一种P型结构层及发光二极管的制作方法

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一种P型结构层及发光二极管的制造方法与工艺

本实用新型属于半导体领域,尤其涉及一种P型结构层及发光二极管。



背景技术:

传统结构的发光二极管,从下至上包括依次层叠的衬底、N型层、发光层、P型层和P型接触层。当向发光二极管注入电流后,N型层提供电子,P型层提供空穴,电子和空穴在发光层中复合,使发光二极管发射一定波长的光线。其中,电子的迁移率(mobility)较空穴快,导致在发光层中,电子空穴对分布不均,不能有效复合。



技术实现要素:

为解决以上问题,一方面,本实用新型提供一种P型结构层,包括第一P型层,其特征在于:还包括位于第一P型层之上的极化电流注入层,所述极化电流注入层包括依次层叠的的p+-GaN层、未掺杂含铝氮化物层、以及 n+-GaN层。

优选的,所述未掺杂含铝氮化物层为u-AlGaN层或者u-AlN层或者u-AlInGaN层。

优选的,所述极化电流注入层的厚度为10~150埃。

优选的,所述p+-GaN层的厚度为1~50埃。

优选的,所述未掺杂含铝氮化物层的厚度为1~50埃。

优选的,所述n+-GaN层的厚度为1~50埃。

优选的,所述P型掺杂的杂质为Mg,所述N型掺杂的杂质为Si。

另一方面,本实用新型还提供了一种包括上述P型结构层的发光二极管,从下至上至少包括依次层叠的衬底、第一N型层、第一发光层和一P型结构层,其中,所述P型结构层包括第一P型层,以及位于第一P型层之上的极化电流注入层,所述极化电流注入层包括依次层叠的的p+-GaN层、未掺杂含铝氮化物层、以及 n+-GaN层。

优选的,所述发光二极管还包括设置于所述P型结构层上的第二N型层、第二发光层、第二P型层和P型接触层,形成双层发光结构。

优选的,所述p+-GaN层的P型杂质含量大于第一P型层的杂质含量;所述n+-GaN层的N型杂质含量大于第一N型层的杂质含量。

优选的,所述第一N型层和第二N型层相同或不同;第一P型层和第二P型层相同或不同;第一发光层和第二发光层相同或不同。

本实用新型在传统发光二极管的P型层之上设置由P型高掺杂的p+-GaN层、未掺杂含铝氮化物层,以及N型高掺杂的n+-GaN层组成的极化电流注入层,在极化电流注入层中形成“P-I-N”结构,其中未掺杂含铝氮化物层分别与p+-GaN层和n+-GaN层产生能带弯曲,进而产生在未掺杂含铝氮化物层的双侧产生双层二维电子气,产生极化电流,加速电流速度,提供较大的极化电流注入,加速P型层中空穴向发光层的迁移速率,使得发光层中电子与电洞对较为均匀,提升发光效率。

另外,利用极化电流注入层分隔两层发光层结构,电流分别通过其注入第一发光层和第二发光层中,提升LED发光亮度,通过此结构可提供在较低的操作电流密度下,达到较高的亮度,达到节能的效果。

附图说明

图1为本实用新型之具体实施例一之P型结构层结构示意图。

图2为本实用新型之具体实施例一之发光二极管结构示意图。

图3为本实用新型之具体实施例二之发光二极管结构示意图。

附图标注:

10.P型结构层;11.第一P型层;12.极化电流注入层;121. p+-GaN层;122. 未掺杂含铝氮化物层;123. n+-GaN层;20.衬底;30.第一N型层;40.第一发光层;50.第二N型层;60.第二发光层;70.第二P型层;80.P型接触层。

具体实施方式

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例1

参看附图1,本实用新型提供一种新型的P型结构层10,包括第一P型层11、位于第一P型层11之上的极化电流注入层12,极化电流注入层12包括依次层叠的p+-GaN层121、未掺杂含铝氮化物层122,以及n+-GaN层123。未掺杂含铝氮化物层122可以为u-AlGaN层、u-AlN层或者u-AlInGaN层。

其中,极化电流注入层12的厚度为10~150埃,具体地,p+-GaN层121的厚度为1~50埃,未掺杂含铝氮化物层122的厚度为1~50埃,n+-GaN层123的厚度为1~50埃。未掺杂含铝氮化物层122为u-AlGaN层或者u-AlN层或者u-AlInGaN层。P型掺杂的杂质为Mg,N型掺杂的杂质为Si。

参看附图2,本实用新型还提供一种包括上述P型结构层10的发光二极管,其从下至上至少包括依次层叠的衬底20、第一N型层30、第一发光层40和P型结构层10。具体的P型结构层10如上述所述,此处不再赘述。

本实用新型在传统发光二极管的P型层之上设置由的p+-GaN层121、未掺杂含铝氮化物层122,以及N型高掺杂n+-GaN层123组成的极化电流注入层12,在极化电流注入层12中形成“P-I-N”结构。其中,p+-GaN层121与n+-GaN层123均为高掺杂结构层,具体地,p+-GaN层121的P型杂质含量大于第一P型层11的杂质含量,而 n+-GaN层123的N型杂质含量大于第一N型层30的杂质含量,未掺杂含铝氮化物层122分别与高掺杂的p+-GaN层121和n+-GaN层123产生能带弯曲,进而产生在未掺杂含铝氮化物层122的双侧产生双层二维电子气,产生极化电流,加速电流速度,提供较大的极化电流注入,加速P型层中空穴向发光层的迁移速率,使得发光层中电子与电洞对较为均匀,提升发光效率。

实施例2

参看附图3,本实施例在实施例一的基础上增设第二半导体发光结构,具体为在P型结构层10上设置第二N型层50、第二发光层60、第二P型层70和P型接触层80,形成双层发光结构。其中,第一N型层30和第二N型层50的材料相同或不同,第一P型层11和第二P型层60的材料相同或不同,第一发光层40和第二发光层70的材料相同或不同。本实施例中,第一N型层30和第二N型层50的材料均为GaN,第一P型层11和第二P型层60的材料均为GaN,第一发光层40和第二发光层70的材料均为InGaN,发光二极管发射蓝光。

利用极化电流注入层12分隔两层发光层结构,电流分别通过其注入两侧发光层中,提升LED发光亮度,通过此结构可提供在较低的操作电流密度下,达到较高的亮度,达到节能的效果。

应当理解的是,上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例,本实用新型的范围不限于该实施例,凡依本实用新型所做的任何变更,皆属本实用新型的保护范围之内。

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