基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备的制作方法

1.本发明涉及基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备，更具体地提供能够改善与基板接触的卡盘销的基于磨耗的寿命的基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备。


背景技术：

2.半导体(或者显示器)制造工艺作为用于在基板(例如：晶圆)上制造半导体元件的工艺，例如包括曝光、蒸镀、蚀刻、离子注入、清洗等。尤其，在基板上存在各种有机以及无机杂质。因此，为了提高制造产出率，有效地去除基板上的杂质非常重要。
3.为了去除杂质，主要使用利用了处理液(清洗液)的清洗工艺。清洗工艺可以在使得支承基板的旋转卡盘旋转的同时向基板上面或者后面供应处理液来执行，在清洗处理后执行利用冲洗液的冲洗工艺、利用干燥气体的干燥工艺。
4.另一方面，在液体处理工艺中使用通过在将药液从上方或者下方供应的同时使基板旋转而使药液从中心部向外周部扩散的技术。为此，可以使用支承基板下方的支承销以及接触夹持基板侧面的卡盘销。另一方面，随着在侧面支承基板的卡盘销重复执行工艺，可能发生磨耗。


技术实现要素：

5.因此，本发明的实施例提供能够减少在侧面支承基板的卡盘销的磨耗带来的更换周期的装置以及方法。
6.本发明的解决课题不限于以上所提及的，本领域技术人员会从下面的记载能够明确地理解未被提及的其它解决课题。
7.根据本发明的实施例的基板夹持装置用于在基板处理设备中夹持基板，所述基板夹持装置包括：卡盘；齿轮箱，构成为能够相对于所述卡盘移动；旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部；以及卡盘销，与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触。
8.根据本发明的实施例，可以是，所述齿轮箱包括：齿轮箱壳体，提供用于配置所述旋转齿轮的空间；以及直线导轨，固定结合于所述卡盘，并提供用于使所述齿轮箱壳体直线移动的路径。
9.根据本发明的实施例，可以提供基板夹持装置，所述基板夹持装置还包括：角度调节齿轮，与所述旋转齿轮啮合结合，并构成为调节所述旋转齿轮的旋转。
10.根据本发明的实施例，可以是，所述角度调节齿轮与在下方支承所述基板的支承销结合，并通过所述支承销的旋转来调节所述卡盘销的旋转。
11.根据本发明的实施例，可以提供基板夹持装置，所述基板夹持装置还包括：蜗轮，与所述旋转齿轮啮合结合，并形成为向所述齿轮箱的外部延伸。
12.根据本发明的实施例，可以提供基板夹持装置，所述基板夹持装置还包括：驱动
源，用于将所述蜗轮旋转驱动。
13.根据本发明的实施例，可以提供基板夹持装置，所述基板夹持装置还包括：阻挡器，固定所述卡盘销以使所述卡盘销不旋转。
14.根据本发明的实施例，可以提供基板夹持装置，所述基板夹持装置还包括：油封(oil seal)，用于防止药液向所述齿轮箱的内部渗透。
15.根据本发明的实施例的液体处理装置可以包括：基板支承单元，支承基板；以及处理液供应单元，向所述基板供应药液。所述基板支承单元可以包括：卡盘，构成为能够旋转；支承销，固定于所述卡盘而在下方支承所述基板；齿轮箱，构成为能够相对于所述卡盘移动；旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部；以及卡盘销，与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触。
16.根据本发明的实施例的基板处理设备包括：索引模组，包括被安放收纳有基板的载体的装载端口以及用于搬运所述基板的索引机械手；以及工艺处理模组，包括临时装载所述基板的缓冲单元以及对所述基板执行液体处理工艺的工艺腔室。所述工艺腔室包括：基板支承单元，支承所述基板；以及处理液供应单元，向所述基板供应药液。所述基板支承单元可以包括：卡盘，构成为能够旋转；支承销，固定于所述卡盘而在下方支承所述基板；齿轮箱，构成为能够相对于所述卡盘移动；旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部；以及卡盘销，与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触。
