扩散工艺用石英源瓶的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体说的是一种扩散工艺用石英源瓶。

背景技术：

近几年，晶体硅电池技术已成功应用与商业化生产，极大推动了人类享受清洁能源的进程。晶体硅电池的pn结为其工作的核心，当光照射在该pn结上时，会发生所谓光生伏打效应，产生光生电动势及光生电流供给与负载。发射电极的设计对于提高晶体硅电池的效率具有重要意义，太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下，向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积pn结。目前行业内普遍采用的是气体携带液态磷源扩散的方法。即将气体通入装有液体的石英源瓶，湿润后携带磷源蒸气通入扩散炉中。

由于现有的石英源瓶内部的氮气源利用率较低，且氮气的气态扩散源的均匀程度也较差，影响扩散工序的工作效率，为此，我们提出一种散工艺用石英源瓶，显得尤为重要。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型目的是提供一种扩散工艺用石英源瓶。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：扩散工艺用石英源瓶，包括石英源瓶、进气管、第一阀门、出气管、第二阀门、半透膜框、第一导气管、补气罐、补气管、支撑底座以及第二导气管，所述进气管的一端位于所述石英源瓶的上部，所述进气管的另一端位于所述石英源瓶的内部且靠近所述石英源瓶的底部，所述第一阀门设置于进气管的顶端，所述出气管的一端位于所述石英源瓶的上部，所述出气管的另一端位于所述石英源瓶的内部且靠近所述石英源瓶的底部，所述第二阀门设置于出气管的顶端，所述半透膜框设置于石英源瓶的内部，且所述半透膜框位于进气管、出气管之间，所述补气罐通过第一导气管、第二导气管与石英源瓶连接，所述补气管设置于补气罐的顶部，所述支撑底座设置于补气罐的底部。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一阀门设置为进气控制阀。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第二阀门设置为出气控制阀。

作为本实用新型再进一步的方案：所述半透膜框包括固定框架、连接板，所述固定框架设置于半透膜框的四边的外侧，所述连接板设置的数量为二个，且所述连接板分别设置于半透膜框两侧的下部。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一导气管、第二导气管均设置有导气泵。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑底座的底面拐角处均设置有橡胶垫。

本实用新型的有益效果：

一、该种扩散工艺用石英源瓶设置有内部氮气源补气，不仅能够保证石英源瓶的正常运作，而且有效增强氮气的气态扩散源的均匀程度，提高扩散工序的工作效率。

二、该种扩散工艺用石英源瓶的内部设置有半透膜框结构，有利于透过氮气连接或直接通过管道连接到扩散源使用场所，有效提高石英源瓶内部的氮气源利用率。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型工作状态下的结构示意图；

图3为本实用新型半透膜框的结构示意图。

图中：1石英源瓶、2进气管、3第一阀门、4出气管、5第二阀门、6半透膜框、61固定框架、62连接板、7第一导气管、8补气罐、9补气管、10支撑底座、11第二导气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，扩散工艺用石英源瓶，包括石英源瓶1、进气管2、第一阀门3、出气管4、第二阀门5、半透膜框6、第一导气管7、补气罐8、补气管9、支撑底座10以及第二导气管11，进气管2的一端位于石英源瓶1的上部，进气管2的另一端位于石英源瓶1的内部且靠近石英源瓶1的底部，第一阀门3设置于进气管2的顶端，出气管4的一端位于石英源瓶1的上部，出气管4的另一端位于石英源瓶1的内部且靠近石英源瓶1的底部，第二阀门5设置于出气管4的顶端，半透膜框6设置于石英源瓶1的内部，且半透膜框6位于进气管2、出气管4之间，补气罐8通过第一导气管7、第二导气管11与石英源瓶1连接，补气管9设置于补气罐8的顶部，支撑底座10设置于补气罐8的底部。

本实用新型中：

优选地是，第一阀门3设置为进气控制阀，利用进气控制阀控制进气管2的进气。

优选地是，第二阀门5设置为出气控制阀，利用出气控制阀控制出气管4的出气。

优选地是，半透膜框6包括固定框架61、连接板62，固定框架61设置于半透膜框6的四边的外侧，连接板62设置的数量为二个，且连接板62分别设置于半透膜框6两侧的下部，通过连接板62将半透膜框6固定于石英源瓶1的内部，利用半透明渗透原理进行氮气的过滤，有效提高石英源瓶内部的氮气源利用率。

