用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置的制作方法

本发明涉及用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置，更详细地说，涉及防止化学制剂暴露并且可同时实现自动锁定及手动锁定的用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置。

背景技术：

通常，使用有害化学物质的所有公司，诸如制造半导体、半导体装置、lcd、oled的公司和制药公司及油漆公司等正在使用各种化学制剂，而安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多样化。

这种化学制剂通过如下的方式供应，从停在建筑物外部的液罐车(tanklorry)的化学制剂储罐输送到设置在建筑物内部的化学制剂储罐(chemicalstoragetank)，之后从化学制剂储罐输送至进行单位工艺的腔室。

作为从所述液罐车向化学制剂储罐输送化学制剂的现有方法，一直以来使用了由工作人员手动将化学制剂供应软管连接于接头的方法，对此以下将进行详细说明。

在所述储液罐连接有用于供应化学制剂的化学制剂用软管和用于供应氮气的氮气用软管，在所述化学制剂用软管和氮气用软管的端部分别结合化学制剂用公接头(maleconnector)和氮气用公接头，并且在所述各个公接头分别盖上用于密封该开放的端部的盖(cap)。

另外，在所述化学制剂储罐侧分别具有化学制剂用母接头(femaleconnector)和氮气用母接头，以用于分别插入所述化学制剂用软管的公接头和氮气用软管的公接头。在所述化学制剂用母接头和氮气用母接头也分别盖上用于密封该开放的端部的盖(cap)。

工作人员从所述液罐车拉出化学制剂用软管和氮气用软管，并将结合于化学制剂用公接头和氮气用公接头的盖、结合于化学制剂用母接头和氮气用母接头的盖分离。之后，将化学制剂用公接头结合于化学制剂用母接头，将氮气用公接头结合于氮气用母接头。

如此，在结合母接头和公接头的状态下，若通过氮气用软管将预定压力的氮气从配置在建筑物内部的氮气储罐供应于液罐车，则液罐车内部的化学制剂因为氮气的压力而通过化学制剂用软管输送至化学制剂储罐。

然而，通过如此的现有方法，工作人员手动结合/分离化学制剂用及氮气用接头，并且供应预定压力的氮气，据此存在可向外部暴露化学制剂的可能性，在该情况下存在工作人员可暴露于化学制剂的问题。

作为用于解决这种问题的现有技术，公开了韩国授权专利第10-1572537号。

在所述授权专利第10-1572537号中，在液罐车和化学制剂储罐之间配置有称为acqc单元(automaticcleanquickcouplerunit)的化学制剂中继工具。在此，化学制剂储罐通常配置在建筑物内部，而acqc单元则在位于建筑物外部的液罐车的化学制剂储罐和位于建筑物内部的化学制剂储罐之间起到中继的作用。

通过上述现有的acqc单元将化学制剂用软管和氮气用软管分别安装在安装部，之后通过第一输送工具和第二输送工具将所述化学制剂用软管和氮气用软管直线移动，分别在配置在acqc单元的化学制剂用母接头和氮气用母接头分别连接化学制剂用软管和氮气用软管的公接头。

如此，在连接化学制剂用公接头和母接头以及连接氮气用公接头和母接头的状态下，通过所述acqc单元将预定压力的氮气供应于液罐车的化学制剂储罐，通过该供应的氮气的压力排出化学制剂，进而通过化学制剂用软管储存于化学制剂储罐。

在该情况下，为了保持所述化学制剂用公接头和氮气用公接头分别结合于化学制剂用母接头和氮气用母接头的状态，配置有锁定单元。在所述锁定单元配置有偏心凸轮，以加紧公接头。所述偏心凸轮在一个母接头的一侧和另一侧配置有一对，为了驱动所述一对偏心凸轮，应配置有两个缸体，因此为了设置缸体需要很多的空间。

韩国授权专利第10-1779493号中配置有固定单位，以保持化学制剂用公接头和化学制剂用母接头结合的状态。所述固定单元由以水平方向和垂直方向动作的第一卡合部件、第一卡合部件驱动部、第二卡合部件、第二卡合部件驱动部构成。在该情况下，第二卡合部件位于化学制剂用公接头的下部，在公接头和母接头的结合部因为未干燥或者漏液而掉落残留的化学制剂，则第二卡合部件及第二卡和部件驱动部被腐蚀等，进而导致发生损坏。

另外，所述第一卡合部件从固定的一侧，即第一卡合部件驱动部分开，并且所述第二卡合部件也从固定的一侧，即第二卡合部件驱动部分开，若发生化学制剂用公接头或者化学制剂用母接头盖被推向后方的状况，则过大的力作用于所述第一卡合部件和第二卡合部件，因此在长时间使用时存在损坏的可能性。

另外，在锁定单元故障的情况下，需要工作人员手动操作偏心凸轮加紧公接头。在该情况下，若在第一卡合部件和第二卡合部件在锁定位置的状态下出现故障，则难以将第一卡合部件和第二卡合部件移动至解除锁定的位置，因此难以手动供应化学制剂。应对这种情况，需要工作人员能够手动操作的锁定单元，但是如果增设可手动操作的锁定单元，则存在装置非常复杂并且在维护上需要大量的时间及成本的问题。

另外，韩国授权实用新型第20-0201657号示出了手动操作的锁定单元，在处理上述自动操作的锁定单元以外增设手动操作的锁定单元的情况下，为了防止在手动操作锁定单元的情况下在锁定位置和锁定解除位置分别脱离原位置可发生的事故，使用用于固定位置的多个固定销，诸如固定杆，但是这需要使用人员逐一操作所述固定销，因此存在使工作变得繁琐的问题。

技术实现要素：

技术问题

本发明是为了解决上述的所有问题而提出的，提供一种用于供应化学制剂的锁定装置，可选择通过驱动部的驱动进行锁定的自动模式和使工作人员手动进行锁定的手动模式。

本发明的另一目的在于，提供一种用于供应化学制剂的锁定装置，利用一个驱动部使两个锁定部同时锁定或者解除锁定，进而可将结构简单化。

本发明的另一目的在于，提供如下的用于供应化学制剂的锁定装置：即使在公接头和母接头的连接部位出现化学制剂掉落，驱动部也不会受到影响，因此可防止驱动部的损坏。

本发明的另一目的在于，提供如下的用于供应化学制剂的锁定装置：在驱动部出现故障的情况下，可使工作人员容易进行手动操作。

技术方案

用于达成上述的目的的本发明的用于供应化学制剂的锁定装置包括：驱动部，提供驱动力；第一锁定部330和第二锁定部340，分别在锁定位置和锁定解除位置之间进行位置变更，所述锁定位置为进行锁定对象的位置固定，所述锁定解除位置为使所述锁定对象能够移动；至少一个连接部件，用于将所述驱动部310的驱动力传递于所述第一锁定部330和第二锁定部340。

