一种柔性显示基板剥离装置及方法与流程

本发明涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种柔性显示基板剥离装置及方法。

背景技术：

由于柔性显示装置具有可变形、可弯曲等特点，柔性显示装置得到越来越广泛的应用，柔性显示装置通常包括柔性显示基板，柔性显示基板是一种基于柔性衬底基板制作形成的显示基板。

目前，柔性显示基板的制备方法一般采用如下过程，即：在刚性基板(例如玻璃基板)上形成柔性衬底基板，在柔性衬底基板上制备呈阵列排布的多个像素结构，形成位于刚性基板上的柔性显示基板，之后再采用激光照射扫描的方法即激光剥离方法(laserlift-off，llo)对柔性显示基板进行剥离，激光扫描照射刚性基板，激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上，使柔性衬底基板朝向刚性基板的表面发生分解，柔性衬底基板和刚性基板分离，然后将柔性显示基板从刚性基板上取下，完成柔性显示基板的制备。

在现有的柔性显示基板的制备方法中，采用激光剥离方法对柔性显示基板进行剥离时，激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上时，激光通常垂直照射刚性基板，当刚性基板背向柔性衬底基板的表面上存在杂质或灰尘等异物时，该异物会阻挡扫描至该处的激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上，因而柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域不能进行有效分解，柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域也不能与刚性基板分离，后续将柔性显示基板从刚性基板上取下时，造成柔性显示基板与异物对应的区域发生形变，甚至对柔性显示基板与异物对应的区域内的像素结构造成不良影响，例如，造成该区域内的像素结构的薄膜晶体管遗留在刚性基板上，从而引起柔性显示装置的画面显示质量降低，例如，柔性显示装置显示画面时出现黑点或暗点的现象。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种柔性显示基板剥离装置，用于改善柔性显示装置的画面显示质量。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种柔性显示基板剥离装置，包括：

载物台，用于承载形成有柔性显示基板的刚性基板，柔性显示基板与所述载物台接触，所述刚性基板包括相对的第一侧和第二侧；

位于所述载物台上方的激光发生器，所述激光发生器发出的激光可在所述刚性基板的第一侧和所述刚性基板的第二侧之间水平往复移动；

对柔性显示基板进行剥离时，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光入射至所述刚性基板的入射方向，与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

优选地，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射方向不相同。

优选地，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射角不相同。

进一步地，所述激光发生器包括用于生成激光的激光生成器和供激光出射并入射至所述刚性基板的激光发射头，所述激光发射头可沿垂直于所述刚性基板的第一侧或所述刚性基板的第二侧的方向往复移动，所述激光发生器还包括调节激光入射至所述刚性基板的入射角的角度调节装置。

进一步地，所述激光生成器生成的激光水平入射至所述激光发射头，所述角度调节装置包括可转动地设置所述激光发射头内的反射片，所述反射片将所述激光生成器生成的激光反射至所述刚性基板。

优选地，所述载物台可绕竖直方向180°转动。

当利用本发明提供的柔性显示基板剥离装置对柔性显示基板进行剥离时，先将形成有柔性显示基板的刚性基板放置在载物台上，其中柔性显示基板与载物台接触，即柔性显示基板朝下；然后使激光发生器发出的激光沿水平方向在刚性基板的第一侧和刚性基板的第二侧之间移动，利用激光发生器发出的激光对刚性基板进行至少两次扫描照射，在激光对刚性基板进行的至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同，因此，当刚性基板背向柔性显示基板的表面上存在杂质或灰尘等异物时，在激光对刚性基板进行的至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，异物沿激光的入射方向在柔性显示基板的柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上投影的位置不相同，与现有技术中激光垂直入射至刚性基板时造成异物在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上投影的位置不变相比，可以防止柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域不能进行有效分解，防止柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域不能与刚性基板分离，从而防止后续将柔性显示基板从刚性基板上取下时造成柔性显示基板与异物对应的区域发生异常，进而改善柔性显示装置的画面显示质量。

本发明的目的还在于提供一种柔性显示基板剥离方法，用于改善柔性显示装置的画面显示质量。为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种柔性显示基板剥离方法，包括：

将形成有柔性显示基板的刚性基板放置在载物台上；

使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光入射至所述刚性基板的入射方向，与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

优选地，所述使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射的步骤中，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射的步骤包括：

使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射；

使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射。

优选地，在所述使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射的步骤中，激光入射至所述刚性基板的入射角为第一入射角；

在所述使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射的步骤中，激光入射至所述刚性基板的入射角为第二入射角，所述第二入射角与所述第一入射角不相同。