17.根据本发明的实施例，构成为通过卡盘销的各点位在侧面支承基板，从而能够提高卡盘销的寿命且节减费用。
18.本发明的效果不限于以上提及的，本领域技术人员会从下面的记载能够明确地理解未提及的其它效果。
附图说明
19.图1示出在液体处理装置中用于支承基板的卡盘的概要构造。
20.图2以及图3示出基板夹持装置的一例。
21.图4以及图5示出基板夹持装置的另一例。
22.图6以及图7分别示出具备旋转驱动型齿轮箱的基板夹持装置的例子。
23.图8示出液体处理装置的概要构造。
24.图9示出基板处理设备的概要构造。
具体实施方式
25.以下，参照所附附图来详细说明本发明的实施例，以使得本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易地实施。本发明可以以各种不同方式实现，不限于在此说明的实施例。
26.为了清楚地说明本发明，省略了与说明无关的部分，贯穿说明书整体对相同或类似的构成要件标注相同的附图标记。
27.另外，在多个实施例中，对具有相同结构的构成要件，使用相同的附图标记来仅说明代表性实施例，在其余的其它实施例中仅说明与代表性实施例不同的结构。
28.在说明书整体中，当表述某部分与其它部分“连接(或者结合)”时，其不仅是“直接
连接(或者结合)”的情况，还包括将其它部件置于中间“间接连接(或者结合)”的情况。另外，当表述某部分“包括”某构成要件时，只要没有特别相反记载，其意指可以还包括其它构成要件而不是排除其它构成要件。
29.只要没有不同地定义，包括技术或科学术语在内在此使用的所有术语具有与本发明所属技术领域中具有通常知识的人一般所理解的含义相同的含义。在通常使用的词典中定义的术语之类的术语应解释为具有与相关技术文脉上具有的含义一致的含义，只要在本技术中没有明确定义，不会理想性或过度地解释为形式性含义。
30.图1示出在液体处理装置中用于支承基板的卡盘的概要构造。参照图1，作为用于将基板w固定的同时使其旋转的底座，提供具有圆形形状的卡盘100。在卡盘100的上面设置有用于在下方支承基板w的支承销500以及与基板w的侧面接触而将基板w固定成不脱离的卡盘销400。
31.如图1所示，可以是，支承销500在卡盘100的外周部彼此隔开一定间隔配置，卡盘销400在卡盘100的外周部彼此隔开一定间隔配置。通常，支承销500和卡盘销400固定于卡盘100。卡盘销400可以比支承销500位于卡盘100的外周部侧。
32.卡盘销400可以以卡盘100的中心部为基准向水平方向直线移动。当没有基板w时，卡盘销400比基板w的侧面位于外侧，若投放基板w，则卡盘销400位于更靠近中心部的接触位以与基板w的侧面接触。
33.例如，若要执行液体处理的基板w安放于支承销500的上方，则卡盘销400从外部位置向接触位直线移动而与基板w的侧面接触。卡盘销400夹持基板w以使得执行液体处理的基板w不脱离。若完成针对基板w的工艺，则卡盘销400从接触位向外部位置直线移动而解除针对基板w的接触。另一方面，卡盘销400可以构成为不仅是直线移动还通过旋转移动与基板w接触。
34.另一方面，当针对基板w进行液体处理工艺(例如：清洗、涂布)时，由于使基板w旋转，可能因基板w和卡盘销400的接触导致卡盘销400磨耗，当随着重复执行工艺而由于卡盘销400的磨耗难以适当地夹持基板w时，作业者需要更换卡盘销400。
35.当普通的卡盘销400时，由于固定在卡盘100，针对与基板w接触的一部分区域，可能持续产生磨耗。在此情况下，尽管仅在特定区域产生磨耗，仍需要更换卡盘销400，因此需要在费用效率性方面得到改善。另外，当卡盘销400的特定部分被磨耗时，与基板w的接触力降低，因此不能正常支承基板w，基板w可能空转。
36.于是，本发明的实施例构成为卡盘销400能够旋转，使得能够在多个区域与基板w接触而不是仅有卡盘销400的特定部分与基板w接触。以下，说明根据本发明的实施例的具备构成为能够旋转的卡盘销400的基板夹持装置。
37.图2以及图3示出基板夹持装置的一例。图2示出从侧面观察的基板夹持装置的结构，图3示出从上方观察的基板夹持装置的结构。
