一种基板处理装置及基板处理方法与流程

本发明涉及基板处理技术领域，更具体的说是一种基板处理装置及基板处理方法。

背景技术：

例如公开号cn1856392b包括：一对相向设置的划线形成装置；一对划线设备，用于支撑该对划线形成装置，使得该对划线形成装置的其中一个在一基板的第一表面上沿x轴方向移动，而该对划线形成装置中的另一个在该基板的第二表面上沿x轴方向移动；一划线设备导引体，用于支持该对划线设备，使得该对划线设备沿y轴方向移动；一基板支撑装置，用于在x-y平面内支撑该基板，使得该对划线形成装置刻划该基板的第一表面和该基板的第二表面；该发明的缺点是不能在基板切割后自动去掉边角料。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种基板处理装置及基板处理方法，能在基板切割后自动去掉边角料。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

一种基板处理装置，包括脱离机构和去边机构，所述脱离机构包括脱离转板、脱离转杆、脱离滑杆、脱离连接杆、脱离转杆ⅱ和脱离带轮轴，脱离转杆的上端转动连接在脱离转板的下端，脱离转杆的下端转动连接在脱离滑杆的左端，脱离连接杆滑动连接在脱离滑杆的右端，脱离连接杆和脱离滑杆通过弹簧连接，脱离转杆ⅱ的左端转动连接在脱离连接杆的右端，脱离转杆ⅱ的右端固定连接在脱离带轮轴上，去边机构包括去边框架。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述去边机构还包括去边电机、去边转杆和去边转杆ⅱ，去边转杆固定连接在去边电机的输出轴上，去边转杆ⅱ的右端转动连接在去边转杆的右端，去边转杆ⅱ的左端转动连接在去边框架的右端。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述一种基板处理装置还包括平台机构，平台机构包括平台支架、平台侧挡杆、平台斜板和平台传送带，两个平台侧挡杆均固定连接在平台支架上，平台斜板的右端设有一个缺口，平台斜板固定连接在平台支架的下端，平台传送带固定连接在平台支架上，脱离转杆ⅱ转动连接在平台支架的下端，去边电机固定连接在平台支架的下端，去边转杆转动连接在平台支架上，去边框架滑动连接在两个平台侧挡杆之间。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述一种基板处理装置还包括支撑机构，支撑机构包括支撑连接板、支撑液压杆、支撑支架、除尘电机、除尘风扇和除尘防护罩，支撑连接板固定连接在支撑液压杆的上端，支撑液压杆的下端固定连接在支撑支架上，除尘电机固定连接在支撑支架上，除尘风扇固定连接在除尘电机的输出轴上，除尘防护罩固定连接在支撑支架上，脱离转板转动连接在支撑连接板上，脱离滑杆滑动连接在支撑连接板上，脱离连接杆滑动连接在支撑连接板上，平台支架固定连接在支撑支架上。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述一种基板处理装置还包括震动机构，震动机构包括震动滤孔板、震动滑板、震动转杆和震动电机，多个震动滑板均固定连接在震动滤孔板上，多个震动滑板上均设有滑槽，多个震动转杆分别滑动连接在多个震动滑板上，左端的两个震动转杆分别固定连接在两个震动电机的输出轴上，前后两端的两个震动转杆分别通过皮带传动。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述一种基板处理装置还包括阻挡机构，阻挡机构包括阻挡板、阻挡滑杆、阻挡轨道和阻挡转动杆，阻挡滑杆固定连接在阻挡板上，两个阻挡轨道上均设有滑槽，阻挡滑杆滑动连接在两个阻挡轨道上，两个阻挡转动杆上均设有滑槽，阻挡轨道滑动连接在两个阻挡转动杆上，脱离带轮轴和两个阻挡转动杆通过皮带传动。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述一种基板处理装置还包括防尘机构，防尘机构包括防尘门框和防尘箱，防尘门框上设有一个挡板槽，防尘箱上设有多个滑槽，防尘箱的右端设有一个通料孔，震动滤孔板滑动连接在防尘箱内，多个震动转杆均转动连接在防尘箱上，两个震动电机均固定连接在防尘箱上，两个阻挡轨道均固定连接在防尘门框上，两个阻挡转动杆均转动连接在防尘门框上，防尘门框和防尘箱均固定连接在支撑支架上。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述脱离转板在转动后会与平台斜板对齐。