优选地，使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向移动；使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第二侧指向所述刚性基板的第一侧的方向移动；

或者，

使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第二侧指向所述刚性基板的第一侧的方向移动；使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向移动。

优选地，激光的第一入射方向与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为锐角，激光的第二入射方向与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为钝角；

或者，

激光的第一入射方向与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为钝角，激光的第二入射方向与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为锐角。

优选地，所述使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射的步骤中，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射的步骤包括：

使激光以第三入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射；

使所述载物台绕竖直方向转动180°；

使激光以第三入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射。

优选地，使激光以第三入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射和对所述刚性基板进行第二次扫描照射时，激光均沿所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向移动，或者，激光均沿所述刚性基板的第二侧指向所述刚性基板的第一侧的方向移动。

优选地，所述使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射的步骤中，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射的步骤包括：

使激光以第四入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射；

使所述载物台绕竖直方向转动180°；

使激光以第五入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射，其中，激光以第四入射方向入射至所述刚性基板时对应的入射角与激光以第五入射方向入射至所述刚性基板时对应的入射角不相同。

所述柔性显示基板剥离方法与上述柔性显示基板剥离装置相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置的示意图；

图2为图1中a区放大图；

图3为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的一种方式中对刚性基板进行第一次扫描照射时的示意图；

图4为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的一种方式中对刚性基板进行第二次扫描照射时的示意图；

图5为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的另一种方式中对刚性基板进行第一次扫描照射时的示意图；

图6为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的另一种方式中对刚性基板进行第二次扫描照射时的示意图；

图7为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的又一种方式中对刚性基板进行第一次扫描照射时的示意图；

图8为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的又一种方式中对刚性基板进行第二次扫描照射时的示意图；

图9为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的再一种方式中对刚性基板进行第一次扫描照射时的示意图；

图10为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置剥离柔性显示基板的再一种方式中对刚性基板进行第二次扫描照射时的示意图；

图11为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离方法的流程图一；

图12为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离方法的流程图二；

图13为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离方法的流程图三；

图14为本发明实施例提供的柔性显示基板剥离方法的流程图四。

附图标记：

10-载物台，20-激光发生器，

21-激光生成器，22-激光发射头，

23-反射片，30-刚性基板，

31-第一侧，32-第二侧，

33-柔性显示基板，40-异物，

41-第一异物投影，42-第二异物投影。

具体实施方式

为了进一步说明本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置及方法，下面结合说明书附图进行详细描述。

请参阅图1，本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置包括载物台10和激光发生器20，载物台10用于承载形成有柔性显示基板33的刚性基板30，柔性显示基板33与载物台10接触，刚性基板30包括相对的第一侧31和第二侧32；激光发生器20位于载物台10的上方，激光发生器20发出的激光可在刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32之间水平往复移动；当对柔性显示基板33进行剥离时，激光发生器20发出的激光对刚性基板30进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同。

举例来说，请继续参阅图1，本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置包括载物台10和激光发生器20，载物台10用于承载形成有柔性显示基板33的刚性基板30，当形成有柔性显示基板33的刚性基板30放置在载物台10上时，刚性基板30朝上，柔性显示基板33朝下，柔性显示基板33与载物台10接触，刚性基板30包括相对的第一侧31和第二侧32，例如，可以认为图1中刚性基板30的左侧为刚性基板30的第一侧31，图1中刚性基板30的右侧为刚性基板30的第二侧32；激光发生器20位于载物台10的上方，激光发生器20用于发出激光，激光发生器20发出的激光出射后照射在刚性基板30上，激光入射至刚性基板30并透过刚性基板30照射在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上，使柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面分解，激光发生器20发出的激光可在刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32之间水平往复移动，也就是说，如图1所示，激光发生器20发出的激光可在图1中刚性基板30的左侧和右侧之间水平往复移动，以对刚性基板30进行扫描照射。

当使用本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置时，首先将形成有柔性显示基板33的刚性基板30按照刚性基板30朝上、柔性显示基板33朝下地规则放置在载物台10上，柔性显示基板33与载物台10接触；然后使激光发生器20发出的激光，并使激光发生器20发出的激光在刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32之间水平往复移动，以对刚性基板30进行至少两次扫描照射，在对刚性基板30进行至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同，例如，以激光对刚性基板30进行两次扫描照射为例进行说明，请参阅图3，在第一次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向为图3中斜向右下的方向，刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向为图3中由左侧指向右侧的方向，此时，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α1，图3中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第一异物投影41位于异物40正下方的右侧，请参阅图4，在第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向为图4中斜向左下的方向，刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向为图4中由左侧指向右侧的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α2，图4中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第二异物投影42位于异物40正下方的左侧，与第一次对刚性基板30进行扫描照射时图3中第一异物投影41的位置不同。