38.参照图2以及图3，基板处理设备中用于夹持基板的基板夹持装置包括卡盘100、构成为能够相对于卡盘100移动的齿轮箱200、设置于齿轮箱200的内部的旋转齿轮300以及与旋转齿轮300结合并构成为能够旋转且形成为与基板w的侧面部接触的卡盘销400。根据本发明的实施例，卡盘销400构成为通过旋转齿轮300能够旋转，从而各点位沿着卡盘销400的圆形周围与基板w接触而不是仅特定部分与基板w接触。于是，即使卡盘销400的一部分被磨
耗，由于能够通过其它点位支承基板w，能够防止基板w的空转且改善卡盘销400的寿命。
39.如上所述，卡盘100可以成为供设置卡盘销400的支承台，并构成为能够旋转。在卡盘100中可以设置用于加热基板w的加热器。另外，在卡盘100的中心部中可以设置用于向基板w的后面供应药液的喷嘴。在卡盘100的上方设置有在下方支承基板w的支承销500以及支承基板w的侧面部的卡盘销400。
40.齿轮箱200设置于卡盘100的上面而能够以卡盘100的中心部为基准进行直线移动或旋转移动。以下的图2至图5示出齿轮箱200直线驱动的情况，图6以及图7分别示出齿轮箱200旋转驱动的情况。在齿轮箱200中形成有圆形的开口部而被插入卡盘销400，在内部设置有旋转齿轮300。
41.根据本发明的实施例，齿轮箱200包括提供用于配置旋转齿轮300的空间的齿轮箱壳体210以及固定结合于卡盘100并提供用于使齿轮箱壳体210直线移动的路径的直线导轨220。如图2以及图3所示，齿轮箱壳体210构成为沿着直线导轨220直线移动，由此与卡盘销400一起直线移动。另外，可以提供驱动源，该驱动源提供用于齿轮箱壳体210的移动的动力。
42.根据本发明的实施例，基板夹持装置还包括与旋转齿轮300啮合结合并构成为调节旋转齿轮300的旋转的角度调节齿轮350。角度调节齿轮350与在下方支承基板w的支承销500结合，并通过支承销500的旋转来调节卡盘销的旋转。即，当要使卡盘销400旋转以使卡盘销400的各种区域能够与基板w的侧面部接触时，可以通过使支承销500旋转来使卡盘销400旋转。
43.图4以及图5示出基板夹持装置的另一例。图4示出从侧面观察的基板夹持装置的结构，图5示出从上方观察的基板夹持装置的结构。
44.根据本发明的实施例，基板夹持装置包括与旋转齿轮300啮合结合并形成为向齿轮箱200的外部延伸的蜗轮360。根据本实施例，固定于卡盘销400而使卡盘销400旋转的旋转齿轮300与蜗轮360啮合并旋转，蜗轮360形成为向齿轮箱壳体210的外部凸出。
45.根据一实施例，基板夹持装置可以包括用于将蜗轮360旋转驱动的驱动源。蜗轮360可以通过驱动源旋转，从而使旋转齿轮300以及卡盘销400旋转。另外，蜗轮360可以具备旋转用操纵杆，由作业者手动旋转，从而使旋转齿轮300以及卡盘销400旋转。
46.根据本发明的实施例，基板夹持装置可以还包括固定卡盘销400以使卡盘销400不旋转的阻挡器。阻挡器可以将卡盘销400以及旋转齿轮300从能够旋转的状态固定为不能旋转的状态。阻挡器可以实现为操纵杆的形态，由作业者手动控制卡盘销400以及旋转齿轮300的旋转能否。
47.另一方面，可以设置用于防止药液向齿轮箱200的内部渗透的油封(oil seal)。油封密闭卡盘100和齿轮箱200之间的空间或者被插入卡盘销400、支承销500的空间，从而能够防止药液向齿轮箱200的内部渗透，防止旋转齿轮300、角度调节齿轮350或者蜗轮360被药液损坏。
48.图6以及图7分别示出具备旋转驱动型齿轮箱200的基板夹持装置的例子。图2至图5那样形态的齿轮箱200构成为通过直线导轨220进行直线运动，或者，根据本发明的实施例的齿轮箱200也可以如图6以及图7那样相对于卡盘100结合成能够旋转。齿轮箱200可以以旋转驱动轴225为基准旋转驱动，结合于齿轮箱200的卡盘销400可以构成为根据是否安放
有基板w从相对于基板w的非接触位移动到接触位。
49.图8示出液体处理装置的概要构造。
50.参照图8，提供于液体处理腔室中的基板处理装置2600包括处理容器2620、基板支承单元2640、升降单元2660以及处理液供应单元2680。提供于液体处理腔室260中的基板处理装置2600可以向基板w供应处理液。例如，处理液可以是蚀刻液、清洗液、冲洗液以及有机溶剂。蚀刻液或清洗液可以是具有酸或碱性的液体，可以包括硫酸(h2so4)、磷酸(p2o5)、氢氟酸(hf)以及氢氧化铵(nh4oh)。或者，处理液可以是dsp(diluted sulfuric acid peroxide)混合液。
