一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机及其使用方法与流程

本发明涉及集成电路技术领域，具体为一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机。

背景技术：

等离子刻蚀机，等离子刻蚀刻蚀，是干法刻蚀干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻蚀刻表面，虽然现有的刻蚀机可以实现对集成电路的加工，但存在现有的刻蚀机进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的存在现有的刻蚀机进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体，所述箱体的底部四角均固接有底座，所述箱体的内壁间隙配合有横板，所述横板的顶部贴合有刻蚀机，所述箱体的内壁设有保护机构；

所述保护机构包括第一竖杆、第二竖杆、第一弹簧、斜块、第一滑轮、第一横杆、第二横杆和第二弹簧；

两个所述第一竖杆分别固接于箱体的内壁底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第二竖杆，所述第二竖杆的外壁与第一竖杆的内壁间隙配合，两个所述第二竖杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第一竖杆的内壁设有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固接于第一竖杆的内壁，所述第一弹簧的另一端固接于第二竖杆的外壁，所述第一竖杆的一端设有斜块，所述斜块的一端与第一竖杆的一端固接在一起，所述斜块的顶部贴合有第一滑轮，所述第一滑轮的外壁设有第一横杆，所述第一横杆通过连接轴与第一滑轮转动相连，所述第一横杆的外壁间隙配合有第二横杆，两个所述第二横杆分别固接于横板的底部左右两侧，所述第二横杆的内壁设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固接于第二横杆的内壁，所述第二弹簧的另一端固接于第一横杆的外壁。

优选的，所述第一竖杆的内壁和第二竖杆的外壁之间的间隙为0.5-1mm。

优选的，所述横板的底部设有增强机构；

所述增强机构包括支杆、第二滑轮和第一拉簧；

两个所述支杆设于横板的底部，两个所述支杆通过连接轴与横板转动相连，两个所述支杆的底部均设有第二滑轮，两个所述第二滑轮分别通过连接轴与支杆转动相连，两个所述第二滑轮的外壁与箱体的内壁底部相贴合，两个所述支杆的外壁固接有第一拉簧。

优选的，两个所述第一竖杆关于横板轴对称分布。

优选的，所述横板的顶部设有固定机构；

所述固定机构包括第一杆体、板体、第二拉簧、第二杆体、第三杆体和手柄；

两个所述第一杆体分别设于横板的顶部左右两侧，两个所述第一杆体均通过连接轴与横板转动相连，所述第一杆体的一端固接有第二拉簧，所述第二拉簧的底部固接于横板的顶部，两个所述第一杆体的顶部均固接有板体，两个所述板体分别与刻蚀机的外壁左右两侧相贴合，两个所述第一杆体的外壁一端均设有第二杆体，所述第二杆体通过连接轴与第一杆体转动相连，所述第二杆体的外壁一端设有第三杆体，所述第三杆体通过连接轴与第二杆体转动相连，所述第三杆体通过连接轴与横板转动相连，两个所述第三杆体的外壁均设有手柄，两个所述手柄的内壁分别与两个第三杆体的外壁套接在一起。

优选的，所述板体与刻蚀机贴合处固接有橡胶垫。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构科学合理，使用安全方便。

该具有限位机构的集成电路用刻蚀机，通过第一竖杆、第二竖杆、第一弹簧、斜块、第一滑轮、第一横杆、第二弹簧、支杆、第二滑轮和第一拉簧之间的配合，使得当刻蚀机进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板，并通过横板的震动，使得横板带动第二竖杆在第一竖杆的内壁进行升降运动，同时，横板带动第二横杆进行升降运动，使得第二横杆带动第一横杆和第一滑轮与斜块进行接触，使得第一横杆在第二横杆的内壁进行左右移动，两个支杆受到横板的震动，使得两个支杆通过第二滑轮进行张合，使得第一弹簧、第二弹簧和第一拉簧进行压缩，进而对刻蚀机进行缓冲，避免刻蚀机进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动。

通过第一杆体、第二杆体、板体、第二拉簧、第三杆体和手柄之间的配合，使得通过第二拉簧给予第一杆体带动板体对刻蚀机进行抵紧固定贴合，使得刻蚀机可稳定的放置在横板的顶部，提高放置稳定性。