由上述可知，当利用本发明实施例提供的柔性显示基板剥离装置对柔性显示基板33进行剥离时，先将形成有柔性显示基板33的刚性基板30放置在载物台10上，其中柔性显示基板33与载物台10接触，即柔性显示基板33朝下；然后使激光发生器20发出的激光在刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32之间水平往复移动，利用激光发生器20发出的激光对刚性基板30进行至少两次扫描照射，在激光对刚性基板30进行的至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同，因此，当刚性基板30背向柔性显示基板33的表面上存在杂质或灰尘等异物40时，在激光对刚性基板30进行的至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，异物40沿激光的入射方向在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上投影的位置不相同，与现有技术中激光垂直入射至刚性基板30时造成异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上投影的位置不变相比，可以防止柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上与异物40对应的区域不能进行有效分解，防止柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上与异物40对应的区域不能与刚性基板30分离，从而防止后续将柔性显示基板33从刚性基板30上取下时造成柔性显示基板33与异物40对应的区域发生异常，进而改善柔性显示装置的画面显示质量。

在上述实施例中，对柔性显示基板33进行剥离时，激光对刚性基板30进行扫描照射的次数可以根据实际需要进行设定，例如，激光对刚性基板30进行扫描照射的次数可以为两次，此时，在第一次对刚性基板30进行扫描照射和第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同；或者，激光对刚性基板30进行扫描照射的次数可以为三次或三次以上，此时，任意两次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同，或者，在每次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角均不相同。在本发明实施例中，以对刚性基板30进行扫描照射的次数为两次为例进行说明。

上述实施例中，在对刚性基板30进行至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同，在实际应用中，可以采用多种方式实现在至少两次扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同。例如，激光发生器20发出的激光对刚性基板30进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向不相同，即通过改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向，实现在至少两次扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同。

在实际应用中，改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向时，可以仅改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向，而不改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射角，以激光对刚性基板30进行两次扫描照射为例进行说明，请参阅图3，在第一次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向为图3中斜向右下θ1的方向，激光入射至刚性基板30的入射角为θ1，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α1，图3中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第一异物投影41位于异物40正下方的右侧；请参阅图4，在第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向为图4中斜向左下θ1的方向，激光入射至刚性基板30的入射角为θ1，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α2，图4中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第二异物投影42位于异物40正下方的左侧，与第一次对刚性基板30进行扫描照射时第一异物投影41的位置不同。

改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向时，还可以通过改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射角来实现，即，激光发生器20发出的激光对刚性基板30进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射角不相同。以激光对刚性基板30进行两次扫描照射为例进行说明，请参阅图5，在第一次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角为θ2，激光入射至刚性基板30的入射方向为图5中斜向右下θ2的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α3，图5中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第一异物投影41位于异物40正下方的右侧；请参阅图6，在第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角为θ3，激光入射至刚性基板30的入射方向为图6中斜向右下θ3的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α4，图6中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第二异物投影42位于异物40正下方的右侧，由于第一次对刚性基板30进行扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射角θ2与第二次对刚性基板30进行扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射角θ3不相同，因而，第二异物投影42的位置与第一异物投影41的位置不相同。

在上述实施例中，改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射角时，可以通过角度调节装置来实现，举例来说，请继续参阅图1，激光发生器20包括用于生成激光的激光生成器21和供激光出射并入射至刚性基板30的激光发射头22，激光发射头22可沿垂直于刚性基板30的第一侧31或刚性基板30的第二侧32的方向往复移动，激光发生器20还包括调节激光入射至刚性基板30的入射角的角度调节装置。通过角度调节装置，以调节激光入射至刚性基板30的入射角，以改变激光发生器20发出的激光入射至刚性基板30的入射方向，进而改变激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角，实现在对刚性基板30进行至少两次扫描照射中，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射方向，与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角不相同。