51.冲洗液可以是纯水(h2o)。有机溶剂可以是低表面张力流体的异丙醇(ipa)。
52.处理容器2620在内部提供处理基板的处理空间。处理容器2620具有上方开放的筒形状。处理容器2620可以具有外侧回收容器2626(或者第一回收容器)以及内侧回收容器2622(或者第二回收容器)。各个回收容器2622、2626回收工艺中使用过的处理液中彼此不同的处理液。内侧回收容器2622提供为环绕基板支承单元2640的环形的圈形状，外侧回收容器2626提供为环绕内侧回收容器2622的环形的圈形状。内侧回收容器2622的内侧空间2622a作为处理液向内侧回收容器2622流入的内侧流入口2622a发挥功能。内侧回收容器2622和外侧回收容器2626的之间的空间2626a作为处理液向外侧回收容器2626流入的外侧流入口2626a发挥功能。各个流入口2622a、2626a可以位于彼此不同的高度。在各个回收容器2622、2626的底面下方连接有回收管线2622b、2626b。流入到各个回收容器2622、2626中的处理液可以通过回收管线2622b、2626b提供到外部的处理液再生系统(未图示)而再使用。
53.基板支承单元2640在处理空间中支承基板w。基板支承单元2640在进行工艺的过程中支承基板w并使其旋转。基板支承单元2640具有卡盘100、支承销500、卡盘销400以及旋转驱动部件。卡盘100提供为大致圆形的盘形状。
54.支承销500从卡盘100向上方凸出提供多个以支承基板w的后面。
55.卡盘销400从卡盘100向上方凸出提供多个以支承基板w的侧部。卡盘销400支承基板w的侧部以当卡盘100旋转时使基板w从固定位置向侧方向不脱离。卡盘销400提供为能够沿着卡盘100的半径方向在外侧位置和内侧位置之间进行直线移动。当在卡盘100装载或者卸载基板w时，卡盘销400位于外侧位置，当对基板w执行工艺时，卡盘销400位于内侧位置。内侧位置是卡盘销400和基板w的侧部彼此接触的位置，外侧位置是卡盘销400和基板w彼此隔开的位置。
56.旋转驱动部件2648、2649使卡盘100旋转。卡盘100可以通过旋转驱动部件2648、2649以中心轴为中心旋转。旋转驱动部件2648、2649包括支承轴2648以及驱动部2649。支承轴2648可以具有朝向第三方向16的筒形状。支承轴2648的上端可以固定结合于卡盘100的底面。驱动部2649提供驱动力以使支承轴2648旋转。可以是，支承轴2648通过驱动部2649旋转，卡盘100与支承轴2648一起旋转。
57.升降单元2660使处理容器2620向上下方向直线移动。随着处理容器2620上下移动，处理容器2620针对卡盘100的相对高度发生改变。当在卡盘100装载或卸载基板w时，升降单元2660使处理容器2620下降以使卡盘100向处理容器2620的上方凸出。另外，在进行工艺时，调节处理容器2620的高度，以使得根据供应到基板w的处理液的种类，处理液流入到
已设定的回收容器2622、2626。升降单元2660包括支架2662、移动轴(轴)2664以及驱动单元2666。可以是，支架2662固定设置于处理容器2620的外壁，在支架2662中固定结合通过驱动单元2666向上下方向移动的移动轴2664。选择性地，升降单元2660可以使卡盘100向上下方向移动。
58.处理液供应单元2680向基板w供应处理液。处理液供应单元2680可以提供多个，各个处理液供应单元2680提供彼此不同种类的处理液。
59.处理液供应单元2680可以包括移动部件2681以及喷嘴2690。
60.移动部件2681使喷嘴2690移动到工艺位置以及待机位置。在此，可以是，工艺位置是喷嘴2690与被基板支承单元2640支承的基板w相向的位置，待机位置是喷嘴2690脱离工艺位置的位置。
61.移动部件2681可以包括支承轴2686、臂2682以及驱动器2688。支承轴2686位于处理容器2620的一侧。支承轴2686可以是向第三方向延伸的杆形状。支承轴2686提供为能够通过驱动器2688旋转。支承轴2686可以提供为能够升降移动。臂2682可以与支承轴2686的上端结合，并从支承轴2686垂直延伸。在臂2682的末端固定结合喷嘴2690。随着支承轴2686的旋转，喷嘴2690可以与臂2682一起摆动。喷嘴2690可以通过摆动而移动到工艺位置以及待机位置。选择性地，臂2682可以提供为能够朝向其长度方向进行前进以及后退移动。当从上方观察时，喷嘴2690所移动的路径可以在工艺位置与基板w的中心轴一致。
