层在垂直方向上的交叠长度等于0.5μm；
i34)将该源场板与源极电气连接，该源场板与所有源浮空场板形成浮空源场板13；
淀积sin绝缘介质材料的工艺条件是：气体为nh3、n2及sih4，气体流量分别为2.5sccm、950sccm和250sccm，温度、射频功率和压强分别为300℃、25w和950mtorr；
电子束蒸发的工艺条件为：真空度小于1.8×10-3pa，功率范围为200～1000w，蒸发速率小于
步骤j.制作钝化层14，如图3j。
采用气体为nh3、n2及sih4，气体流量分别为2.5sccm、950sccm和250sccm，温度、射频功率和压强分别为300℃、25w和950mtorr的工艺条件，使用等离子体增强化学气相淀积技术，淀积sin绝缘介质材料覆盖整个器件上部区域，由所有淀积的sin绝缘介质材料形成钝化层14，完成整个器件的制作。
本发明的效果可通过以下仿真进一步说明：
仿真：对本发明器件在正向击穿情况下的二维电场分布进行仿真，结果如图6，其中器件的正向击穿电压为1300v；对本发明器件在反向击穿情况下的二维电场分布进行仿真，结果如图7，其中器件的反向击穿电压为-1110v；图6和图7中的器件均采用了2个源浮空场板和2个漏浮空场板。
由图6可以看出，正向击穿情况下，本发明器件中电场强度分布均匀，在器件内部以及漂移层两侧表面附近形成了连续平缓的高电场区，且高场区的范围大，说明采用二级阶梯形式的电流阻挡层后，本发明器件结构可以有效地调制器件内部和漂移层两侧表面附近的电场分布。因此本发明器件可以有效实现正向阻断功能。
由图7可以看出，反向击穿情况下，本发明器件中电场强度分布均匀，在器件内部以及漂移层两侧表面附近形成了连续平缓的高电场区，且高场区的范围大，说明本发明器件结构可以有效地调制器件内部和漂移层两侧表面附近的电场分布。因此本发明器件可以有效实现反向阻断功能。
以上描述仅是本发明的几个具体实施例，并不构成对本发明的限制，显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本发明内容和原理后，能够在不背离本发明的原理和范围的情况下，根据本发明的方法进行形式和细节上的各种修正和改变，但是这些基于本发明的修正和改变仍在本发明的权利要求保护范围之内。
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