一种圆盘净化隔离装置的制作方法

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一种圆盘净化隔离装置的制造方法

本实用新型涉及圆盘技术领域,特别是涉及一种圆盘净化隔离装置。



背景技术:

晶圆作为制造半导体芯片的基本材料,在半导体行业中被广泛采用,晶圆在处理过程中空气中不可避免存在的颗粒等物体可能依附着晶圆表面,增加制造成本并降低良品率,故会在手动晶圆装、卸载装置上增设圆盘净化隔离装置,现有的圆盘净化隔离装置多采用螺栓进行固定连接,螺栓数量多、个头小,安装过程较为繁琐,螺栓易丢失,极大的降低工作效率,而且过多的采用螺栓固定不利于圆盘净化隔离装置的摘取清理作业,圆盘净化隔离装置上的隔离罩由多块有机玻璃组成,对接的两块玻璃之间会产生缝隙,灰尘从缝隙进入,致使防尘效果并不理想。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便、可以有效的防止灰尘进入、连接快速牢固的圆盘净化隔离装置。

为了实现上述目的,本实用新型的技术方案是:

一种圆盘净化隔离装置,包括由六块有机玻璃组成的隔离罩,以及位于隔离罩底部有机玻璃上的长槽,所述隔离罩的侧边布设有侧口,所述侧口上可抽插式连接有侧门,隔离罩的两侧壁上分别横向布设有两个以上的固定口块,所述固定口块的后部呈矩形条状、前部呈矩形块状,所述固定口块的下部开设有内凹槽,所述内凹槽的两侧壁上分别开设有凹孔和加固孔,所述凹孔上横向可伸缩式连接有固定棒,所述固定棒的前端面位于凹孔的外部,固定棒呈圆柱形,隔离罩的底部纵向可折叠式连接有固定扣,所述固定扣包括固定块、固定套和加固组件,所述固定块的中心开设有通孔,固定块的前端面横向布设有固定套,所述固定套和通孔在同一中心线上,固定套的外壁上开设有固定孔,所述固定套内固定有加固组件,所述加固组件的上部穿过固定块,加固组件包括两根相互进行铰接的加固条,所述加固条为折弯的板条,两根加固条组合后上部呈平行状、下部呈交叉状,加固条的下部设置有固定尖,所述固定尖对应加固孔,固定尖和加固条之间的夹角小于90°,所述隔离罩上部的两侧边角处分别布设有防尘布。

进一步地,所述可伸缩式连接为凹孔和固定棒之间布设有弹簧,所述弹簧的两端分别连接在凹孔和固定棒的底部,弹簧的长度不大于凹孔的深度。

进一步地,所述可折叠式连接为隔离罩的底面布设软连接件,所述软连接件的一端和隔离罩的底面连接,软连接件的另一端连接固定块,软连接件为橡胶或塑料。

进一步地,所述两根加固条上部之间的间距小于通孔的直径。

进一步地,所述固定孔的直径不小于固定棒的直径。

进一步地,所述可抽插式连接为侧口的上、下边分别布设有卡槽,所述卡槽呈“L”字形,卡槽的长度不小于侧口的长度,卡槽的其中一端布设有挡板,卡槽内插入式连接有侧门;所述侧门上布设有把手。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型加设固定口块和固定扣替代原有的螺栓连接,固定口块上的固定棒和固定扣上的固定孔进行初次固定,固定扣上的加固组件和固定口块上的加固孔进行二次固定,通过固定口块和固定扣配合进行双次固定连接,使连接更加牢固,使用安全放心;采用可伸缩式连接、可折叠式连接等不同的连接方式,根据不同位置的需求采用不同的连接方式,设计更加合理,操作更加方便;固定尖和加固条之间的夹角小于90°,固定尖进入加固孔后,固定尖的一端位于加固孔的底面,另一端位于加固孔的顶面,“撑开”加固孔,使固定尖和加固孔连接更加牢固;防尘布的布设,可以有效避免灰尘进入隔离罩内,有效避免灰尘依附在晶圆表面,降低制造成本并增加良品率。