62.根据本发明的实施例的用于夹持基板的基板夹持装置可以在图8的基板处理装置中提供为基板支承单元2640的一部分。根据本发明的实施例的基板处理装置包括支承基板w的基板支承单元2640以及向基板w供应药液的处理液供应单元2680。基板支承单元2640可以包括卡盘100、设置于卡盘100而在下方支承基板w的支承销500、构成为能够相对于卡盘100移动的齿轮箱200、设置于齿轮箱200的内部的旋转齿轮300、与旋转齿轮300结合并构成为能够旋转且形成为与基板w的侧面部接触的卡盘销400。
63.根据本发明的实施例，齿轮箱200可以包括提供用于配置旋转齿轮300的空间的齿轮箱壳体210以及与卡盘100固定结合且提供用于使齿轮箱壳体210直线移动的路径的直线导轨220。
64.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括与旋转齿轮300啮合结合并构成为调节旋转齿轮300的旋转的角度调节齿轮350。
65.根据本发明的实施例，角度调节齿轮350可以与在下方支承基板w的支承销500结合，并通过支承销500的旋转来调节卡盘销400的旋转。
66.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括与旋转齿轮300啮合结合并形成为向齿轮箱200的外部延伸的蜗轮360。
67.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以包括用于使蜗轮360旋转驱动的驱动源。
68.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括将卡盘销400固定成不旋转的阻挡器。
69.图9示出基板处理设备的概要构造。
70.参照图9，基板处理设备1具有索引模组10和工艺处理模组20，索引模组10具有装载端口120以及传送架140。装载端口120、传送架140以及工艺处理模组20依次呈一列排列。
以下，装载端口120、传送架140以及工艺处理模组20所排列的方向称为第一方向12，当从上方观察时，将与第一方向12垂直的方向称为第二方向14，将与包含第一方向12和第二方向14的平面垂直的方向称为第三方向16。
71.在装载端口120中安放收纳有基板w的载体18。装载端口120提供多个，这些沿着第二方向14呈一列配置。图9中示出为提供4个装载端口120。但是，装载端口120的数量也可以根据工艺处理模组20的工艺效率以及占地面积等条件来增加或减少。在载体18中形成有提供为支承基板的边缘的插槽(未图示)。插槽沿着第三方向16提供多个，基板沿着第三方向16以彼此隔开的状态层叠地位于载体内。
72.载体18可以使用前开式晶圆传送盒(front opening unified pod；foup)。
73.工艺处理模组20具有缓冲单元230、传送腔室240、工艺腔室260以及排气组件。传送腔室240配置成其长度方向与第一方向12平行。沿着第二方向14在传送腔室240的两侧配置工艺腔室260。工艺腔室260可以以传送腔室240为基准提供成彼此对称。各个工艺腔室260可以包括图8所示的基板处理装置。工艺腔室260中的一部分沿着传送腔室240的长度方向配置。另外，工艺腔室260中的一部分配置成彼此层叠。即，在传送腔室240的两侧，工艺腔室260以a
×
b(a和b各自是1以上的自然数)的排列配置。在此，a是沿着第一方向12呈一列提供的工艺腔室260的数，b是沿着第三方向16呈一列提供的工艺腔室260的数。当在传送腔室240的两侧分别提供4个或者6个工艺腔室260时，工艺腔室260可以以2
×
2或者3
×
2的排列配置。工艺腔室260的数量也可以增加或减少。
74.与上述的不同，工艺腔室260可以仅提供于传送腔室240的一侧。另外，工艺腔室260可以在传送腔室240的一侧以及另一侧以单层提供。另外，工艺腔室260可以与上述的不同地以各种配置提供。另外，可以在工艺腔室260中的传送腔室240的一侧对基板执行液体处理工艺，在另一侧执行对执行完液体处理工艺的基板进行干燥处理的工艺。干燥处理工艺可以是超临界处理工艺。