上述实施例中，角度调节装置调节激光入射至刚性基板30的入射角的实现形式可以有多种，例如，可以将激光发射头22可转动地安装在激光生成器21上，角度调节装置也设置在激光生成器21上，当需要调节激光入射至刚性基板30的入射角时，角度调节装置驱动激光发射头22转动，以调节激光发射头22的转动角度，调节激光由激光发射头22出射时的方向，从而调节激光入射至刚性基板30的入射角；或者，在本发明实施例中，请参阅图1和图2，激光发射头22位于激光生成器21的一侧，激光生成器21生成的激光水平入射至激光发射头22，角度调节装置包括可转动地设置在激光发射头22内的反射片23，反射片23位于水平入射至激光发射头22的激光的传播方向前，激光生成器21生成的激光水平入射至激光发射头22，并入射至反射片23，反射片23将激光反射，经反射片23反射后的激光由激光发射头22的出光口出射，并入射至刚性基板30，即反射片23将激光生成器21生成的激光反射至刚性基板30，激光发射头22沿垂直于刚性基板30的第一侧31或刚性基板30的第二侧32的方向往复移动时，对刚性基板30进行扫描照射，当需要调节激光入射至刚性基板30的入射角时，使反射片23转动，调节反射片23的角度，从而调节经反射片23反射后的激光由激光发射头22的出光口出射的角度，调节激光由激光发射头22出射时的方向，从而调节激光入射至刚性基板30的入射角。

在本发明实施例中，改变激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角时，还可以通过调节刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32所在的位置，具体地，请参阅图1，载物台10可绕竖直方向180°转动。举例来说，以激光对刚性基板30进行两次扫描照射为例进行说明，请继续参阅图7，在第一次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角为θ4，激光入射至刚性基板30的入射方向为图7中斜向右下θ4的方向，刚性基板30的第一侧31为图7中刚性基板30的左侧，刚性基板30的第二侧32为图7中刚性基板30的右侧，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α5，图7中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第一异物投影41位于异物40正下方的右侧，并相对异物40的正下方靠近刚性基板30的第二侧32；完成对刚性基板30的第一次扫描照射后，转动载物台10，使载物台10绕竖直方向转动180°，请参阅图8，刚性基板30的第一侧31为图8中刚性基板30的右侧，刚性基板30的第二侧32为图8中刚性基板30的左侧；然后对刚性基板30进行第二次扫描照射，请继续参阅图8，在第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角仍然为θ4，激光入射至刚性基板30的入射方向为图8中斜向右下θ4的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α6，图8中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第二异物投影42位于异物40正下方的右侧，并相对异物40的正下方靠近刚性基板30的第一侧31，与图7中第一次对刚性基板30进行扫描照射时第一异物投影41的位置不同。

上述实施例中，通过调节激光入射至刚性基板30的入射方向，或者，通过调节刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32所在的位置，改变激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角。在实际应用中，还可以通过同时调节激光入射至刚性基板30的入射方向、以及刚性基板30的第一侧31和刚性基板30的第二侧32所在的位置，改变激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角。举例来说，以激光对刚性基板30进行两次扫描照射为例进行说明，请参阅图9，在第一次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角为θ5，刚性基板30的第一侧31为图9中刚性基板30的左侧，刚性基板30的第二侧32为图9中刚性基板30的右侧，激光入射至刚性基板30的入射方向为图9中斜向右下θ5的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α7，图9中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第一异物投影41位于异物40正下方的右侧，并相对异物40正下方靠近刚性基板30的第二侧32；完成对刚性基板30的第一次扫描照射后，转动载物台10，使载物台10绕竖直方向转动180°，请参阅图10，此时，刚性基板30的第一侧31为图10中刚性基板30的右侧，刚性基板30的第二侧32为图10中刚性基板30的左侧；然后对刚性基板30进行第二次扫描照射，请继续参阅图10，在第二次对刚性基板30进行扫描照射时，激光入射至刚性基板30的入射角为θ6，激光入射至刚性基板30的入射方向为图10中斜向左下θ6的方向，激光入射至刚性基板30的入射方向与刚性基板30的第一侧31指向刚性基板30的第二侧32的方向之间的夹角为α8，图10中存在于刚性基板30的上表面上的杂质、灰尘等异物40在柔性显示基板33朝向刚性基板30的表面上的投影即第二异物投影42位于异物40正下方的左侧，第二异物投影42也相对异物40正下方靠近刚性基板30的第二侧32，由于第一次对刚性基板30进行扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射角θ6与第二次对刚性基板30进行扫描照射时激光入射至刚性基板30的入射角θ5不相同，因而，第二异物投影42的位置与第一异物投影41的位置不相同。

请参阅图11，本发明实施例还提供一种柔性显示基板剥离方法，应用于如上述实施例所述的柔性显示基板剥离装置，所述柔性显示基板剥离装置包括：

步骤s100、将形成有柔性显示基板的刚性基板放置在载物台上。

步骤s200、使激光发生器发出的激光对刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向，与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于方法实施例而言，由于其基本相似于装置实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见装置实施例的部分说明即可。

