一种表面刻花纹石墨的制作方法

本实用新型涉及石墨加工技术领域，特别涉及一种表面刻花纹石墨。

背景技术：

近年来国内半导体晶圆厂，国家出台了4000亿国家集成电路的产业大基金来支持国内的半导体行业。离子注入机是目前半导体晶圆厂内的最精密的关键设备，石墨类的耗材需求量很大，对石墨类的零部件不但要求高纯度无污染，还要求同一套石墨保护组件能最大限度提升使用寿面，延长机台俩次保养的间隔时段，这样石墨表面刻花纹就有了应用市场，石墨零部件表面在机械加工后的表面无花纹，粗糙度Ra约在0.2-1.6左右，粗糙度低，为此，我们提出一种表面刻花纹石墨。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种表面刻花纹石墨，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件和花纹，所述石墨零部件表层刻有花纹，所述花纹为连续的规则六边形花纹，所述石墨零部件表层的花纹粗糙度Ra大于6.4。

进一步的，所述石墨零部件采用高纯石墨材料制成。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该实用新型由于在石墨零部件表层刻有花纹，且花纹为连续的规则六边形，能够增大石墨零部件的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。

【附图说明】

图1为石墨零部件表面在机械加工后的表面效果；

图2为本实用新型表面刻花纹石墨的结构效果示意图。

图中：1、石墨零部件；2、花纹。

【具体实施方式】

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件1和花纹2，所述石墨零部件1表层刻有花纹2，所述花纹2为连续的规则六边形花纹2，所述石墨零部件1表层的花纹2粗糙度Ra大于6.4。

其中，所述石墨零部件1采用高纯石墨材料制成。

工作原理：该实用新型由于在石墨零部件1表层刻有花纹2，且花纹2为连续的规则六边形，能够增大石墨零部件1的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。