作为本技术方案的进一步优化，本发明基板处理装置，所述平台斜板的右端设有一个缺口。

一种基板处理装置处理基板的方法，所述该方法包括以下步骤：

步骤一：完成对基板的切割后，分离转板向下移动后转动，使得所有的小块基板沿着脱离转板滑落；

步骤二：所有的小块基板落在震动滤孔板上，经过震动除去切割产生的灰尘；

步骤三：分离转板复位带动阻挡板移动，使得所有的小块基板能够继续移动被收集起来；

步骤四；去边框架进行往返移动将切割后的边角移出，并且将待加工的大块基板带入工位进行新一轮加工。

一种基板处理装置及基板处理方法的有益效果为：

一种基板处理装置及基板处理方法，本装置能在基板裁切完成后直接将切好的基板和边角料分离，然后将所有基板收集到一起，再将边角料移出加工台，方便进行连续加工，还能免去工人一块一块捡出小块的基板，节省人力物力提高加工效率，震动滤孔板上下移动，将多个小块基板上附着的灰尘震落，让小块基板更加干净，还有除尘电机的输出轴转动带动除尘风扇转动，将灰尘聚集，防止灰尘乱飘，除尘过程在防尘箱内完成，可以有效减少灰尘的外溢，保护环境的同时保护工作人员的身体健康，多个震动滑板在移动时同样能将防尘箱上的多个滑槽堵住，防止灰尘溢出，增加密封性提高除尘质量。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。

图1是本发明的基板处理装置整体结构示意图；

图2是本发明的脱离机构结构示意图；

图3是本发明的去边机构结构示意图；

图4是本发明的平台机构结构示意图；

图5是本发明的支撑机构结构示意图；

图6是本发明的震动机构结构示意图；

图7是本发明的阻挡机构结构示意图；

图8是本发明的防尘机构结构示意图。

图中：脱离机构1；脱离转板101；脱离转杆102；脱离滑杆103；脱离连接杆104；脱离转杆ⅱ105；脱离带轮轴106；去边机构2；去边电机201；去边转杆202；去边转杆ⅱ203；去边框架204；平台机构3；平台支架301；平台侧挡杆302；平台斜板303；平台传送带304；支撑机构4；支撑连接板401；支撑液压杆402；支撑支架403；除尘电机404；除尘风扇405；除尘防护罩406；震动机构5；震动滤孔板501；震动滑板502；震动转杆503；震动电机504；阻挡机构6；阻挡板601；阻挡滑杆602；阻挡轨道603；阻挡转动杆604；防尘机构7；防尘门框701；防尘箱702。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细说明。

在本发明的描述中,需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”和“竖着”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的系统或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是直接连接，亦可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个部件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，在本发明的描述中,除非另有说明，“多个”、“多组”、“多根”的含义是两个或两个以上。

具体实施方式一：

下面结合图1-8说明本实施方式，一种基板处理装置及基板处理方法，包括脱离机构1和去边机构2，所述脱离机构1包括脱离转板101、脱离转杆102、脱离滑杆103、脱离连接杆104、脱离转杆ⅱ105和脱离带轮轴106，脱离转杆102的上端转动连接在脱离转板101的下端，脱离转杆102的下端转动连接在脱离滑杆103的左端，脱离连接杆104滑动连接在脱离滑杆103的右端，脱离连接杆104和脱离滑杆103通过弹簧连接，脱离转杆ⅱ105的左端转动连接在脱离连接杆104的右端，脱离转杆ⅱ105的右端固定连接在脱离带轮轴106上，去边机构2包括去边框架204；

本装置能在基板裁切完成后直接将切好的基板和边角料分离，然后将所有基板收集到一起，再将边角料移出加工台，方便进行连续加工，还能免去工人一块一块捡出小块的基板，节省工作人员的时间和精力，节省人力物力提高加工效率，减少工人的工作量，在切割完成后，脱离转板101比大块基板小一圈，大块基板的边框会留在工作台上，小块基板就都会随着脱离转板101移动，脱离转板101向下移动后转动，使得所有的小块基板沿着脱离转板101滑落，去边框架204则会带动大块基板的边框移动，将大块基板的边框移出。

具体实施方式二：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述去边机构2还包括去边电机201、去边转杆202和去边转杆ⅱ203，去边转杆202固定连接在去边电机201的输出轴上，去边转杆ⅱ203的右端转动连接在去边转杆202的右端，去边转杆ⅱ203的左端转动连接在去边框架204的右端；

去边电机201的的输出轴转动带动去边转杆202转动，去边转杆202转动带动去边转杆ⅱ203转动，去边转杆ⅱ203转动带动去边框架204移动，去边转杆202转动前半周会带动去边框架204向左侧移动，同时将大块基板的边框移出，去边转杆202转动后半周带动去边框架204复位，同时将新的待加工基板带回进行加工。

具体实施方式三：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式二作进一步说明，所述一种基板处理装置还包括平台机构3，平台机构3包括平台支架301、平台侧挡杆302、平台斜板303和平台传送带304，两个平台侧挡杆302均固定连接在平台支架301上，平台斜板303的右端设有一个缺口，平台斜板303固定连接在平台支架301的下端，平台传送带304固定连接在平台支架301上，脱离转杆ⅱ105转动连接在平台支架301的下端，去边电机201固定连接在平台支架301的下端，去边转杆202转动连接在平台支架301上，去边框架204滑动连接在两个平台侧挡杆302之间；