附图说明

图1是本实用新型一种圆盘净化隔离装置的结构示意图。

图2是本实用新型一种圆盘净化隔离装置的固定口块的结构示意图。

图3是本实用新型一种圆盘净化隔离装置的固定扣、固定套和加固组件的连接的结构示意图。

图4是本实用新型一种圆盘净化隔离装置的卡槽、侧门和挡板之间连接的结构示意图。

附图中标号为:1为隔离罩,2为侧口,3为长槽,4为固定块,5为固定套,6为加固条,7为固定尖,8为固定口块,9为凹孔,10为固定棒,11为加固孔,12为卡槽,13为把手,14为侧门,15为挡板,16为内凹槽,17为软连接件,18为通孔,19为防尘布,20为固定孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明:

如图1~图4所示,一种圆盘净化隔离装置,包括由六块有机玻璃组成的隔离罩1,以及位于隔离罩1底部有机玻璃上的长槽3,所述隔离罩1的侧边布设有侧口2,所述侧口2上可抽插式连接有侧门14,可抽插式连接为侧口2的上、下边分别布设有卡槽12,所述卡槽12呈“L”字形,卡槽12的长度不小于侧口2的长度,卡槽12的其中一端布设有挡板15,卡槽12内插入式连接有侧门14;所述侧门14上布设有把手13;隔离罩1的两侧壁上分别横向布设有两个以上的固定口块8,所述固定口块8的后部呈矩形条状、前部呈矩形块状,所述固定口块8的下部开设有内凹槽16,所述内凹槽16的两侧壁上分别开设有凹孔9和加固孔11,所述凹孔9上横向可伸缩式连接有固定棒10,固定棒10呈圆柱形,可伸缩式连接为凹孔9和固定棒10之间布设有弹簧,所述弹簧的两端分别连接在凹孔9和固定棒10的底部,弹簧的长度不大于凹孔9的深度;所述固定棒10的前端面位于凹孔9的外部,隔离罩1的底部纵向可折叠式连接有固定扣,所述固定扣包括固定块4、固定套5和加固组件,可折叠式连接为隔离罩1的底面布设软连接件17,所述软连接件17的一端和隔离罩1的底面连接,软连接件17的另一端连接固定块4,软连接件17为橡胶或塑料,固定块4的中心开设有通孔18,固定块4的前端面横向布设有固定套5,所述固定套5和通孔18在同一中心线上,固定套5的外壁上开设有固定孔20,固定孔20的直径不小于固定棒10的直径,固定套5内固定有加固组件,所述加固组件的上部穿过固定块4,加固组件包括两根相互进行铰接的加固条6,所述加固条6为折弯的板条,两根加固条6组合后上部呈平行状、下部呈交叉状,两根加固条6上部之间的间距小于通孔18的直径,加固条6的下部设置有固定尖7,所述固定尖7对应加固孔11,固定尖7和加固条6之间的夹角小于90°,所述隔离罩1上部的两侧边角处分别布设有防尘布19。

将圆盘净化隔离装置放置在手动晶圆装载装置上,预先在手动晶圆装载装置上钻孔,软连接件17折弯,固定块4随着软连接件17的折弯而折弯,使固定套5 穿过手动晶圆装载装置上的孔伸至固定口块8的内凹槽16中,固定套5运动过程中,固定棒10受力随弹簧向凹孔9内压缩,直至固定套5上的固定孔20行至固定棒10处时,固定棒10随弹簧伸展进入至固定孔20内进行初次固定,在固定套5运动过程中,手握加固条6的上部,使加固条6的下部向内压,当固定尖7对应加固孔11时,松开加固条6的上部,加固条6的下部扩展,使固定尖7进入加固孔11内进行二次固定,最终使圆盘净化隔离装置牢固连接在晶圆处理设备上,抽插侧门14进行晶圆的取放作业。

以上所述之实施例,只是本实用新型的较佳实施例而已,并非限制本实用新型的实施范围,故凡依本实用新型专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均应包括于本实用新型申请专利范围内。

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