一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池板检测设备技术领域，具体为一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置。

背景技术：

在太阳能电池的生产过程中，去除硅片四周P-N结是刻蚀工序的主要目的。但刻蚀工序目前没有直接简便的测量方法判断硅片是否漏刻，目前主要通过测试减薄量以及下料处的检测装置来监测漏刻，但有些漏刻通过减薄量是不能判断出来的。下料监测对外观没有明显异常的漏刻是不能判断的，尤其安装水膜后通过外观来判断更加困难，会造成批量漏刻下传，大量硅片失效，对生产厂商形成一定的经济损失。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。所述使用方便的刻蚀漏刻监测装置具有操作简单，判定漏刻方便等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置，包括PVC垫板、四个支撑块；

四个支撑块分别安装在PVC垫板底部的四个拐角处，

所述PVC垫板上端面按两条对角线的方向开设有四个贯通槽；

四个固定圆杆；每个固定圆杆的底端上均设有锁紧机构，其中部位于所述贯通槽内，并与贯通槽滑动连接，其还上端转动连接有调节圆杆；

四个调节圆杆上均设有检测铜片，每个检测铜片的两端均连接两组导线，两组导线中的其中一组并联后接到万用表接口的正负极上，两组导线中的其中另一组两端接到PVC垫板侧面预留的检测柱上，并保持开路状态；

所述万用表接口设在所述PVC垫板的一侧。

优选的，所述锁紧机构包括锁紧螺母，锁紧螺母套设在固定圆杆的底部，并且其与开设在固定圆杆底部的螺纹牙螺纹联动。

优选的，所述固定圆杆与调节圆杆转动连接之间预设环形缺口，所述固定圆杆通过环形缺口在贯通槽内滑动。

优选的，所述调节圆杆上开设有槽，弹性结构的一端固定在所述槽内，其另一端与所述检测铜片连接。

优选的，所述弹性结构为螺旋弹簧或者弹片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将刻蚀后的太阳能电池板放在PVC垫板上，通过移动固定圆杆在贯通槽内运动：贯通槽方便固定圆杆的移动，使固定圆杆可以适应不同尺寸的太阳能电池板，进而再通过四个调节圆杆上的检测铜片卡在太阳能电池板四个边角的边缘，然后通过导线将检测铜片并联后接到万用表接口，方便万用表检测其电阻值，判断是否存在漏刻；固定圆杆底部的锁紧机构可以防止调节圆杆位移，从而保持检测铜片不发生位移，方便检测；调节圆杆与固定圆杆转动连接的目的：方便检测铜片调节位置，以适应太阳能电池板的四个角，进而对其进行卡合；检测柱上开路状态的导线方便万用表对太阳能电池板的四个角进行单独检测，以便更好分析漏刻具体分布(靠近)在哪个角。

附图说明

图1为本实用新型未放置太阳能电池板示意图；

图2为本实用新型放置太阳能电池板测量示意图；

图3为本实用新型固定圆杆与调节圆杆连接示意图；

图4为本实用新型万用表检测太阳能电池板四个角电阻并联值示意图。

图中：1PVC垫板、2支撑块、3贯通槽、4固定圆杆、40锁紧螺母、5调节圆杆、50环形缺口、51槽、6检测铜片、60弹性结构、61检测柱、7万用表接口、8万用表、9太阳能电池板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种使用方便的刻蚀漏刻监测装置，包括PVC垫板1、四个支撑块2；

四个支撑块2分别安装在PVC垫板1底部的四个拐角处，

PVC垫板1上端面按两条对角线的方向开设有四个贯通槽3；

四个固定圆杆4；每个固定圆杆4的底端上均设有锁紧机构，其中部位于贯通槽3内，并与贯通槽3滑动连接，其还上端转动连接有调节圆杆5，锁紧机构包括锁紧螺母40，锁紧螺母40套设在固定圆杆4的底部，并且其与开设在固定圆杆4底部的螺纹牙螺纹联动，固定圆杆4与调节圆杆5转动连接之间预设环形缺口50，固定圆杆4通过环形缺口50在贯通槽3内滑动，可以使固定圆杆4中部处于贯通槽3内滑动，使固定圆杆4上下可以连接调节圆杆5、锁紧机构，调节圆杆5上开设有槽51，弹性结构60的一端固定在槽51内，其另一端与检测铜片6连接，弹性结构60为螺旋弹簧或者弹片，可以缓冲太阳能电池板9的角与检测铜片6之间卡合的力度，放置太阳能电池板9拐角损坏；

四个调节圆杆5上均设有检测铜片6，每个检测铜片6的两端均连接两组导线，两组导线中的其中一组并联后接到万用表接口7的正负极上，两组导线中的其中另一组两端接到PVC垫板1侧面预留的检测柱61上，并保持开路状态；

万用表接口7设在PVC垫板1的一侧，万用表接口7接万用表8进行检测太阳能电池板9的四个角电阻。

将刻蚀后的太阳能电池板9放在PVC垫板1上，通过移动固定圆杆4在贯通槽3内运动：贯通槽3方便固定圆杆4的移动，使固定圆杆4可以适应不同尺寸的太阳能电池板9，进而再通过四个调节圆杆5上的检测铜片6卡在太阳能电池板9四个边角的边缘，然后通过导线将检测铜片6并联后接到万用表接口7，方便万用表8检测其电阻值，判断是否存在漏刻；固定圆杆4底部的锁紧机构可以防止调节圆杆4位移，从而保持检测铜片6不发生位移，方便检测；调节圆杆5与固定圆杆4转动连接的目的：方便检测铜片6调节位置，以适应太阳能电池板9的四个角，进而对其进行卡合；检测柱61上开路状态的导线方便万用表8对太阳能电池板9的四个角进行单独检测，以便更好分析漏刻具体分布(靠近)在哪个角。

1、首先我们有一个明确的是否漏刻的标准，即的值在合理范围内，如0.18左右为漏刻，0.88～1以上为轻微漏刻，16.99为完全刻蚀；2、再者直接用夹子或吸盘操作，人员与硅片(太阳能电池板9)无直接接触，不会造成隔离；3、操作简单，标准明确，产线员工可以直接测量判断，且可以每小时测测试片的硅片再测一次漏刻，或产线发现异常时直接自行测量是否漏刻，以杜绝批量漏刻下传，无需通知等待工艺测量。

因为太阳能电池板9的边角一定漏刻，所以只测其四个各边角的电阻即可判断是否漏刻，其中四个各边角的电阻分别为R1、R2、R3、R4；由于漏刻的边缘电阻R总远小于完全刻蚀的边缘电阻：R总＜(R1、R2、R3、R4)，而如果值很小，如在0.18左右则明存在漏刻，即测量的其中一个位置存在漏刻，万用表显示的即是漏刻的边缘电阻，可通过万用表8检测检测柱61开路的导线分析漏刻具体分布(靠近在)在哪个角，再调节工艺流程使之刻蚀合格。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。