所述第一锁定部330和第二锁定部340为以垂直方向为基准彼此相向地配置，并且分别接触于所述锁定对象的两侧，进而可进行锁定。

所述第一锁定部330由第一锁定部件331和第一连接杆332构成，所述第一锁定部件331接触于所述锁定对象的一侧以处于锁定状态，所述第一连接杆332铰链连接于所述第二连接部件322的另一侧端部；所述第二锁定部340可由第二锁定部件341和第二连接杆342构成，所述第二锁定部件341接触于所述锁定对象的另一侧以处于锁定状态，所述第二连接杆342铰链连接于所述第三连接部件323的另一侧端部。

所述用于供应化学制剂的锁定装置可具有：第二连接销334，形成有第一铰链轴334c和第一插入槽334b，所述第一铰链轴334c铰链连接于所述第二连接部件322，所述第一插入槽334b以垂直地方向形成在所述第一铰链轴334c并插入所述第一连接杆332；第一结合部件335，覆盖插入所述第一连接杆332的所述第一插入槽334b的上部，以防止所述第一连接杆332从所述第一插入槽334b脱离；第三连接销344，形成有第二铰链轴和第二插入槽，所述第二铰链轴铰链连接于所述第三连接部件323，所述第二插入槽以垂直方向形成在所述第二铰链轴并插入所述第二连接杆342；第二结合部件345，覆盖插入所述第二连接杆342的所述第二插入槽的上部，用于防止所述第二连接杆342从所述第二插入槽脱离。

所述第一连接杆332的端部与直径大于所述第一连接杆332的第一连接销结合部333形成一体；所述第二连接杆342的端部与直径大于所述第二连接杆342的第二连接销结合部343形成一体；所述第一连接销结合部333卡在所述第一结合部件335，以通过所述第一插入槽334b防止脱离；所述第二连接销结合部343卡在所述第二结合部件345可防止从所述第二插入槽脱离。

所述用于供应化学制剂的锁定装置还包括第一连接销324，所述第一连接销324通过所述驱动部进行直线运动；所述至少一个连接部件可由第二连接部件322和第三连接部件323构成，所述第二连接部件322和第三连接部件323通过所述第一连接销324的直线运动进行旋转运动。

所述第一锁定部330和第二锁定部340分别为接触于所述锁定对象的一侧端部的固定的位置为旋转中心；通过所述第二连接部件322和第三连接部件323的旋转运动，所述第一锁定部330和第二锁定部340以所述固定的位置为中心进行旋转，进而可在所述锁定位置和锁定解除位置之间进行变更。

所述用于供应化学制剂的锁定装置还包括第一连接部件321，所述第一连接部件321通过所述驱动部以水平方向进行直线运动；通过所述第一连接部件321的直线运动所述第一连接销324进行垂直方向的直线运动，通过所述第一连接销324的直线运动所述第二连接部件322和第三连接部件323可进行旋转运动。

在所述第一连接部件321形成有插槽321a，所述插槽321a具有针对水平方向倾斜的方向的长度；所述第一连接销324可移动于所述插槽321a中的一侧和另一侧之间。

在所述插槽321a的上侧端部以与水平方向并列的方向形成直线部321b，在所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定位置的情况下，所述第一连接销324可位于所述直线部321b。

所述第二连接部件322和第三连接部件323能够以垂直方向为基准彼此对称地进行旋转运动。

所述第二连接部件322和第三连接部件323的一侧端部通过所述第一连接销324铰链连接；在进行所述锁定位置和锁定解除位置之间的位置变更的情况下，所述第二连接部件322和第三连接部件323能够以所述第一连接销324为中心彼此对称地进行旋转运动。

所述第一连接销324的直线运动可被具有垂直方向的长度的引导部350引导。

所述驱动部由旋转型缸体构成；具有第一连接部件321-3，所述第一连接部件321-3通过所述驱动部的驱动以驱动铰链轴为旋转中心进行旋转；在所述第一连接部件321-3的另一侧端部结合所述第一连接销324；通过所述第一连接部件321-3的旋转所述第一连接销324可沿着引导部350-3以上下方向进行直线运动。

所述第一连接销324结合于引导连接部件351-1、351-2，在驱动所述驱动部时，所述引导连接部件351-1、351-2被具有垂直方向的长度的缸体导件312-1、312-2引导的同时可进行上下移动。

所述驱动部由通过流体压力进行所述直线运动的缸体构成；所述驱动部以自动模式和手动模式中的任意一种模式工作，所述自动模式为通过所述气缸的驱动直线运动所述第一连接销324，所述手动模式为在未施加所述驱动力的情况下手动移动所述第一连接销324；并且可具有锁定部件319-2，所述锁定部件319-2为在所述手动模式时使缸体内部的流体向外部排出，进而使所述第一锁定部330和第二锁定部340的位置变更手动进行。

所述锁定部件319-2由锁定螺母构成；若松开所述锁定螺母，则所述缸体内部的流体向外部排出，进而可进行所述手动模式的工作；若锁紧所述锁定螺母，则所述气缸内部的流体未向外部排出，因此所述第一连接销324不下降，而是可保持停止在预定位置的状态。

所述驱动部构成为以自动模式和手动模式中的任意一种模式工作，所述自动模式为通过驱动力直线运动所述第一连接销324，所述手动模式为在未施加所述驱动力的情况下手动移动所述第一连接销324；为了以所述手动模式工作，在所述引导连接部件351-1、351-2可形成有手柄，以直线移动所述第一连接销324。

所述驱动部构成为以自动模式和手动模式中的任意一种模式工作，所述自动模式为通过驱动力直线运动所述第一连接销324，所述手动模式为在未施加所述驱动力的情况下手动移动所述第一连接销324；为了以所述手动模式工作，在所述至少一个连接部件可形成有手柄，以直线移动所述第一连接销324。

所述用于供应化学制剂的锁定装置可具有：锁定感应传感器361、362，用于感应所述第一锁定部330和第二锁定部340中的至少一个在锁定位置；锁定解除感应传感器363、364，用于感应所述第一锁定部330和第二锁定部340中的至少一个在锁定解除位置。

所述锁定对象为插入于化学制剂用母接头的化学制剂用公接头，在所述锁定感应传感器361、362感应是锁定位置的情况下，控制部可进行控制使化学制剂通过所述化学制剂用公接头和化学制剂用母接头流动。

