1.一种晶圆转换器,其特征在于:包括平台、固定架、分体式推杆和推动装置;所述平台包括初始晶舟放置区和目的晶舟放置区;
所述固定架固定在初始晶舟放置区远离目的晶舟放置区的一端,所述分体式推杆顶部与固定架顶部可拆卸式连接,所述分体式推杆底部可拆卸式连接在所述推动装置的一端,所述推动装置另一端固定在平台上;
所述分体式推杆由多个推杆模块可拆卸式连接组成,最底层的推杆模块和最顶层的推杆模块分别与所述推动装置和固定架可拆卸式连接,推动所述推动装置能够致使所述推杆模块将晶圆由初始晶舟放置区推送至目的晶舟放置区。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述推杆模块包括推杆本体、上扣件和下扣件,所述推杆本体顶部设有上扣件,底部设有下扣件,所述下扣件底部设有能够与上扣件配合且能够让上扣件水平移动的卡槽,相邻的推杆本体之间通过上扣件卡入卡槽与下扣件配合,致使上扣件和下扣件能够可拆卸式固定;
所述固定架顶部设有固定扣件,所述固定扣件底部设有能够与最顶层推杆本体上的上扣件配合且能够让上扣件水平移动的固定卡槽,最顶层推杆本体通过上扣件卡入固定卡槽与固定扣件配合,致使上扣件和固定扣件能够可拆卸式固定;
所述推动装置一端设有推动扣件,所述推动扣件能够与最底层推杆本体上的下扣件上卡槽配合且能够在卡槽内水平移动,最底层推杆本体通过推动扣件卡入卡槽与下扣件配合,致使下扣件和推动扣件能够可拆卸式固定。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述上扣件与下扣件、上扣件与固定扣件以及下扣件与推动扣件均通过固定螺栓连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述推动装置包括伸缩气缸、伸缩杆、连接件和水平支撑板,所述伸缩气缸固定在平台底部,所述伸缩气缸的输出端朝远离目的晶舟放置区的方向设置并连接伸缩杆,所述伸缩杆的端部连接所述连接件一端,所述连接件另一端固定水平支撑板,所述推动扣件固定在所述水平支撑板向初始晶舟放置区方向延伸的一端。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述水平支撑板上还设有滑轨,所述滑轨上设置有能够在所述水平支撑板上水平移动的单片转换装置,推动所述单片转换装置能够致使单个所述推杆模块将单片晶圆由初始晶舟放置区推送至目的晶舟放置区。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述单片转换装置包括移动杆、移动拉手、滑套、限位销、推动杆和推杆吸盘,所述移动杆的底端设有滑槽,所述滑槽与所述滑轨配合,所述移动杆底部一侧还设有移动拉手,通过推动移动拉手能够致使移动杆在所述水平支撑板上水平移动,所述移动杆上设有与推杆模块位置和数量对应的限位孔,所述移动杆上套设能够上下移动的滑套,所述滑套通过限位销固定在移动杆的限位孔上,所述滑套靠近推杆模块的一侧设有推动杆,所述推动杆远离滑套的一端固定有能够吸住所述推杆本体的推杆吸盘。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述平台沿晶圆移动方向的两侧固定有保护挡板。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述保护挡板为透明挡板。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述平台为矩形状平台,沿所述平台底部的四个角端方向均设有支撑腿。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆转换器,其特征在于:所述固定架为门型桥架。