技术特征:
技术总结
本发明提供了一种阵列基板及其制作方法、显示装置,该阵列基板中开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管包括有源层、平坦化栅绝缘层和栅极,有源层均设置于基底上,开关薄膜晶体管的有源层的厚度大于驱动薄膜晶体管的有源层的厚度;开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管共用平坦化栅绝缘层,设置于有源层和裸露的基底上;开关薄膜晶体管的栅极和驱动薄膜晶体管的栅极设置于平坦化栅绝缘层上。本发明工艺简单,可以提高阵列基板的制作效率。
技术研发人员:邢磊
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
技术研发日:2017.05.27
技术公布日:2017.09.15