在所述锁定解除感应传感器363、364感应是锁定解除位置的情况下，控制部可进行控制使所述锁定对象移动。

所述用于供应化学制剂的锁定装置，能够以自动模式或者手动模式工作，所述自动模式为通过所述驱动力使所述第一锁定部330和第二锁定部340进行位置变更，所述手动模式为在未施加所述驱动力的情况下使所述第一锁定部330和第二锁定部340的位置变更手动进行。

所述驱动部可由缸体构成，以通过流体的压力进行所述第一锁定部330和第二锁定部340的位置变更。

所述用于供应化学制剂的锁定装置可包括：驱动连接部件，通过所述驱动部的驱动进行直线运动；第一流体供应部313，供应所述流体，以使所述驱动连接部件向一侧方向进行直线运动；第二流体供应部314，供应所述流体，以使所述驱动连接部件向另一侧方向进行直线运动；中立部312，不论所述驱动连接部件以所述直线运动的两侧中的哪一方向活动，都进行所述流体的排出，以实现所述手动模式。

在隔着所述中立部312且其两侧一体地配置所述第一流体供应部313和第二流体供应部314；在所述第一流体供应部313和第二流体供应部314的侧部可配置有以彼此相向的方向施加弹力的一对弹簧315a、315b。

通过供电所述中立部312和第一流体供应部313、第二流体供应部314一体地移动，所述第一流体供应部313和第二流体供应部314中的任意一个可连接于进行所述流体的流入及排出的第一连接口316和第二连接口317，以向一侧或者另一侧方向移动所述驱动连接部件311。

本发明的化学制剂自动供应装置包括在权利要求1至27中的任意一项记载的用于供应化学制剂的锁定装置。

另外，本发明的用于供应化学制剂的锁定装置包括：至少一个驱动部，提供驱动力；至少一个锁定部，分别在锁定位置和锁定解除位置之间进行位置变更，所述锁定位置为进行锁定对象的位置固定，所述锁定解除位置为使所述锁定对象能够移动；构成为以通过所述驱动力进行位置变更的自动模式工作，以在未施加所述驱动力的情况下手动进行所述锁定部的位置变更的手动模式工作。在该情况下，可配置有模式选择部，能够选择所述自动模式和手动模式。

有益效果

通过本发明，可选择通过驱动部的驱动进行锁定的自动模式和使工作人员手动进行锁定的手动模式，因此在驱动部故障时也可供应化学制剂。

另外，利用一个驱动部可使两个锁定部同时锁定或者解除锁定，进而可将结构简单化。

另外，即使在公接头和母接头的连接部位发生化学制剂掉落，驱动部也不会受到影响，因此可防止驱动部损坏。

另外，在驱动部故障的情况下，工作人员可容易手动操作，因此可提高工作效率性。

附图说明

图1是示出具有本发明的用于供应化学制剂的锁定装置的化学制剂自动供应装置的剖面图。

图2是示出化学制剂用母接头盖插入于化学制剂用母接头的插入槽的状态的图。

图3是示出化学制剂用母接头盖从化学制剂用母接头的插入槽脱落的状态的图。

图4是示出本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置的立体图。

图5是示出本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置中的引导部和第二、三连接部件、第一、二锁定部的立体图。

图6是在图5的反方向示出在本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置中第二连接部件和第一锁定部的一部分结构的分解状态的立体图。

图7是示出本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定位置的情况的主视图。

图8是示出本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定解除位置的情况的主视图。

图9是示出本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置中的驱动部的结构及动作状态的图。

图10是示出本发明的第二实施例的用于供应化学制剂的锁定装置的立体图。

图11是示出本发明的第二实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定解除位置的情况的主视图。

图12是示出本发明的第二实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定位置的情况的主视图。

图13是示出本发明的第三实施例的用于供应化学制剂的锁定装置的立体图。

图14是示出本发明的第三实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定解除位置的情况的主视图。

图15是示出本发明的第三实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定位置的情况的主视图。

图16是示出本发明的第四实施例的用于供应化学制剂的锁定装置的立体图。

图17是示出本发明的第四实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定解除位置的情况的主视图。

图18是示出本发明的第四实施例的用于供应化学制剂的锁定装置为锁定位置的情况的主视图。

附图标记说明

100：化学制剂自动供应装置105：运送用外壳

150：安装部160：运送单元

190：母接头盖拆装单元191：化学制剂用盖固定部

192：化学制剂用前后导件193：化学制剂用前后驱动部

194：化学制剂用上下导件195：化学制剂用上下驱动部

200：外壳主体210：化学制剂用母接头

211：化学制剂用母接头盖

300、300-1、300-2、300-3、300-4：化学制剂用锁定装置

310、310-1、310-2、310-3：驱动部

311、311-1、311-2：驱动连接部件

312、312-1、312-2：缸体导件319-2：锁定部件

321：第一连接部件321a：插槽

321b：直线部321c、351-1a：手柄

322：第二连接部件323：第三连接部件

324：第一连接销330：第一锁定部

331：第一锁定部件331a、341a：接触部

331b、341b：非接触部332：第一连接杆

333：第一连接销结合部334：第二连接销

335：第一结合部件340：第二锁定部

341：第二锁定部件342：第二连接杆

343：第二连接销结合部344：第三连接销

345：第二结合部件350：引导部

351、351-1、351-2、351-3：导件连接部件

352：导轨

361：第一锁定感应传感器

362：第二锁定感应传感器

363：第一锁定解除感应传感器

364：第二锁定解除感应传感器

400、400-1、400-2：氮气用锁定装置

500：化学制剂用软管

510：化学制剂用公接头600：氮气用软管

700：连接器引导部710：上部外壳

711：上部外壳结合凸台720：下部外壳

721：下部外壳结合凸台730：上部导辊

740：上部支架750：下部导辊

760：下部支架

具体实施方式

以下，参照附图对本发明进行详细说明。

参照图1，适用本发明的用于供应化学制剂的锁定装置300、400的化学制剂自动供应装置100是用于在配置在外壳主体200的化学制剂用母接头210和氮气用母接头(未示出)自动连接结合于化学制剂用软管500和氮气用软管600端部的化学制剂用公接头510和氮气用公接头(未示出)的装置，所述化学制剂用软管500和氮气用软管600连接于液罐车(tanklorry)的化学制剂储罐(未示出)。

