一种芯片封装结构的制作方法

文档序号:11376208阅读:313来源:国知局

本实用新型属于半导体技术领域,具体涉及一种芯片封装结构。



背景技术:

芯片的接地对芯片的性能影响很大,良好的接地有利于芯片的散热,增加芯片可靠性,特别是对于射频芯片,良好的接地可以明显提升芯片增益、功率、效率、线性度、稳定性及噪声等性能。目前,业内比较流行采用晶圆通孔或者背孔通金的方式将芯片接地,但这两种方式散热效果差,且均会产生寄生电感和寄生电阻,且受工艺限制无法进一步缩小寄生电感及寄生电阻,这成为芯片性能改善的一个阻碍。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种芯片封装结构,该结构可以很好地解决现有封装结构散热效果差的问题。

为达到上述要求,本实用新型采取的技术方案是:提供一种芯片封装结构,包括:

半导体衬底,衬底上具有若干源极;

聚酰亚胺层,覆盖在半导体衬底表面,并露出所述源极;

第一金属层,形成于每个源极表面;

第二金属层,形成于第一金属层和聚酰亚胺层构成的上表面;

铜层,形成于所述第二金属层表面;

焊料凸点,形成于所述铜层表面。

与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:通过第一金属层将每个源极引出,然后通过第二金属层将所有源极连接在一起,在第二金属层表面制备铜层,通过铜层进行倒装焊接地,使芯片具有更良好的接地端,缩短芯片散热路径,增加芯片可靠性,缩小芯片面积。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合附图及具体实施例,对本申请作进一步地详细说明。为简单起见,以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。

如图1所示,本实施例提供一种芯片封装结构,包括:

半导体衬底1,衬底1上具有两个源极2、两个栅极及一个漏极;

聚酰亚胺层3,覆盖在半导体衬底1表面,并露出两个源极2;

第一金属层4,形成于每个源极2表面且与源极2相连,第一金属层4上表面与聚酰亚胺层3上表面齐平;第一金属层4的材料为Au;

第二金属层5,形成于第一金属层4和聚酰亚胺层3构成的上表面,且第二金属层5与两个第一金属层4连接,即第二金属层5将两个源极2连接在一起;第二金属层5的材料包括Au;

铜层6,形成于第二金属层5表面;

焊料凸点7,形成于铜层6表面;焊料金属包括铅、锡及银中的一种或包含上述任意一种焊料金属的合金。

该芯片封装结构的封装方法包括:

S1、提供一表面覆盖有聚酰亚胺层3的半导体衬底1,在聚酰亚胺层3旋涂光刻胶,刻蚀聚酰亚胺层3在源极2位置打开窗口,使得源极2暴露出来;

S2、基于上述窗口,在源极2表面制备第一金属层4,第一金属层4与源极2相连;

S3、在第一金属层4和聚酰亚胺层3构成的上表面制备第二金属层5,第二金属层5与第一金属层4相连,将所有源极2连接在一起;

S4、在第二金属层5表面制备金属铜,形成铜层6;

S5、在铜层6表面淀积焊料金属。

以上实施例仅表示本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能理解为对本实用新型范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型保护范围。因此本实用新型的保护范围应该以权利要求为准。

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