一种高精度自动纠偏装置的制作方法

文档序号:11214252阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种高精度自动纠偏装置,包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组;所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度;所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整;所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向;所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方,且与翻转模组可拆卸式连接;所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片,并对该硅片进行X方向的位置调整。本发明纠偏精确度高,体积小,吸盘模组翻转轮换上料效率高,有利于太阳能硅片的批量化纠偏处理。

技术研发人员:刘照安;朱太荣;谢越森;林佳继;伊凡·裴力林
受保护的技术使用者:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
文档号码:201710587249
技术研发日:2017.07.18
技术公布日:2017.10.10

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