以下，在指示方向时，化学制剂用公接头510所在的方向称为后方，化学制剂用母接头210所在的方向称为前方。

所述化学制剂自动供应装置100由运送用外壳105、安装部150、运送单元160、母接头盖拆装单元190、锁定装置300、400构成。

在与所述运送部外壳105面对的外壳主体200的一侧面设置有化学制剂用母接头210和氮气用母接头(未示出)。

在所述外壳主体200的内部配置有将通过化学制剂用软管500供应的化学制剂分配至化学制剂储罐(未示出)或者用于清洗化学制剂用母接头210和氮气用母接头的结构。

所述安装部150可配置成一对，以分别安装化学制剂用软管500和氮气用软管600。

所述运送单元160配置在所述运送部外壳105的内部，控制所述运送单元160，在化学制剂用软管500和氮气用软管600安装在安装部150的状态下以化学制剂用母接头210和氮气用母接头方向运送。运送单元160可构成为一对，以分别运送化学制剂用软管500和氮气用软管600。

所述运送单元160可由平台161和驱动部构成，所述平台161为在上部装载所述安装部150，所述驱动部在所述平台161上以前后方向运送所述安装部150以向化学制剂用母接头210和氮气用母接头侧运送所述化学制剂用软管500和氮气用软管600。所述驱动部被控制部控制驱动。

通过所述运送单元160向前方运送化学制剂用软管500和氮气用软管600，进而化学制剂用公接头510插入并结合于化学制剂用母接头210，并且氮气用公接头插入并结合于氮气用母接头。在该状态下，实现在化学制剂储罐和化学制剂储罐之间输送化学制剂。

参照图2和图3，对母接头盖拆装单元190进行说明。

所述母接头盖拆装单元190是用于结合或者分离化学制剂用母接头盖211和氮气用母接头盖(未示出)的结构，所述化学制剂用母接头盖211和氮气用母接头盖用于密封配置在化学制剂储罐侧的化学制剂用母接头210和氮气用母接头的开放的端部。

所述母接头盖拆装单元190可由化学制剂用母接头盖拆装单元及氮气用母接头盖拆装单元构成，所述化学制剂用母接头盖拆装单元用于拆装化学制剂用母接头盖211，所述氮气用母接头盖拆装单元用于拆装氮气用母接头盖。

以下，只对化学制剂用母接头盖拆装单元进行说明，对于氮气用母接头盖拆装单元，结构与化学制剂用母接头盖拆装单元相同，因此省略此详细说明。

所述化学制剂用母接头盖拆装单元190包括：化学制剂用盖固定部191、化学制剂用前后导件192、化学制剂用前后驱动部193、化学制剂用上下导件194、化学制剂用上下驱动部195。

所述化学制剂用盖固定部191用于将化学制剂用母接头盖211固定在化学制剂用母接头盖拆装单元190。化学制剂用母接头盖211的一侧端部与化学制剂用盖固定部191结合成一体。

所述化学制剂用前后导件192具有前后方向的长度，并且进行引导以在化学制剂用前后导件192上以前后方向运送所述化学制剂用盖固定部191。

所述化学制剂用前后驱动部193可由气缸或者马达等构成，并且提供驱动力，以在化学制剂用前后导件192上以前后方向运送所述化学制剂用盖固定部191。

所述化学制剂用上下导件194由上下方向的长度构成起到引导作用，并且所述化学制剂用上下驱动部195由气缸或者马达等构成。

所述化学制剂用盖固定部191、化学制剂用前后导件192及化学制剂用前后驱动部193在化学制剂用上下导件194上通过化学制剂用上下驱动部195被一体地以上下方向运送。

如图2所示，在所述化学制剂用母接头210沿着前后方向形成有插入槽210a，在化学制剂储罐和化学制剂储罐之间未输送化学制剂的期间化学制剂用母接头盖211插入于插入槽210a。

另外，若驱动所述化学制剂用前后驱动部193，则向后方运送化学制剂用盖固定部191，进而如图3所示已插入于插入槽210a的化学制剂用母接头盖211会从插入槽210a脱离出来。

另外，在图3的状态下，若驱动所述化学制剂用上下驱动部195，则化学制剂用盖固定部191和化学制剂用母接头盖211沿着化学制剂用上下导件194向上移动，进而处于化学制剂用公接头510可结合于化学制剂用母接头210的状态。

参照图4至图6，对本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置300进行说明。所述锁定装置300是为了固定化学制剂用公接头510和化学制剂用母接头盖211而配置，并且还可追加配置用于固定氮气用公接头和氮气用母接头盖的锁定装置400。

所述锁定装置300可包括：驱动部310，提供驱动力；第一锁定部330和第二锁定部340，通过所述驱动部310的驱动力分别在进行锁定对象的位置固定的锁定位置和使所述锁定对象可进行移动的锁定解除位置之间进行变更；至少一个连接部件，用于将所述驱动部310的驱动力传递于所述第一锁定部330和第二锁定部340。

所述锁定装置300可包括：第一连接销324，通过所述驱动部310进行直线运动；所述第二连接部件322和第三连接部件323，通过所述第一连接销324的直线运动进行旋转运动。

在该情况下，还包括第一连接部件321，所述第一连接部件321通过所述驱动部310以水平方向，即第一方向进行直线运动；所述第二连接部件322和第三连接部件323可构成为通过所述第一连接部件321的直线运动进行旋转运动。

在所述第一连接部件321形成有手柄321c，所述手柄321c在后述的手动模式时可使工作人员用手握住并移动第一连接部件321。

所述驱动部310可由马达或者气缸构成，以使所述第一连接部件321以所述第一方向进行直线运动。所述气缸作为通过流体的压力产生驱动力的，可以是气压缸或者液压缸。

在图4中，作为所述驱动部310的一示例示出了气压缸。

所述驱动部310包括：驱动连接部件311，结合所述第一连接部件321；缸体导件312，引导所述驱动连接部件311，可使所述驱动连接部件311以所述第一方向，即水平方向直线移动。

所述缸体导件312以所述第一方向，即水平方向延长形成。

所述驱动连接部件311的一侧结合于所述第一连接部件321，而另一侧配置成沿着所述缸体导件312可进行直线移动。

若驱动所述驱动部310，则所述驱动连接部件311在所述缸体导件312上沿着所述第一方向直线移动。

所述第一连接部件321由利用紧固部件(未示出)上部结合于所述驱动连接部件311的板件构成。在所述第一连接部件321形成有切割板件的一部分的插槽321a。所述插槽321a形成为具有针对第一方向倾斜的方向的长度。所述第一连接销324移动于所述插槽321a内的一侧和另一侧之间。

