一种集成电路芯片制造设备的制作方法

文档序号:14685218发布日期:2018-06-12 23:21阅读:来源:国知局
一种集成电路芯片制造设备的制作方法

技术特征:

1.一种集成电路芯片制造设备,其特征在于:其结构包括支撑柱(1)、支撑梁(2)、转台(3)、操作杆(4)、挡板(5)、第一隔板(6)、连接杆件(7)、第二隔板(8)、第三隔板(9)、伸缩杆(10)、手把(11)、螺丝孔(12)、自动复位装置(13),所述支撑柱(1)嵌入安装于支撑梁(2)内部,所述支撑梁(2)安装于转台(3)侧面,所述操作杆(4)设于挡板(5)上方,所述挡板(5)与第一隔板(6)相焊接,所述连接杆件(7)嵌入安装于第一隔板(6)底部,所述第二隔板(8)与第一隔板(6)相平行,所述第三隔板(9)与伸缩杆(10)相贴合,所述手把(11)安装于第二隔板(8)的下方,所述螺丝孔(12)嵌入安装于第一隔板(6)内,所述自动复位装置(13)安装于支撑梁(2)顶部,所述第一隔板(6)设于第二隔板(8)的上方,所述自动复位装置(13)由连接块(1301)、顶杆(1302)、复位支座(1303)、弹簧(1304)、螺母(1305)组成,所述顶杆(1302)嵌入安装于连接块(1301)内部,所述顶杆(1302)与复位支座(1303)平行,所述复位支座(1303)与弹簧(1304)在同一轴心上,所述螺母(1305)安装于连接块(1301)上。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造设备,其特征在于:所述支撑柱(1)为圆柱体结构。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造设备,其特征在于:所述复位支座(1303)的直径为7cm。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造设备,其特征在于:所述第一隔板(6)与第三隔板(9)平行。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造设备,其特征在于:所述弹簧(1304)通过复位支座(1303)与支撑梁(2)连接。

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