在上述实施例中，对柔性显示基板进行剥离时，激光对刚性基板进行扫描照射的次数可以根据实际需要进行设定，在本发明实施例中，以激光对刚性基板进行扫描照射的次数为两次为例进行说明，此时，在两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向，与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

激光对刚性基板进行两次扫描照射时，可以通过调节两次对刚性基板进行扫描照射时激光入射至刚性基板的入射方向，实现在两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同，具体地，请参阅图12，使激光发生器发出的激光对刚性基板进行两次扫描照射的步骤可以包括：

步骤s210、使激光以第一入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第一次扫描照射。

步骤s220、使激光以第二入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第二次扫描照射。

在步骤s210中激光入射至刚性基板的入射角可以设定为第一入射角，在步骤s220中激光入射至刚性基板的入射角可以设定为第二入射角，第一入射角与第二入射角可以相同，也可以不同，优选地，第一入射角与第二入射角不同。

在步骤s210和步骤s220中，激光对刚性基板进行扫描照射时，激光的移动方向可以根据实际需要设定，例如，在第一次对刚性基板进行扫描照射时，即，使激光以第一入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向移动，在第二次对刚性基板进行扫描照射时，即，使激光以第二入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿刚性基板的第二侧指向刚性基板的第一侧的方向移动；或者，在第一次对刚性基板进行扫描照射时，即，使激光以第一入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿刚性基板的第二侧指向刚性基板的第一侧的方向移动，在第二次对刚性基板进行扫描照射时，即，使激光以第二入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向移动。如此设计，在完成对刚性基板的第一次扫描照射后，对刚性基板进行第二次扫描照射时，激光发生器的激光发射头不用返回至第一次扫描照射之前的位置，因而可以简化柔性显示基板剥离的步骤和时间，提高效率，节约成本。

在上述实施例中，激光以第一入射方向入射至刚性基板时，第一入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为锐角，激光以第二入射角入射至刚性基板时，第二入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为钝角；或者，激光以第一入射角入射至刚性基板时，第一入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为钝角，激光以第二入射角入射至刚性基板时，第二入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角为锐角。如此设计，可以使得在两次对刚性基板扫描照射时，异物沿激光的入射方向在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上的投影的位置的距离较大，防止在两次对刚性基板扫描照射时，异物沿激光的入射方向在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上的投影的位置出现重叠，从而可以进一步改善柔性显示装置的画面显示质量。

激光对刚性基板进行两次扫描照射时，可以通过调节两次对刚性基板进行扫描照射时刚性基板的第一侧和第二侧的位置，即通过使刚性基板的第一侧和第二侧的位置对调，实现在两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同，具体地，请参阅图13，使激光发生器发出的激光对刚性基板进行两次扫描照射的步骤可以包括：

步骤s230、使激光以第三入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第一次扫描照射。

步骤s240、使载物台绕竖直方向转动180°。

步骤s250、使激光以第三入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第二次扫描照射。

在步骤s230和步骤s250中，激光对刚性基板进行扫描照射时，激光的移动方向可以为：使激光以第三入射角入射至刚性基板，对刚性基板进行第一次扫描照射和对刚性基板进行第二次扫描照射时，激光均沿刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向移动，或者，激光均沿刚性基板的第二侧指向刚性基板的第一侧的方向移动。如此设计，在完成对刚性基板的第一次扫描照射后，对刚性基板进行第二次扫描照射时，激光发生器的激光发射头不用返回至第一次扫描照射之前的位置，因而可以简化柔性显示基板剥离的步骤和时间，提高效率，节约成本。

激光对刚性基板进行两次扫描照射时，可以通过同时调节激光入射至刚性基板时的入射发现、以及刚性基板的第一侧和第二侧的位置，实现在两次扫描照射时，激光入射至刚性基板的入射方向与刚性基板的第一侧指向刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同，具体地，请参阅图14，使激光发生器发出的激光对刚性基板进行两次扫描照射的步骤可以包括：

步骤s260、使激光以第四入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第一次扫描照射。

步骤s270、使载物台绕竖直方向转动180°。

步骤s280、使激光以第五入射方向入射至刚性基板，对刚性基板进行第二次扫描照射，其中，激光以第四入射方向入射至刚性基板时对应的入射角与激光以第五入射方向入射至刚性基板时对应的入射角不相同。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。