在所述插槽321a的上侧端部形成有以与所述第一方向并列的方向形成的直线部321b。在所述锁定部330、340在锁定位置的情况下，所述第一连接销324位于所述直线部321b，因此所述第一连接销324不向下方移动。在所述锁定部330、340在锁定解除位置的情况下，所述第一连接销324位于所述插槽321a的下端。

在所述第一连接销324的一侧端部铰链连接所述第二连接部件322和第三连接部件323，在所述第一连接销324的另一侧端部连接引导部350进行引导，以在所述引导部350上以垂直方向，即第二方向直线运动。

所述第二连接部件322和第三连接部件323以所述第二方向，即所述引导部350的长度方向为基准彼此对称配置。另外，所述第二连接部件322和第三连接部件323作为具有预定长度地连接件，两端分别铰链连接。所述第二连接部件322和第三连接部件323的上侧端部通过所述第一连接销324一同铰链连接，而在下侧端部分别铰链连接第二连接销334和第三连接销344，并且倾斜配置以从所述第一连接销324越向下方使所述第二连接部件322和第三连接部件323之间的间距渐渐扩张。

所述第二连接部件322和第一锁定部330通过第二连接销334铰链连接，所述第三连接部件323和第二锁定部340通过第三连接销344铰链连接。

参照图4至图6，对所述第一锁定部330和第二锁定部340进行说明。

所述第一锁定部330和第二锁定部340配置成以所述第二方向，即所述引导部350的长度方向为基准彼此相向，并且分别接触于锁定对象，即化学制剂用公接头510或者化学制剂用母接头盖211的一侧和另一侧，进而进行锁定。

所述第一锁定部330由第一锁定部件331和第一连接杆332构成，所述第二锁定部340由第二锁定部件341和第二连接杆342构成。

所述第一锁定部件331和第二锁定部件341作为相同的形状而对称地设置，并且所述第一连接杆332和第二连接杆342作为相同的形状可对称地设置。

所述第一锁定部件331和第二锁定部件341由凸轮形状构成，由外周面是圆形的接触部331a、341a和切割圆筒的一部分由平面形状构成的非接触部331b、341b构成。

所述第一锁定部件331和第二锁定部件341利用固定部件(未示出)可旋转地固定在化学制剂用母接头210的后端面210b。

在所述第一锁定部件331和第二锁定部件341在锁定位置的情况下，在所述锁定对象的一侧和另一侧的相向的位置分别由所述第一锁定部件331的接触部331a和第二锁定部件341的接触部341a接触，进而所述锁定对象处于不活动的锁定状态。

另外，所述第一锁定部件331和第二锁定部件341以各自的旋转中心为中心进行旋转，解除与所述接触部331a和锁定对象的接触，若处于所述非接触部331b朝向所述锁定对象的位置，则所述非接触部331b从所述锁定对象间隔变为所述锁定对象可活动的锁定解除状态。

为使所述第一锁定部件331和第二锁定部件341的前端面331c、341c紧贴于化学制剂用母接头210的后端面210b一侧，所述第一锁定部件331和第二锁定部件341结合于化学制剂用母接头210进而固定位置。另外，所述第一锁定部件331和第二锁定部件341以各自的中心为旋转中心进行旋转。所述第一锁定部件331和第二锁定部件341的旋转中心可构成为成为外周面为圆形的所述接触部331a、341a的中心。

若如此构成，则第一锁定部件331和第二锁定部件341各自的旋转中心和锁定对象接触的部位的间隔距离接近，因此即使发生化学制剂用公接头510或者化学制剂用母接头盖211推向后方的状况也不会有过大的力作用于所述第一锁定部件331和第二锁定部件341，因此即使长时间使用也可降低损坏的可能性。

所述第一连接杆332和第二连接杆342作为由剖面为圆形的杆形状构成的，在一侧端部分别结合所述第一锁定部件331和第二锁定部件341，而另一侧端部可分别铰链连接于第二连接部件322和第三连接部件323以进行旋转。

所述第一锁定部件331的旋转中心为包括所述第一连接杆332的第一锁定部330整体的旋转中心，所述第一锁定部件331的旋转中心的位置是固定的。另外，所述第二锁定部件341的旋转中心为包括所述第二连接杆342的第二锁定部340整体的旋转中心，所述第二锁定部件341的旋转中心的位置是固定的。

在所述第一连接杆332的端部形成有直径大于所述第一连接杆332的第一连接销结合部333，在所述第二连接杆342的端部形成有直径大于所述第二连接杆342的第二连接销结合部343。

在图6示出了分解第一锁定部330和第二连接部件322的结构的状态。

所述第一锁定部330还可包括第二连接销334和第一结合部件335。在所述第一连接杆332的端部可形成有第一连接销结合部333。

在所述第二连接部件322的一侧端部形成有插入所述第二连接销334的第二连接销插入孔323a。

所述第二连接销334由第一铰链轴334c和第二连接销主体334a构成，所述第一铰链轴334c插入并铰链连接于所述第二连接销插入孔323a，所述第二连接销主体334a为在一侧端与所述第一铰链轴334c形成一体并且形成有第一插入槽334b。

所述第一铰链轴334c构成为从所述第二连接销主体334a凸出的圆筒形状，插入于所述第二连接销插入孔323a的情况下，可在所述第二连接销插入孔323a内部进行旋转，因此可使所述第二连接销334执行铰链功能。

所述第一插入槽334b形成为以与所述第二连接部件322及第一连接杆332的长度方向并列的方向开放上部的槽形状，进而插入并安装所述第一连接杆332。沿着所述第一插入槽334b的长度方向的中心轴形成为垂直于所述第一铰链轴334c。

在所述第二连接销主体334a的上端中在两侧上面隔着所述第一插入槽334b形成有一对紧固孔334d。

所述第一结合部件335由大致形成四边形形状的板件构成，并且形成有一对紧固孔335a。在所述第一连接杆332插入于所述第一插入槽334b的状态下覆盖所述第一连接杆332和第一插入槽334b的上部，若将紧固部件(未示出)插入于所述第一结合部件335的紧固孔335a和所述第二连接销334的紧固孔334d进行紧固，则实现所述第一连接杆332和第二连接销334的结合，进而可防止脱离所述第一插入槽334b。

在该情况下，在所述第一连接杆332插入于第一插入槽334b的状态下，所述第一连接销结合部333卡在第一结合部件335及第二连接销主体334a，进而可确实防止所述第一连接杆332以长度方向脱离。

