一种硅晶片篮倒换的装置的制作方法

文档序号:26080362发布日期:2021-07-30 13:30阅读:56来源:国知局
一种硅晶片篮倒换的装置的制作方法

本实用新型与硅晶片清洗制程工艺有关;具体设计一种用于硅晶片转移篮与接收篮之间倒换的装置。



背景技术:

当今社会已经进入电子时代,半导体行业正处于相对成熟的阶段,单晶硅材料是半导体工业的基础,以硅材料为主的材料得到广泛的应用,同时具有其他优势的半导体材料也在被开发利用中。本行业是技术和资金高密集型性行业,竞争也尤为激烈。

半导体硅晶圆,是电子信息材料中最基础性材料。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,半导体用硅晶圆年平均增长率连年增加。目前国内集成电路用硅晶圆的生产能力远不能满足国内需求,在世界范围内也存在供货缺口。为配合市场发展方向及提升公司营业获利,需不断提升公司的生产效率和产品的良率,从而提高公司在市场中竞争力。

硅晶片在一系列加工过程中,由于物理或化学吸附作用,可能使硅晶片表面收到某些有机物、金属离子、灰尘、颗粒的沾污,必须通过清洗去除这些可能的沾污,才能得到合格的产品。因为硅晶片清洗制程工艺存在多种方式,清洗制程工艺中使用的清洗剂具有多样性,所以清洗硅晶片时需根据不同的清洗方式和不同的清洗药剂,使用不同的硅晶片篮;另根据硅晶片的不同状态及硅晶片加工的不同方式,来调整使用的硅晶片篮。一般对硅晶片篮转换采取的方式为人工操作,将硅晶片转移篮通过肉眼校准的方式对准硅晶片接收篮,工人人为操作将硅晶片从转移篮转换至接收篮,操作过程中会出现硅晶片错位、硅晶片污染、硅晶片刮伤等异常状况,从而影响产品的质量及产品的良率;且人工操作校准硅晶片篮转换位置的效率低及错误率高,从而影响产品的产量。最终影响产品在半导体硅晶片市场行业的竞争能力。



技术实现要素:

为了改善上述情况,本实用新型的目的在于提供一种硅晶片篮倒换的装置,用来进行硅晶片转移篮与接收篮之间的转换,提高硅晶片在硅晶片篮中转换后位置的准确性,提高硅晶片篮之间的转换效率,减少硅晶片表面的损伤。

本实用新型所采用的技术方案:所述装置包括一底座、一立板、一推架、一移动块及一凹槽装置。所述底座用以放置立板、推架、移动块及凹槽装置;所述立板用螺丝将其固定在底座的头部位置,并用螺丝将其与推架固定连接;所述推架用以放置转移篮,并为转移篮与接收篮之间的转换提供支撑力;所述移动块放置在底座的凹槽装置中,可固定接收篮,并通过滑动移动块将接收篮滑动至转移篮处,转移篮借助推架的支撑力,使得其中转移篮中的硅晶片转换至接收篮中;所述凹槽装置设置在该装置的底座上,凹槽装置为移动块提供滑行轨道。因此,当硅晶片篮之间需相互转换时,可使用该装置进行硅晶片篮倒换,可提高硅晶片转移篮与接收篮之间转换的效率并减少硅晶片的损伤,从而提高产品的良率和生产效率。

本实用新型所采用的技术方案:晶片倒篮转换装置有一立板,用螺丝将其固定在底座之上,并用螺丝将其与推架连接固定,为推架提供支撑力;

本实用新型所采用的技术方案:硅晶片篮倒换的装置有一推架,推架与底座保留一定缝隙,用以固定硅晶片转移篮,并为硅晶片转移篮与接收篮之间的转换提供支撑力;

本实用新型所采用的技术方案:硅晶片篮倒换的装置有一移动块,移动块的一侧设置一凹槽,用来放置硅晶片接收篮,将移动块放置于底座的凹槽装置处,通过滑动移动块可将硅晶片接收篮移动至硅晶片转移篮处,并借助推架完成硅晶片篮之间的相互转换;

本实用新型所采用的技术方案:硅晶片篮倒换的装置有一凹槽装置,该凹槽装置有一底板及一卡槽,卡槽用以放置移动块,底板用以固定移动块在底座上;

本实用新型所采用的技术方案:硅晶片篮倒换的装置有一凹槽装置为移动硅晶片篮的轨道,固定硅晶片篮的移动轨迹,防止发生错位。

基于上述,本实用新型的优点与特点是在操作简便,并且使得硅晶片篮转换时保持硅晶片位置的准确性,提高硅晶片篮之间转换的效率,并且减少硅晶片表面刮伤。

附图说明

图1为硅晶片篮倒换的装置的正视图。

图2为硅晶片篮倒换的装置的侧视图。

图3为硅晶片篮倒换的装置的俯视图。

图4为硅晶片篮倒换的装置中移动块的俯视图。

图5为硅晶片篮倒换的装置中移动块的正视图。

图6为硅晶片篮倒换的装置中移动块的侧视图。

附图标号说明:

1立板

2推架

3凹槽装置

4底座

5移动块

6卡槽

7底板

8螺丝

9底板螺丝

具体实施方式

半导体硅晶片在不同制程工艺中,会使用到不同的硅晶片篮,因此需进行硅晶片篮之间的相互转换,使用对应制程工艺的硅晶片篮。本实用新型结合硅晶片生产制程工艺需要,对现有硅晶片篮转换方式进行改进,由原来人工将硅晶片转移篮通过肉眼校准的方式对准硅晶片接收篮,工人人为操作将硅晶片从转移篮转换至接收篮,操作过程中会出现硅晶片错位、硅晶片污染、硅晶片刮伤等异常状况,倒换时易发生失误,且人工转换效率低及硅晶片位置准确性差,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

所述装置有一转换底座4,用来承载立板1、推架2、移动块5,并在中间部位设置一凹槽装置3;

所述装置有一立板1,用螺丝8将其固定在底座4之上,并用螺丝8将其与推架2连接固定,为推架2提供支撑力;

所述装置有一推架2,推架2与底座4保留一定缝隙,留有的缝隙可卡住硅晶片转移篮,从而固定硅晶片转移篮的位置,通过推架2为硅晶片转移篮与接收篮之间的转换提供支撑力;

所述装置有一移动块5,移动块的一侧设置一凹槽,用来卡住硅晶片接收篮,可固定硅晶片接收篮的位置,将移动块5放置于底座4的凹槽装置3处,通过滑动在凹槽装置3上的移动块5,可将卡在移动块5凹槽上的硅晶片接收篮沿着凹槽装置3移动至固定在推架2处的硅晶片转移篮处,并借助推架2的支撑力完成硅晶片在转移篮与接收篮之间的相互转换;

所述装置有一凹槽装置3,有一底板7、底板螺丝9及一卡槽6,卡槽6用以放置移动块5,底板7通过底板螺丝9将移动块5固定在底座4上,凹槽装置3为移动硅晶片篮提供的滑行轨道,并固定硅晶片篮的移动轨迹不发生偏移,从而防止硅晶片在转移篮与接收篮转换时发生错位;

本实用新型的硅晶片篮倒换的装置结合现有工艺需要,解决了现有硅晶片篮之间转换效率低及硅晶片转换位置准确性差等问题,由于硅晶片篮转换次数多,该硅晶片篮倒换的装置可用于各制程站别,使用程度高;同时还具有使用便捷的优点,避免了因为晶片转换而出现的损伤,提高了晶片篮转换的效率和晶片良率。



技术特征:

1.一种硅晶片篮倒换的装置,用于硅晶片转移篮与接收篮之间的相互转换,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置包括:

一底座,承载立板、推架、移动块及凹槽装置;

一立板,用螺丝将其固定于底座的头部位置;

一推架,用螺丝将其与立板连接;

一移动块,放置于底座的凹槽装置中,用以固定硅晶片接收篮,并进行硅晶片篮之间的倒篮转换;

一凹槽装置,设置于底座上,包含一底板及一卡槽,用以放置移动块并为移动块提供滑行轨道。

2.如权利要求1所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一转换底座,用来承载立板、推架、移动块,并设置一凹槽装置。

3.如权利要求1所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一立板,用螺丝将其固定在底座之上,并用螺丝将其与推架连接固定。

4.如权利要求1所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一推架,推架与底座保留一定缝隙,用以固定硅晶片转移篮,并为硅晶片转移篮与接收篮之间的转换提供支撑力。

5.如权利要求1所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一移动块,移动块的一侧设置一凹槽,用来放置硅晶片接收篮。

6.如权利要求5所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一移动块,将移动块放置于底座的凹槽装置处,通过滑动移动块可将硅晶片接收篮移动至硅晶片转移篮处,并借助推架完成硅晶片篮之间的相互转换。

7.如权利要求1所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一凹槽装置,该凹槽装置有一底板及一卡槽,卡槽用以放置移动块,底板用以固定移动块在底座上。

8.如权利要求7所述的一种硅晶片篮倒换的装置,其特征在于,所述硅晶片篮倒换的装置有一凹槽装置,凹槽装置为移动硅晶片篮的轨道,固定硅晶片篮的移动轨迹,防止发生错位。


技术总结
本实用新型提供一种硅晶片篮倒换的装置,用以硅晶片转移篮与接收篮之间的倒换。所述装置包括一底座、一立板、一推架、一移动块及一凹槽装置。所述底座用以放置立板、推架、移动块及凹槽装置;所述立板用螺丝将其固定在底座的头部位置,并用螺丝将其与推架固定连接;所述推架用以放置转移篮,并为转移篮与接收篮之间的转换提供支撑力;所述移动块放置在底座的凹槽装置中,可固定接收篮,并通过滑动移动块将接收篮滑动至转移篮处,转移篮借助推架的支撑力,使得其中转移篮中的硅晶片转换至接收篮中;所述凹槽装置设置在该装置的底座上,凹槽装置为移动块提供滑行轨道。因此,当硅晶片篮之间需相互转换时,可使用该装置进行硅晶片篮倒换,可提高硅晶片转移篮与接收篮之间转换的效率并减少硅晶片的损伤,从而提高产品的良率和生产效率。

技术研发人员:李汉生;蔡雪良;黄建光;王帅
受保护的技术使用者:昆山中辰矽晶有限公司
技术研发日:2020.11.02
技术公布日:2021.07.30
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