优选地是，第一导气管7、第二导气管11均设置有导气泵，利用导气泵便于补气的导气使用。

优选地是，支撑底座10的底面拐角处均设置有橡胶垫，可防止补气罐8的安装滑动。

本实用新型的工作原理是：使用时，打开第二阀门5控制出气管4出气，打开第一阀门3控制进气管2进气，从而利用石英源瓶1进行扩散工艺，随着扩散的进行，使得扩散能够稳定地进行，当供液源瓶内的源液用尽时，只需通过第一导气管7、第二导气管11利用补气罐8补充氮气即可，避免了现有的换源操作，保证均匀扩散气态源。本实用新型置有内部氮气源补气，不仅能够保证石英源瓶的正常运作，而且有效增强氮气的气态扩散源的均匀程度，提高扩散工序的工作效率，其设置有半透膜框结构，有利于透过氮气连接或直接通过管道连接到扩散源使用场所，有效提高石英源瓶内部的氮气源利用率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.扩散工艺用石英源瓶，包括石英源瓶(1)、进气管(2)、第一阀门(3)、出气管(4)、第二阀门(5)、半透膜框(6)、第一导气管(7)、补气罐(8)、补气管(9)、支撑底座(10)以及第二导气管(11)，其特征在于：所述进气管(2)的一端位于所述石英源瓶(1)的上部，所述进气管(2)的另一端位于所述石英源瓶(1)的内部且靠近所述石英源瓶(1)的底部，所述第一阀门(3)设置于进气管(2)的顶端，所述出气管(4)的一端位于所述石英源瓶(1)的上部，所述出气管(4)的另一端位于所述石英源瓶(1)的内部且靠近所述石英源瓶(1)的底部，所述第二阀门(5)设置于出气管(4)的顶端，所述半透膜框(6)设置于石英源瓶(1)的内部，且所述半透膜框(6)位于进气管(2)、出气管(4)之间，所述补气罐(8)通过第一导气管(7)、第二导气管(11)与石英源瓶(1)连接，所述补气管(9)设置于补气罐(8)的顶部，所述支撑底座(10)设置于补气罐(8)的底部。

2.根据权利要求1所述的扩散工艺用石英源瓶，其特征在于：所述第一阀门(3)设置为进气控制阀。

3.根据权利要求1所述的扩散工艺用石英源瓶，其特征在于：所述第二阀门(5)设置为出气控制阀。

4.根据权利要求1所述的扩散工艺用石英源瓶，其特征在于：所述半透膜框(6)包括固定框架(61)、连接板(62)，所述固定框架(61)设置于半透膜框(6)的四边的外侧，所述连接板(62)设置的数量为二个，且所述连接板(62)分别设置于半透膜框(6)两侧的下部。

5.根据权利要求1所述的扩散工艺用石英源瓶，其特征在于：所述第一导气管(7)、第二导气管(11)均设置有导气泵。

6.根据权利要求1所述的扩散工艺用石英源瓶，其特征在于：所述支撑底座(10)的底面拐角处均设置有橡胶垫。

技术总结
本实用新型公开了一种扩散工艺用石英源瓶，包括石英源瓶、进气管、第一阀门、出气管、第二阀门、半透膜框、第一导气管、补气罐、补气管、支撑底座与第二导气管，进气管的一端位于石英源瓶的上部，进气管的另一端位于石英源瓶的内部且靠近石英源瓶的底部，第一阀门设置于进气管的顶端，出气管的一端位于石英源瓶的上部，出气管的另一端位于石英源瓶的内部且靠近石英源瓶的底部，第二阀门设置于出气管的顶端，半透膜框设置于石英源瓶的内部，补气罐通过第一导气管、第二导气管与石英源瓶连接，补气管设置于补气罐的顶部，支撑底座设置于补气罐的底部。本实用新型有效增强氮气的气态扩散源的均匀程度，提高扩散工序的工作效率。

技术研发人员：兰锋
受保护的技术使用者：浙江泓芯半导体有限公司
技术研发日：2020.08.18
技术公布日：2021.07.27