连接所述第二锁定部340和第三连接部件323的结构也与连接所述第一锁定部330和第二连接部件322的结构相同。

即，所述第二锁定部340还可包括结构与第二连接销334相同的第三连接销344、结构与第一结合部件335相同的第二结合部件345。另外，在所述第二连接杆342的端部可形成有结构与第一连接销结合部333相同的第二连接销结合部343。另外，在第三连接销344形成有结构与第一铰链轴334c、第二连接销主体334a、第一插入槽334b相同的第二铰链轴、第三连接销主体、第二插入槽。

所述第三连接销344的第二铰链轴插入于形成在所述第三连接部件323的一侧端部的第三连接销插入孔，以铰链连接所述第三连接部件323和第三连接销344。

若在所述第二连接杆342插入于所述第二插入槽的状态下覆盖所述第二连接杆342和第二插入槽的上部，并且利用紧固部件结合所述第二结合部件345和第三连接销344，则可防止所述第二连接杆342从所述第二插入槽344b脱离。

所述引导部350可由导轨352及导件连接部件351构成，所述导轨352以所述第二方向，即垂直方向构成预定的长度，所述导件连接部件351在结合于所述导轨352的状态下被所述导轨352引导的同时以垂直方向移动。

所述第一连接销324与所述导件连接部件351结合成一体，因此在所述导件连接部件351以所述第二方向移动时一同移动至所述第一连接销324。

所述引导部350固定结合于框架110。

可配置有多个传感器361、362、363、364，以用于感应所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定位置及锁定解除位置的情况。

所述多个传感器361、362、363、364可由锁定感应传感器361、362和锁定解除感应传感器363、364构成，所述锁定感应传感器361、362用于感应第一锁定部330和第二锁定部340在锁定位置，所述锁定解除感应传感器363、364用于感应所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定解除位置。

所述锁定感应传感器361、362作为相比于所述锁定对象的位置在更上侧，可由以所述引导部350为基准配置在两侧的第一锁定感应传感器361和第二锁定感应传感器362构成。

所述锁定解除感应传感器363、364可由以所述锁定对象的侧方向配置在相邻的位置的第一锁定解除感应传感器363和第二锁定解除感应传感器364构成。

若所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定位置，则在可分别感应所述第一连接销结合部333和所述第二连接销结合部343的位置配置所述第一锁定感应传感器361和第二锁定感应传感器362。

若所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定解除位置，则可在可分别感应所述第一连接杆332和第二连接杆342的位置配置所述第一锁定解除感应传感器363和第二锁定解除感应传感器364。

所述锁定感应传感器361、362和锁定解除感应传感器363、364可构成为除了所述位置以外也配置在其他位置，进而可感应所述第一锁定部330和第二锁定部340的其他部分。

在所述锁定感应传感器361、362感应是锁定位置的情况下，控制部可进行控制使化学制剂通过所述锁定对象流动。即，在所述锁定对象是化学制剂用公接头510的情况下，若在所述化学制剂用公接头510插入于化学制剂用母接头210的状态下所述锁定感应传感器361、362感应到是锁定位置，则进行控制以通过所述化学制剂用公接头510和化学制剂用母接头210供应化学制剂。在所述锁定对象是化学制剂用母接头盖211的情况下，若在所述化学制剂用母接头盖211插入于化学制剂用母接头210的状态下所述锁定感应传感器361、362感应是锁定位置，则判断为所述化学制剂用母接头盖211正常插入于化学制剂用母接头210，进而可进行之后的工作。

另外，在所述锁定解除感应传感器363、364感应是锁定解除位置的情况下，控制部可进行控制可使所述锁定对象移动。即，在所述锁定对象是化学制剂用公接头510或者化学制剂用母接头盖211的情况下，处于所述化学制剂用公接头510或者化学制剂用母接头盖211可以移动的状态，因此可进行所述化学制剂用公接头510和化学制剂用母接头210的紧固及分离、所述化学制剂用母接头盖211和化学制剂用母接头210的紧固及分离。

通过如上所述的结构，利用一个驱动部310使两个锁定部330、340同时锁定或者解除锁定，进而可将结构简单化。另外，在化学制剂用公接头510和化学制剂用母接头210的连接部位下部未配置有构成锁定装置300的构成部310，因此即使化学制剂掉落，驱动部也不会受到影响，进而可防止驱动部损坏。另外，在驱动部310故障的情况下，工作人员可容易进行手动操作，因此可提高工作的效率性。

参照图7和图8，对本发明的第一实施例的用于供应化学制剂的锁定装置300的动作进行说明。

图7示出了所述锁定装置300为锁定位置的情况。

在图4和图7中示出了驱动连接部件311与第一连接部件321分离的状态，但是所述驱动连接部件311和第一连接部件321是结合成一体的，因此在图4和图7的锁定位置中所述驱动连接部件311应该以向左侧移动的状态表示，但是为了明确表示结构，以分离的状态示出。

所述驱动连接部件311为在所述缸体导件312上位于左侧，所述第一连接部件321也与所述驱动连接部件311一体地移动，因此也位于左侧。

在该情况下，第一连接销324位于所述插槽321a的最上侧，即直线部321b。所述第一连接销324卡在所述直线部321b的下端，进而不沿着所述插槽321a向下下降。

所述第一连接销324在所述导轨352上向上侧移动。在所述第二连接部件322和第三连接部件323的上端部铰链连接所述第一连接销324，因此所述第二连接部件322和第三连接部件323之间以狭窄的角度并且以所述导轨352中心并对称配置。

在该情况下，使所述第一锁定部件331的非接触部331b、所述第二锁定部件341的非接触部341b朝向下方，所述第一锁定部件331的接触部331a和所述第二锁定部件341的接触部341a分别接触于所述锁定对象的一侧和另一侧，进而所述锁定对象可保持固定而不活动的状态。

所述第一锁定部330的第一连接杆332和所述第二锁定部340的第二连接杆342为沿着上下方向拉长设置。另外，所述第一连接销结合部333位于第一锁定感应传感器361的下部，所述第二连接销结合部343位于第二锁定感应传感器362的下部。

所述第一锁定感应传感器361感应所述第一连接销结合部333，所述第二锁定感应传感器362感应所述第二连接销结合部343，进而控制部判断为所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定位置。

图8示出了所述锁定装置300为锁定解除位置的情况。

若在图7的锁定位置驱动驱动部310，则变为图8的锁定解除位置。所述驱动连接部件311在所述缸体导件312上位于右侧，所述第一连接部件321也与所述驱动连接部件311一体地移动，因此也位于右侧。