去边框架204向左侧移动到平台传送带304上，平台传送带304带动基板移动，将去边框架204内的边角料移出，同时将新的基板移动到去边框架204内，平台支架301上的孔比大块基板小，使得在对基板切割后，大块基板的边框能够留在平台支架301上，不会随着脱离转板101离开，切割后的基板会沿着脱离转板101滑道平台斜板303上。

具体实施方式四：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式三作进一步说明，所述一种基板处理装置还包括支撑机构4，支撑机构4包括支撑连接板401、支撑液压杆402、支撑支架403、除尘电机404、除尘风扇405和除尘防护罩406，支撑连接板401固定连接在支撑液压杆402的上端，支撑液压杆402的下端固定连接在支撑支架403上，除尘电机404固定连接在支撑支架403上，除尘风扇405固定连接在除尘电机404的输出轴上，除尘防护罩406固定连接在支撑支架403上，脱离转板101转动连接在支撑连接板401上，脱离滑杆103滑动连接在支撑连接板401上，脱离连接杆104滑动连接在支撑连接板401上，平台支架301固定连接在支撑支架403上；

支撑液压杆402缩短带动支撑连接板401向下移动，支撑连接板401向下移动带动脱离转板101向下移动，脱离转板101向下移动的过程中，脱离转杆ⅱ105不会移动则会转动，脱离转杆ⅱ105转动带动脱离连接杆104向右移动，脱离连接杆104向右移动会先拉伸弹簧，使得脱离转板101能正常向下移动一段距离，使脱离转板101离开平台支架301，随后脱离连接杆104向右移动带动脱离滑杆103向右移动，脱离滑杆103向右移动带动脱离转杆102转动，脱离转杆102转动则会带动脱离转板101左端相对右端降低，发生转动产生坡度，使得小块基板能够顺利向下滑动。

具体实施方式五：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式四作进一步说明，所述一种基板处理装置还包括震动机构5，震动机构5包括震动滤孔板501、震动滑板502、震动转杆503和震动电机504，多个震动滑板502均固定连接在震动滤孔板501上，多个震动滑板502上均设有滑槽，多个震动转杆503分别滑动连接在多个震动滑板502上，左端的两个震动转杆503分别固定连接在两个震动电机504的输出轴上，前后两端的两个震动转杆503分别通过皮带传动；

随着多个小块基板向下滑落的还有灰尘，多个小块基板带动灰尘沿着平台斜板303下落到震动滤孔板501上，两个震动电机504的输出轴转动带动左端的两个震动转杆503转动，左端的两个震动转杆503转动带动右端的两个震动转杆503转动，多个震动转杆503转动带动多个震动滑板502上下移动，多个震动滑板502上下移动带动震动滤孔板501上下移动，将多个小块基板上附着的灰尘震落，让小块基板更加干净，还有除尘电机404的输出轴转动带动除尘风扇405转动，将灰尘聚集，防止灰尘乱飘，除尘防护罩406可以防止基板的碎片落在除尘风扇405上，对除尘风扇405造成伤害，延长装置的使用寿命。

具体实施方式六：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述一种基板处理装置还包括阻挡机构6，阻挡机构6包括阻挡板601、阻挡滑杆602、阻挡轨道603和阻挡转动杆604，阻挡滑杆602固定连接在阻挡板601上，两个阻挡轨道603上均设有滑槽，阻挡滑杆602滑动连接在两个阻挡轨道603上，两个阻挡转动杆604上均设有滑槽，阻挡轨道603滑动连接在两个阻挡转动杆604上，脱离带轮轴106和两个阻挡转动杆604通过皮带传动。

具体实施方式七：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式六作进一步说明，所述一种基板处理装置还包括防尘机构7，防尘机构7包括防尘门框701和防尘箱702，防尘门框701上设有一个挡板槽，防尘箱702上设有多个滑槽，防尘箱702的右端设有一个通料孔，震动滤孔板501滑动连接在防尘箱702内，多个震动转杆503均转动连接在防尘箱702上，两个震动电机504均固定连接在防尘箱702上，两个阻挡轨道603均固定连接在防尘门框701上，两个阻挡转动杆604均转动连接在防尘门框701上，防尘门框701和防尘箱702均固定连接在支撑支架403上；

