一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置的制作方法

文档序号:14746597发布日期:2018-06-20 00:22阅读:258来源:国知局

本实用新型属于材料表面处理技术领域,涉及一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置。



背景技术:

阴极是反射镜式激光陀螺的基本组成元件,对材料和加工质量都有特殊的要求。目前大多数的激光陀螺都选用溅射率低的材料作直流放电的阴极,阴极溅射是直流放电气体激光器必须解决的一个关键问题。在激光陀螺中,阴极溅射是影响激光器寿命的重要因素。由于空间有限,激光陀螺的阴极有效面积较小,阴极溅射问题尤为突出。在环形激光器中,阴极一方面发射电子,另一方面承受放电管中正离子的轰击,工作条件极为苛刻。故阴极表面氧化的均匀性至关重要,阴极表面氧化不均匀会使阴极表面发生异常溅射。这种现象一方面会吸收掩埋气体,以致激光器偏离最佳充气压力,影响激光陀螺性能参数,阴极溅射严重时,会吸收大量的工作气体而且激光器无法正常引燃。另外溅射出来的物质如果飞到反射镜上,会导致谐振腔损耗增大,激光无法输出。为了解决阴极溅射的问题,首先对阴极内表面的加工质量提出很高的要求。内表面达到镜面效果(Ra≤0.04um),而且不允许出现加工缺陷,并具有良好的气密性和使用寿命,其次就需要通过氧化放电处理,再次提高阴极内表面质量。

目前阴极真空放电处理的方法是将阴极通过灯工技术放置在玻璃管内,经抽真空氧化放电使阴极内表面达到使用要求。但这种传统方法对人员的灯工技术要求较高、准备工作时间长、人为因素干扰严重、不能批量生产。所以设计一种易操作、可反复使用、人为因素干扰小、能批量生产满足使用要求的阴极的办法,对提高生产效率和装配质量都大有好处。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置,解决了现有技术中存在的对人员的灯工技术要求较高、准备工作时间长、人为因素干扰严重、不能批量生产问题。

本实用新型所采用的技术方案是,一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置,包括阳极固定装置,阴极固定底盘和石英玻璃真空罩,阳极固定装置包括支撑板和两个固定柱,固定柱垂直固定在阴极固定底盘上,支撑板通过螺母垂直固定在固定柱上,石英玻璃真空罩扣在阴极固定底盘上,形成一密封腔体。

本实用新型的特点还在于,

阴极固定底盘上开设有至少两个阶梯型凹槽,阶梯型凹槽内设置有阴极固定环和U型阴极,阴极固定环之间通过导线相连接,导线从阴极固定环的一端引出连接至绝缘子a。

支撑板两端各设有一凹槽,凹槽内设有通孔,阳极柱穿过通孔竖直固定在支撑板上,阳极柱一端与支撑板上表面平齐,另一端在U型阴极槽内,接近U型阴极槽内表面。

阳极柱设置有两个且其上端通过一根导线相连接,导线从阳极柱的一端引出连接至绝缘子b。

绝缘子a11和绝缘子b竖直穿透阴极固定底盘固定。

阴极固定底盘靠近边缘处设有一环形凹槽,环形凹槽内设置有真空密封圈。

石英玻璃真空罩顶端正中心处开设有抽真空口。

本实用新型的有益效果是,本实用新型的一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置实现了阴极材料批量化生产,操作简单,对人员技术水平要求低,工装保证定位精度,避免人为因素导致阴极表面处理不均匀,且装置可以循环使用,避免了资源浪费。

附图说明

图1是本实用新型的一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置结构示意图。

图中,1.阴极固定底盘,2.阴极,3.阴极固定环,4.真空密封圈,5.石英玻璃真空罩,6.阳极柱,7.支撑板,8.固定柱,9.导线,10.螺母,11.绝缘子a, 12.抽真空口,13.绝缘子b,14.阳极固定装置。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置结构如图1所示,包括阳极固定装置14,阴极固定底盘1和石英玻璃真空罩5,阳极固定装置14包括支撑板7和两个固定柱8,固定柱8垂直固定在阴极固定底盘1上,支撑板7通过螺母10垂直固定在固定柱8上,阴极固定底盘1 上开设有阶梯型凹槽,阶梯型凹槽内设置有阴极固定环3和阴极2,两个阴极固定环3之间通过导线9相连接,导线9从阴极固定环3的一端引出连接至绝缘子a11,支撑板7两端设有一凹槽,凹槽内设有通孔,阳极柱6穿过通孔竖直固定在支撑板14上,阳极柱6一端与支撑板上表面平齐,另一端在U型阴极2槽内,接近U型阴极2槽内表面,阳极柱6上端通过导线9 相连接,导线9从阳极柱6的一端引出连接至绝缘子b13,绝缘子a11和绝缘子b13竖直穿透阴极固定底盘1固定。

阴极固定底盘1靠近边缘处设有一环形凹槽,环形凹槽内设置有真空密封圈4,石英玻璃真空罩5扣在阴极固定底盘1上,形成一密封腔体。石英玻璃真空罩5顶端正中心出开设有抽真空口12。

本实用新型的一种反射镜式激光陀螺阴极材料表面处理装置具体工作过程如下,

将阴极固定环3放置于阴极固定底盘1的阶梯型凹槽内,用导线9连接每个阴极固定环3,导线9从阴极固定环3的一端引出连接至绝缘子a11,把阴极2放置在阴极固定环3中;将阳极柱6穿过设有通孔的支撑板7上并固定,用导线9将阳极柱6上端连接起来,导线9从阳极柱6的上端引出连接至绝缘子b13;安装固定柱8于阴极固定底盘1上,将装配好的带有阳极柱6的支撑板用螺母10对应固定在固定柱8上。

将真空密封圈4放置于阴极固定底盘1卡槽中,最后将石英玻璃真空罩 5放置在真空密封圈4上,抽真空口12连接至真空系统抽真空,达到一定的真空度后,将一定比例的工作气体充入石英玻璃真空罩5封闭起来的空间中,接通电源,调节适当的电流进行阴极表面放电处理。

实际操作中,在阳极固定装置放置之前,需要对阳极柱的垂直度用仪器进行微调,以保证放电过程的均匀性,改善放电性能,在实际生产中,可根据需要对此装置进行同比例放大以提高产量。

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