在该情况下，第一连接销324从直线部321b脱离出来沿着所述倾斜的插槽321a位于所述插槽321a的最下侧。与此同时，所述第一连接销324在所述导轨352上向下侧。

另外，所述第一锁定部件331和第一连接杆332、第二连接销334以所述第一锁定部件331的固定的中心为旋转中心进行顺时针旋转，而所述第二锁定部件341和第二连接杆342、第三连接销344以所述第二锁定部件341的固定的中心为旋转中心进行逆时针旋转。

从而，所述第二连接部件322和第三连接部件323以所述第一连接销324为中心以彼此远离地方向进行旋转，因此所述第二连接部件322和第三连接部件323之间以宽角度并且以所述导轨352为中心对称配置。

在该情况下，使所述第一锁定部件331的非接触部331b、所述第二锁定部件341的非接触部341b设置为朝向锁定对象地进行旋转，因此从锁定对象间隔所述非接触部331b、341b。另外，所述第一锁定部件331的接触部331a和所述第二锁定部件341的接触部341a进行旋转，以防止分别接触于所述锁定对象的一侧和另一侧。从而，所述锁定对象处于可移动或者活动的状态。

所述第一锁定部330的第一连接杆332以所述第一锁定部件331为中心进行旋转来位于第一锁定解除感应传感器363的上部，所述第二锁定部340的第二连接杆342以所述第二锁定部件341为中心进行旋转来位于第二锁定解除感应传感器364的上部。

所述第一锁定解除感应传感器363感应第一连接杆332，所述第二锁定解除感应传感器364感应第二连接杆342，进而控制部判断所述第一锁定部330和第二锁定部340在锁定解除位置。

参照图9，对本发明的第一实施例的驱动部310进行说明。

所述驱动部310可构成为执行自动模式和手动模式中的任意一种模式，所述自动模式通过所述驱动部310的驱动力以上下方向直线运动所述第一连接销324，所述手动模式在未施加所述驱动部310的驱动力的情况下可手动移动所述第一连接销324。

所述手动模式在所述驱动部310故障的情况下是必要的。在没有所述手动模式的情况下，若所述驱动部310故障，则可出现无法供应化学制剂的问题。从而，即使因为故障导致驱动部310无法提供驱动力，也可使工作人员将第一锁定部330和第二锁定部340分别手动位于锁定位置和锁定解除位置。

所述驱动部310可包括：第一流体供应部313，进行流体(气压缸的情况下是气体)供应，以使所述驱动连接部件311的直线运动向一侧方向进行；第二流体供应部314，进行所述流体供应，以使所述驱动连接部件311的直线运动向另一侧方向进行；中立部312，不论所述驱动连接部件311的所述直线运动向两侧中的哪一个方向活动，都进行所述流体的排出，以实现所述手动模式。

所述第一流体供应部313和第二流体供应部314之间设置所述中立部312，并且在所述中立部312两侧配置成一体。

在所述第一流体供应部313和第二流体供应部314的侧部配置有以彼此相向的方向施加弹力的一对弹簧315a、315b。

在所述第一流体供应部313配置有入口313a及出口313b，所述入口313a使流体流入第一流体供应部313内部，所述出口313b使流体向第一流体供应部313外部排出。

在所述第二流体供应部314配置有入口314a及出口314b，所述入口314a使流体流入第二流体供应部314内部，所述出口314b使流体向第二流体供应部314外部排出。

在所述中立部312配置有一对出口312a、312b，以使流体向中立部312外部排出。

配置有第一连接口316和第二连接口317，以用于直线运动所述驱动连接部件311的流体进行流入及排出。所述第一连接口316连通于所述流体的压力作用于所述驱动连接部件311一侧的空间318a；所述第二连接口317连通于所述流体的压力作用于所述驱动连接部件311另一侧的空间318b。

通过供电所述中立部312和第一流体供应部313、第二流体供应部314一体地移动，进而所述第一流体供应部313和第二流体供应部314中的任意一个连接于第一连接口316和第二连接口317。在该情况下，若连接所述第一流体供应部313和连接所述第二流体供应部314，则作用于所述驱动连接部件311的流体的压力方向变为彼此相反的方向，进而所述驱动连接部件311的移动方向变为反方向。

图9的(a)部分是未供电的状态。在该情况下，一对弹簧315a、315b保持力的平衡状态。所述第一连接口316与出口312a连通，第二连接口317与另一出口312b连通。从而，若工作人员用手在驱动连接部件311向左侧施力，则通过第一连接口316及出口312a排出流体的同时驱动连接部件311向左侧移动。与此相反，若工作人员用手在驱动连接部件311向右侧施力，则通过第二连接口317及出口312b排出流体的同时驱动连接部件311向右侧移动。从而，若工作人员抓握手柄321c手动移动第一连接部件321，则可将第一锁定部330和第二锁定部340移动至锁定位置和锁定解除位置中的任意一个位置。

图9的(b)部分是供电而处于所述中立部312和第一流体供应部313、第二流体供应部314向右侧方向移动的状态。在该情况下，第一连接口316连通于第一流体供应部313的入口313a，第二连接口317连通于第一流体供应部313的出口313b。据此，处于连接于所述第一流体供应部313的弹簧315a被拉长，连接于所述第二流体供应部314的弹簧315b被压缩的状态。在该状态下，若通过入口313a供应流体，进而流体的压力向驱动连接部件311的一侧起作用，则所述驱动连接部件311向右侧方向移动，而所述驱动连接部件311的另一侧空间318b的流体通过第二连接口317和出口313b向外部排出。

图9的(c)部分是与图9的(b)部分相反地供电而处于所述中立部312和第一流体供应部313、第二流体供应部314向左侧方向移动的状态。在该情况下，第一连接口316连通于第二流体供应部314的出口314b，第二连接口317连通于第二流体供应部314的入口314a。据此，处于连接于所述第一流体供应部313的弹簧315a被压缩，连接于所述第二流体供应部314的弹簧315b被拉长的状态。在该状态下，若通过入口314a供应流体进而流体的压力向驱动连接部件311的一侧起作用，则所述驱动连接部件311向左侧方向移动，而所述驱动连接部件311的另一侧空间318a的流体通过第一连接口316和出口314b向外部排出。