除尘过程在防尘箱702内完成，可以有效减少灰尘的外溢，保护环境的同时保护工作人员的身体健康，多个震动滑板502在移动时同样能将防尘箱702上的多个滑槽堵住，防止灰尘溢出，增加密封性提高除尘质量，脱离转板101向下移动带动脱离转杆ⅱ105转动，脱离转杆ⅱ105转动带动两个阻挡转动杆604转动，两个阻挡转动杆604转动带动阻挡滑杆602沿着两个阻挡轨道603移动，从而带动阻挡板601向下移动再向右移动将防尘门框701堵住，这时刚好小块基板进入防尘箱702内除尘，防止灰尘外溢的同时让多个小块基板充分除尘提高除尘质量，随后脱离转板101向上移动带动脱离转杆ⅱ105反向转动，脱离转杆ⅱ105反向转动带动阻挡板601向左移动再向上移动将防尘门框701打开，让充分除尘的小块基板继续下落被收集起来。

具体实施方式八：

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式七作进一步说明，所述脱离转板101在转动后会与平台斜板303对齐；防止小块基板在下落过程被平台斜板303卡主。

下面结合图1-8说明本实施方式，本实施方式对实施方式七作进一步说明，所述平台斜板303的右端设有一个缺口；平台斜板303的右端设有一个缺口可以防止干扰脱离转杆102运动。

一种基板处理装置处理基板的方法，所述该方法包括以下步骤：

步骤一：完成对基板的切割后，分离转板101向下移动后转动，使得所有的小块基板沿着脱离转板101滑落；

步骤二：所有的小块基板落在震动滤孔板501上，经过震动除去切割产生的灰尘；

步骤三：分离转板101复位带动阻挡板601移动，使得所有的小块基板能够继续移动被收集起来；

步骤四；去边框架204进行往返移动将切割后的边角移出，并且将待加工的大块基板带入工位进行新一轮加工。

本发明的一种基板处理装置及基板处理方法，其工作原理为：

使用时，本装置能在基板裁切完成后直接将切好的基板和边角料分离，然后将所有基板收集到一起，再将边角料移出加工台，方便进行连续加工，还能免去工人一块一块捡出小块的基板，节省工作人员的时间和精力，节省人力物力提高加工效率，减少工人的工作量，在切割完成后，脱离转板101比大块基板小一圈，大块基板的边框会留在工作台上，小块基板就都会随着脱离转板101移动，支撑液压杆402缩短带动支撑连接板401向下移动，支撑连接板401向下移动带动脱离转板101向下移动，脱离转板101向下移动的过程中，脱离转杆ⅱ105不会移动则会转动，脱离转杆ⅱ105转动带动脱离连接杆104向右移动，脱离连接杆104向右移动带动脱离滑杆103向右移动，脱离滑杆103向右移动带动脱离转杆102转动，脱离转杆102转动则会带动脱离转板101左端相对右端降低，发生转动产生坡度，使得小块基板能够顺利向下滑动，脱离转板101向下移动后转动，使得所有的小块基板沿着脱离转板101滑落，去边电机201的的输出轴转动带动去边转杆202转动，去边转杆202转动带动去边转杆ⅱ203转动，去边转杆ⅱ203转动带动去边框架204移动，去边转杆202转动前半周会带动去边框架204向左侧移动，同时将大块基板的边框移出，去边转杆202转动后半周带动去边框架204复位，同时将新的待加工基板带回进行加工，去边框架204则会带动大块基板的边框移动，将大块基板的边框移出，随着多个小块基板向下滑落的还有灰尘，多个小块基板带动灰尘沿着平台斜板303下落到震动滤孔板501上，两个震动电机504的输出轴转动带动左端的两个震动转杆503转动，左端的两个震动转杆503转动带动右端的两个震动转杆503转动，多个震动转杆503转动带动多个震动滑板502上下移动，多个震动滑板502上下移动带动震动滤孔板501上下移动，将多个小块基板上附着的灰尘震落，让小块基板更加干净，还有除尘电机404的输出轴转动带动除尘风扇405转动，将灰尘聚集，防止灰尘乱飘，除尘防护罩406可以防止基板的碎片落在除尘风扇405上，对除尘风扇405造成伤害，延长装置的使用寿命，除尘过程在防尘箱702内完成，可以有效减少灰尘的外溢，保护环境的同时保护工作人员的身体健康，多个震动滑板502在移动时同样能将防尘箱702上的多个滑槽堵住，防止灰尘溢出，增加密封性提高除尘质量，脱离转板101向下移动带动脱离转杆ⅱ105转动，脱离转杆ⅱ105转动带动两个阻挡转动杆604转动，两个阻挡转动杆604转动带动阻挡滑杆602沿着两个阻挡轨道603移动，从而带动阻挡板601向下移动再向右移动将防尘门框701堵住，这时刚好小块基板进入防尘箱702内除尘，防止灰尘外溢的同时让多个小块基板充分除尘提高除尘质量，随后脱离转板101向上移动带动脱离转杆ⅱ105反向转动，脱离转杆ⅱ105反向转动带动阻挡板601向左移动再向上移动将防尘门框701打开，让充分除尘的小块基板继续下落被收集起来。

当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。