75.缓冲单元230配置于传送架140和传送腔室240之间。缓冲单元230在传送腔室240和传送架140之间提供基板w被搬运之前供基板w停留的空间。缓冲单元230在其内部提供用于放置基板w的插槽(未图示)，插槽(未图示)以彼此之间沿着第三方向16隔开的方式提供多个。在缓冲单元230中，与传送架140相面对的面和与传送腔室240相面对的面分别开放。
76.传送架140在安放于装载端口120的载体18和缓冲单元230之间搬运基板w。在传送架140中提供索引轨道142和索引机械手144。索引轨道142提供成其长度方向与第二方向14平行。索引机械手144配置于索引轨道142上，并沿着索引轨道142向第二方向14直线移动。索引机械手144具有底座144a、主体144b以及索引臂144c。底座144a设置成能够沿着索引轨道142移动。主体144b结合于底座144a。主体144b提供为能够在底座144a上沿着第三方向16移动。另外，主体144b提供为能够在底座144a上旋转。索引臂144c结合于主体144b，并提供为能够相对于主体144b前进以及后退移动。索引臂144c提供多个并提供为各自独立驱动。索引臂144c以沿着第三方向16彼此隔开的状态层叠配置。可以是，索引臂144c中的一部分当从工艺处理模组20向载体18搬运基板w时使用，另一部分当从载体18向工艺处理模组20搬运基板w时使用。其能够防止在由索引机械手144搬入以及搬出基板w的过程中从工艺处理前的基板w产生的颗粒附着于工艺处理后的基板w。
77.传送腔室240在缓冲单元230和工艺腔室260之间搬运基板w。在传送腔室240中提
供导轨242和主机器人244。导轨242配置成其长度方向与第一方向12平行。主机器人244配置于导轨242上，并在导轨242上沿着第一方向12直线移动。
78.根据本发明的实施例的液体处理装置可以实现为上述的工艺腔室260的一部分。根据本发明的实施例的基板处理设备1包括：索引模组10，包括安放收纳有基板w的载体18的装载端口120以及用于搬运基板w的传送架140；以及工艺处理模组20，包括临时装载基板w的缓冲单元230以及对基板w执行液体处理工艺的工艺腔室260。工艺腔室260包括支承基板w的基板支承单元2640以及向基板w供应药液的处理液供应单元2680。基板支承单元2640可以包括构成为能够旋转的卡盘100、设置于卡盘100而在下方支承基板w的支承销500、构成为能够相对于卡盘100移动的齿轮箱200、设置于齿轮箱200的内部的旋转齿轮300以及与旋转齿轮300结合而构成为能够旋转且形成为与基板w的侧面部接触的卡盘销400。
79.根据本发明的实施例，齿轮箱200可以包括提供用于配置旋转齿轮300的空间的齿轮箱壳体210以及与卡盘100固定结合并提供用于使齿轮箱壳体210直线移动的路径的直线导轨220。
80.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括与旋转齿轮300啮合结合并构成为调节旋转齿轮300的旋转的角度调节齿轮350。
81.根据本发明的实施例，角度调节齿轮350可以与在下方支承基板w的支承销500结合，并通过支承销500的旋转来调节卡盘销400的旋转。
82.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括与旋转齿轮300啮合结合并形成为向齿轮箱200的外部延伸的蜗轮360。
83.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以包括用于将蜗轮360旋转驱动的驱动源。
84.根据本发明的实施例，基板支承单元2640可以还包括固定卡盘销400以使卡盘销400不旋转的阻挡器。
85.本实施例以及本说明书中所附的附图只不过明确表示包括在本发明中的技术构思的一部分，显而易见由本领域技术人员能够在包括在本发明的说明书以及附图中的技术构思的范围内容易导出的变形例和具体实施例均包括在本发明的权利范围中。
86.因此，本发明的构思不应局限于所说明的实施例，不仅是所附的权利要求书，与其权利要求书等同或等价变形的所有构思属于本发明构思的范畴。