从而，如图9的(b)部分、(c)部分所示，通过驱动部310的驱动力可将第一锁定部330和第二锁定部340移动至锁定位置和锁定解除位置中的任意一个位置。

工作人员操作配置在化学制剂自动供应装置的模式选择部，可选择自动模式和手动模式中的任意一种模式，所述模式选择部可由开关构成。

参照图10至图12，对本发明的第二实施例的锁定装置300-1进行说明。

第二实施例的锁定装置300-1与第一实施例的锁定装置300相同，同样地具有：第一连接销324、第二连接部件322和第三连接部件323、由第一锁定部件331和第一连接杆332构成的第一锁定部330、由第二锁定部件341和第一连接杆342构成的第二锁定部340、第二连接销334和第三连接销344、第一锁定感应传感器361、第二锁定感应传感器362、第一锁定解除感应传感器363、第二锁定解除感应传感器364。另外，后述的第三实施例和第四实施例的情况也具有相同的结构。

在图11中示出了锁定装置300-1为锁定解除位置的情况，在图12中示出了锁定装置300-1为锁定位置的情况。另外，可与化学制剂用锁定装置300-1一同配置氮气用锁定装置400-1。

所述锁定装置300-1包括提供驱动力的驱动部310-1。通过所述驱动部310-1的驱动，引导所述第一连接销324以上下方向进行直线运动。

所述第一连接销324结合于引导连接部件351-1，所述引导连接部件351-1与驱动连接部件311-1结合成一体，在以上下方向的长度形成的缸体导件312-1上引导所述驱动连接部件311-1，同时所述驱动连接部件311-1能够上下方向进行直线移动。

在所述引导连接部件351-1形成有手柄351-1a，以在手动模式时使工作人员可用手抓握并移动。

在第二实施例的情况下，缸体导件312-1具有上下方向的长度并且以上下方向进行直线运动。另外，在图9中说明的中立部312配置在驱动部310-1，进而以手动模式工作。

若如此构成，则驱动部310-1的结构变得简单。

但是，在第二实施例的情况下，在如图12的锁定位置以手动模式工作时，在驱动部310-1内部的流体通过引导连接部件351-1和驱动连接部件311-1、第一连接销324的重量产生的负载起到作用。因此，流体通过出口312a、312b向外部排出，而引导连接部件351-1和驱动连接部件311-1、第一连接销324向下方移动，进而也可出现第一锁定部330和第二锁定部340无法保持锁定状态的情况。据此，在第二实施例的驱动部310-1未配置有具有与外部连通的出口312a、312b的中立部312，而是只以自动模式工作。

参照图13至图15，对本发明的第三实施例的锁定装置300-2进行说明。

在图14中示出了锁定装置300-2为锁定解除位置的情况，在图15示出了锁定装置300-2为锁定位置的情况。另外，可与化学制剂锁定装置300-2一同配置氮气用锁定装置400-2。

所述锁定装置300-2包括提供驱动力的驱动部310-2，与第二实施例相同，通过所述驱动部310-2的驱动引导所述第一连接销324，使所述第一连接销324以上下方向进行直线运动。

所述第一连接销324结合于引导连接部件351-2，所述引导连接部件351-2与驱动连接部件311-2结合成一体，所述驱动连接部件311-2被以上下方向的长度形成的缸体导件312-2引导的同时以上下方向进行直线移动。

在所述引导连接部件351-2形成有手柄351-2a，以在手动模式时使工作人员用手抓握进行移动。

第三实施例的驱动部310-2也与第二实施例的相同，缸体导件312-2具有上下方向的长度，以上下方向进行直线运动。

在第三实施例的情况下，为使自动模式和手动模式的工作都可执行，可配置锁定部件319-2。举一示例，所述锁定部件319-2可由锁定螺母(locknut)构成。

若工作人员松开所述锁定螺母319-2，则气缸内部的流体可向外部排出，因此能够以手动模式工作。另外，若工作人员锁紧锁定螺母319-2，则进行密封，不使气缸内部的流体向外部排出，因此引导连接部件351-2不会因为自重而下降，而是可保持停止在预定的位置的状态，进而能够执行自动模式的工作。

即，工作人员松开锁定螺母319-2，若在图14的锁定解除位置工作人员抓握手柄351-2a向上移动引导连接部件351-2，则处于图15的锁定位置。在该状态下，锁紧所述锁定螺母319-2，进而用于使缸体工作的流体不向外部排出，因此不会因为负载而下降，可保持锁定位置。

第三实施例的驱动部310-2也具有在图9中说明的中立部312，但是在第三实施例的情况下构成为不使流体从所述中立部312向外部排出，在这一点上与第一实施例存在差异。即，在第三实施例的情况下，为防止通过一对出口312a、312b排出流体，电磁阀(未示出)处于锁定(close)状态，由工作人员操作所述锁定螺母319-2可实现手动模式。

从而，第三实施例可选择性操作自动模式和手动模式。

参照图16至图18，对本发明的第四实施例的锁定装置300-3进行说明。

在图17示出了锁定装置300-3为锁定解除位置，在图18示出了锁定装置300-3为锁定位置的情况。

第四实施例的锁定装置300-3包括：驱动部310-3、第一连接部件321-3、引导部350-3、引导连接部件351-3、驱动铰链轴370-3。

所述驱动部310-3由旋转型缸体构成。在所述驱动部310-3连接以驱动铰链轴370-3为旋转中心进行旋转的第一连接部件321-3。在所述第一连接部件321-3的另一侧端部结合所述第一连接销324。

所述第一连接销324与引导连接部件351-3结合成一体，并且所述引导连接部件351-3沿着引导部350-3以上下方向进行直线移动。

在图17的锁定解除位置的状态下，若驱动驱动部310-3，则第一连接部件321-3以驱动铰链轴370-3为旋转中心以顺时针方向进行旋转。另外，第一连接销324和引导连接部件351-3沿着引导部350-3的长度方向向上移动。另外，第一锁定部330以第一锁定部件331为中心进行旋转，第二锁定部340以第二锁定部件341为中心进行旋转，进而变为图18的锁定位置。

若如此构成，则通过简单的结构可实现锁定装置300-3。

在所述第一至第四实施例中，构成为利用一个驱动部310、310-1、310-2、310-3控制两个锁定部330、340的锁定位置和锁定解除位置，但是也可构成为利用两个驱动部分别控制第一锁定部330和第二锁定部340的锁定位置和锁定解除位置。在该情况下，在一个驱动部配置有第一流体供应部313和第二流体供应部314、中立部312，进而使第一锁定部330以自动模式或者手动模式工作，而在另一个驱动部也配置有第一流体供应部313和第二流体供应部314、中立部312，进而可使第二锁定部340以自动模式或者手动模式工作。

如上所述，针对本发明举优选的实施例进行了详细说明，本发明不限于上述的实施例，而是可在权利要求书的范围和发明的详细说明、附图的范围内可实施各种变形，而且这也属于本发明。