附图说明

图1为本发明连接关系示意图；

图2为图1中箱体、横板和第一竖杆的结构示意图；

图3为图1中第一竖杆、第一弹簧和斜块的结构示意图；

图4为图1中第一横杆、第二横杆和第二通暗黄的结构示意图；

图5为图1中箱体、支杆和第一拉簧的结构示意图；

图6为图1中第一杆体、板体和第二杆体的结构示意图。

图中：1、箱体，2、底座，3、横板，4、刻蚀机，5、保护机构，501、第一竖杆，502、第二竖杆，503、第一弹簧，504、斜块，505、第一滑轮，506、第一横杆，507、第二横杆，508、第二弹簧，6、增强机构，601、支杆，602、第二滑轮，603、第一拉簧，7、固定机构，701、第一杆体，702、板体，703、第二拉簧，704、第二杆体，705、第三杆体，706、手柄。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种具有限位机构的集成电路用刻蚀机，包括箱体1，箱体1的底部四角均固接有底座2，箱体1的内壁间隙配合有横板3，横板3的顶部贴合有刻蚀机4，刻蚀机4的型号为rie-202ipc，箱体1的内壁设有保护机构5，保护机构5包括第一竖杆501、第二竖杆502、第一弹簧503、斜块504、第一滑轮505、第一横杆506、第二横杆507和第二弹簧508，两个第一竖杆501分别固接于箱体1的内壁底部左右两侧，第一竖杆501的内壁设有第二竖杆502，使得第二竖杆502可在第一竖杆501的内壁进行升降运动，第二竖杆502的外壁与第一竖杆501的内壁间隙配合，两个第二竖杆502分别固接于横板3的底部左右两侧，第一竖杆501的内壁设有第一弹簧503，第一弹簧503给予第二竖杆502向上移动的力，第一弹簧503的一端固接于第一竖杆501的内壁，第一弹簧503的另一端固接于第二竖杆502的外壁，第一竖杆501的一端设有斜块504，斜块504的一端与第一竖杆501的一端固接在一起，斜块504的顶部贴合有第一滑轮505，第一滑轮505的外壁设有第一横杆506，第一横杆506通过连接轴与第一滑轮505转动相连，第一横杆506的外壁间隙配合有第二横杆507，使得第一横杆506可在第二横杆507的内壁进行左右移动，两个第二横杆507分别固接于横板3的底部左右两侧，第二横杆507的内壁设有第二弹簧508，第二弹簧508给予第一横杆506移出第二横杆507内壁的力，第二弹簧508的一端固接于第二横杆507的内壁，第二弹簧508的另一端固接于第一横杆506的外壁，第一竖杆501的内壁和第二竖杆502的外壁之间的间隙为0.5-1mm，使得第二竖杆502可在第一竖杆501的内壁进行稳定的升降运动；

横板3的底部设有增强机构6，增强机构6包括支杆601、第二滑轮602和第一拉簧603，两个支杆601设于横板3的底部，两个支杆601通过连接轴与横板3转动相连，使得支杆601可在横板3处进行转动，两个支杆601的底部均设有第二滑轮602，两个第二滑轮602分别通过连接轴与支杆601转动相连，两个第二滑轮602的外壁与箱体1的内壁底部相贴合，使得第二滑轮602可在箱体1的内壁底部进行左右移动，两个支杆601的外壁固接有第一拉簧603，第一拉簧603给予两个支杆601进行合拢的力，两个第一竖杆501关于横板3轴对称分布，使得两个第一杆体701可带动第二滑轮602带动横板3进行稳定的升降运动；

横板3的顶部设有固定机构7，固定机构7包括第一杆体701、板体702、第二拉簧703、第二杆体704、第三杆体705和手柄706，两个第一杆体701分别设于横板3的顶部左右两侧，两个第一杆体701均通过连接轴与横板3转动相连，第一杆体701的一端固接有第二拉簧703，第二拉簧703给予第一杆体701带动板体702与刻蚀机4进行的贴合之间的力，第二拉簧703的底部固接于横板3的顶部，两个第一杆体701的顶部均固接有板体702，两个板体702分别与刻蚀机4的外壁左右两侧相贴合，两个第一杆体701的外壁一端均设有第二杆体704，第二杆体704通过连接轴与第一杆体701转动相连，第二杆体704的外壁一端设有第三杆体705，第三杆体705通过连接轴与第二杆体704转动相连，使得第三杆体705可带动第二杆体704进行转动，进而使得得让杆体704可带动第一杆体701进行转动，第三杆体705通过连接轴与横板3转动相连，两个第三杆体705的外壁均设有手柄706，手柄706用于带动第三杆体705进行转动，两个手柄706的内壁分别与两个第三杆体705的外壁套接在一起，板体702与刻蚀机4贴合处固接有橡胶垫，橡胶垫用于增加板体702和刻蚀机4之间的接触摩擦力。

当使用该具有限位机构的集成电路用刻蚀机时，当刻蚀机4进行工作产生震动时，会将震动力传递至横板3，并通过横板3的震动，使得横板3带动第二竖杆502在第一竖杆501的内壁进行升降运动，同时，横板3带动第二横杆507进行升降运动，使得第二横杆507带动第一横杆506和第一滑轮505与斜块504进行接触，使得第一横杆506在第二横杆507的内壁进行左右移动，两个支杆601受到横板3的震动，使得两个支杆601通过第二滑轮602进行张合，使得第一弹簧503、第二弹簧508和第一拉簧603进行压缩，进而对刻蚀机4进行缓冲，避免刻蚀机4进行工作时，会产生震动，可能会造成移动或内部零件长时间受到震动，损坏或松动，并通过第二拉簧703给予第一杆体701带动板体702对刻蚀机4进行抵紧固定贴合，使得刻蚀机4可稳定的放置在横板3的顶部，提高放置稳定性。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。