一种晶圆的制作方法

文档序号:11182063阅读:来源:国知局
技术总结
本申请提供了一种晶圆,所述晶圆包括按次序排布的多个晶片,所述晶片包括第一电路部、连接部和第二电路部,所述连接部的两端分别连接所述第一电路部和所述第二电路部,所述第一电路部、连接部和第二电路部形成的结构存在凹部,一个晶片的第一电路部的部分嵌入其相邻的一个晶片的凹部内,该晶片的第二电路部的部分嵌入相邻的另一个晶片的凹部内,相邻的晶片之间形成有划片槽,沿划片槽切割晶圆得到独立的多个晶片。由于本申请所提供的晶圆,在第一电路部和第二电路部之间增加了连接部,增大了第一电路部和第二电路部之间的衬底电阻值,衬底电阻越大、电气隔离效果越好,热传导长度越长、热隔离效果也越好,从而提高了电路性能。

技术研发人员:王钊
受保护的技术使用者:南京中感微电子有限公司
文档号码:201710229601
技术研发日:2017.04.10
技术公布日:2017.10.03

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