一种用于硅片处理的掰片装置的制作方法

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片处理的掰片装置。

背景技术：

硅片广泛应用于半导体行业和微电子技术领域，是一种非常可靠的半导体材料，在生产过程中需要将整块硅片分割成多块小硅片，传统的主要使用切割装置或掰片机来对其进行分割。

而在一些小型的试验中，如果使用掰片机来对硅片进行分割的话，其成本相对会比较高，造成了浪费，但如果直接手动对硅片进行掰片的话操作起来比较麻烦，且在掰片的过程中容易导致硅片出现损坏，为此我们提出了一种用于硅片处理的掰片装置。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片处理的掰片装置，具备便于对硅片进行掰片，且在掰片的过程中容易导致硅片出现损坏等优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片处理的掰片装置，包括工作台，所述工作台的内顶部开设有活动腔，所述活动腔的内底壁固定连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸的顶端固定连接有升降板，所述升降板与活动腔的内部活动连接，所述升降板的两侧均固定连接有支撑管，所述支撑管的顶端设置有支撑机构，所述工作台的顶部固定连接有凸起结构。

所述支撑机构包括有两个支撑块、弹性支撑片和限位滑杆，位于底部的支撑块的底部与支撑管的顶端固定连接，所述弹性支撑片的两端分别与两个所述支撑块相对的一侧固定连接，所述限位滑杆的顶端与顶部所述支撑块的底部固定连接，所述限位滑杆的底端与底部所述支撑块的内部活动连接。

所述工作台的侧表面活动连接有活动支架，所述活动支架的内部活动插接有活动推杆，所述活动推杆的顶端固定连接有活动推块，所述活动推杆的底端固定连接有压板，所述活动推块的底部固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的底端与活动支架的顶部固定连接。

优选的，所述活动腔内底壁的两侧均固定连接有固定柱，所述支撑管的底端与固定柱的侧表面活动套接。

优选的，所述活动支架两侧的内壁均活动连接有滑轮，所述工作台的内部开设有滑槽，所述滑轮与滑槽的内部活动连接。

优选的，所述活动推杆的底端贯穿活动支架的顶部并延伸至活动支架的内部，所述压板与活动支架的内部活动连接。

优选的，所述压板包括有硅胶垫，所述硅胶垫的顶部与压板的底部固定连接。

优选的，两个所述支撑块之间固定设置有保护套，所述弹性支撑片和限位滑杆均位于支撑块的内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片处理的掰片装置，具备以下有益效果：

1、该用于硅片处理的掰片装置，通过将硅片放置到支撑机构的顶部，然后用硅片刀在上面刮出痕迹，再将刮痕的位置移动到凸起结构的正上方，左右移动两个活动支架，使其移动到硅片的两侧，再通过伸缩气缸带动升降板向下移动，使得支撑管和支撑机构向下移动，然后再向下按压活动推块，使得压板向下移动，通过两个压板的压力来对硅片进行掰片操作，通过硅胶垫的作用，可以对掰片的位置进行防护，防止装置在掰片的过程中出现损坏。

2、该用于硅片处理的掰片装置，通过设置有支撑管，支撑管的顶部设置有支撑机构，通过支撑机构的作用，可以对硅片的底部进行支撑，在支撑机构内部弹性支撑片的弹力作用下，可以对硅片进行支撑的同时，也可以对硅片的底部进行支撑，防止在支撑的过程中对硅片的底部造成损坏。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型活动支架结构示意图；

图3为本实用新型图1中a处结构放大图。

其中：1、工作台；2、活动腔；3、伸缩气缸；4、升降板；5、固定柱；6、支撑管；7、凸起结构；8、活动支架；9、活动推杆；10、活动推块；1101、支撑块；1102、弹性支撑片；1103、限位滑杆；1104、保护套；12、滑轮；13、滑槽；14、压板；15、伸缩弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种用于硅片处理的掰片装置，包括工作台1，工作台1的内顶部开设有活动腔2，活动腔2的内底壁固定连接有伸缩气缸3，伸缩气缸3的顶端固定连接有升降板4，升降板4与活动腔2的内部活动连接，活动腔2内底壁的两侧均固定连接有固定柱5，支撑管6的底端与固定柱5的侧表面活动套接，升降板4的两侧均固定连接有支撑管6，支撑管6的顶端设置有支撑机构，工作台1的顶部固定连接有凸起结构7，当支撑管6收缩到活动腔2的内部后，通过凸起结构7的作用对硅片的刮痕位置处进行支撑，然后再便于手动进行掰片操作。

支撑机构包括有两个支撑块1101、弹性支撑片1102和限位滑杆1103，位于底部的支撑块1101的底部与支撑管6的顶端固定连接，弹性支撑片1102的两端分别与两个支撑块1101相对的一侧固定连接，限位滑杆1103的顶端与顶部支撑块1101的底部固定连接，限位滑杆1103的底端与底部支撑块1101的内部活动连接，两个支撑块1101之间固定设置有保护套1104，弹性支撑片1102和限位滑杆1103均位于支撑块1101的内部，通过保护套1104的作用，可以对其内部的弹性支撑片1102和限位滑杆1103进行防护。

工作台1的侧表面活动连接有活动支架8，活动支架8的内部活动插接有活动推杆9，活动推杆9的顶端固定连接有活动推块10，活动支架8两侧的内壁均活动连接有滑轮12，工作台1的内部开设有滑槽13，滑轮12与滑槽13的内部活动连接，活动推杆9的底端贯穿活动支架8的顶部并延伸至活动支架8的内部，压板14与活动支架8的内部活动连接，活动推杆9的底端固定连接有压板14，压板14包括有硅胶垫，硅胶垫的顶部与压板14的底部固定连接，通过硅胶垫的作用，可以对压板14与硅片的连接处进行防护，活动推块10的底部固定连接有伸缩弹簧15，伸缩弹簧15的底端与活动支架8的顶部固定连接。

在使用时，将硅片放置到支撑机构的顶部，然后用硅片刀在上面刮出痕迹，再将刮痕的位置移动到凸起结构7的正上方，接着左右移动两个活动支架8，使活动支架8移动到硅片的两侧，再通过伸缩气缸3带动升降板4向下移动，使得支撑管6和支撑机构向下移动，然后再向下按压活动推块10，使得压板14向下移动，通过两个压板14的压力来对硅片的两侧形成挤压，然后硅片的刮痕位置位于凸起结构7的正上方，以此来进行掰片操作，在掰片的过程中通过硅胶垫的作用，可以对压板14与硅片的连接处进行防护，防止压板14的刚性结构直接与硅片接触而导致硅片出现损坏。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。