物品搬运车的制作方法

文档序号:30583992发布日期:2022-06-29 14:56阅读:107来源:国知局
物品搬运车的制作方法

1.本发明涉及物品搬运车,前述物品搬运车具备沿行进路径行进的行进体、保持物品的保持装置、搭载于行进体而使保持装置相对于行进体升降的升降装置。


背景技术:

2.以往的这种物品搬运车被日本特开2016-094263号公报(专利文献1)公开。以下,背景技术的说明中括号内表示的附图标记是专利文献1的附图标记。
3.专利文献1所公开的物品搬运车(1)具备在行进轨道(2)上沿移动路径行进的行进移动部(16)、支承于行进移动部(16)且将物品(搬运物6)悬挂支承的支承机构(23)、将支承机构(23)升降移动自如地支承的升降支承部(17)。支承机构(23)具有升降体(31)、引导支承部(35)、缓冲体(36),前述缓冲体(36)位于升降体(31)和引导支承部(35)之间,承受引导支承部(35)的载荷,在上下方向上自由地弹性变形。因此,能够将行进移动部(16)行进时的振动、升降体(31)升降时传向物品(6)的振动抑制成较少。
4.专利文献1所公开的物品搬运车(1)为了将物品(6)载置于地面上的支承台(4),使缠绕体(28)旋转驱动,将卷绕带(24a)放出,由此,使支承机构(23)与物品(6)一同下降。一般地,在支承台(4)设置有用于将物品(6)定位的定位销等定位机构,所以为了将物品(6)适当地移载至支承台(4),需要使物品(6)以适当的姿势下降至支承台(4)。
5.但是,专利文献1所公开的物品搬运车(1)中,引导支承部(35)相对于升降体(31)被经由缓冲体(36)支承,所以相对于引导支承部(35)作用偏移的载荷的情况下,有引导支承部(35)相对于升降体(31)倾斜的情况。例如,在物品(6)的重心的位置有偏移的情况下等,缓冲体(36)的变形量上产生偏移,有引导支承部(35)相对于升降体(31)倾斜、物品(6)呈相对于适当的姿势倾斜的姿势的情况。这样,物品(6)相对于适当的姿势倾斜的姿势下下降至支承台(4)的情况下,有不能将物品(6)适当地移载至支承台(4)的情况。另一方面,若为了限制物品(6)呈倾斜的姿势而使缓冲体(36)的弹性模量变高,则难以将传向物品(6)的振动适当地抑制。


技术实现要素:

6.因此,希望实现一种物品搬运车,前述物品搬运车能够将传向物品的振动抑制成较少,且能够抑制物品相对于适当的姿势倾斜,将物品适当地载置于载置部位。
7.本技术的物品搬运车的特征在于,具备行进体、保持装置、升降装置,前述行进体沿行进路径行进,前述保持装置保持物品,前述升降装置被搭载于前述行进体,使前述保持装置相对于前述行进体升降,前述保持装置具备与前述升降装置连结的连结部、接触前述物品来支承前述物品的物品支承部,前述保持装置具备弹性支承机构和引导机构,前述弹性支承机构被设置于前述物品支承部和前述连结部之间,将前述物品支承部以相对于前述连结部在上下方向上具有弹性的状态支承,前述引导机构将前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向的移动引导,前述引导机构构成为,允许前述物品支承部相对于前述
连结部的前述上下方向平行移动,并且限制前述物品支承部相对于前述连结部的摆动。
8.根据本结构,在物品支承部和连结部之间设置有弹性支承机构,所以能够借助弹性支承机构使行进体行进引起的行进体的振动、被升降装置升降引起的保持装置的振动等衰减。由此,能够将传向物品的振动抑制成较少。
9.此外,根据本结构,引导机构构成为限制物品支承部相对于连结部的摆动,所以能够限制物品支承部相对于连结部倾斜。因此,例如物品的重心有偏移等而相对于物品支承部作用偏移的载荷的情况下,也能够限制物品支承部及支承于物品支承部的物品相对于连结部倾斜。因此,借助升降装置使保持装置下降来将物品载置于载置部位的情况下,能够避免发生物品的姿势相对于适当姿势倾斜从而不能将物品适当地载置的情况。另一方面,引导机构允许物品支承部相对于连结部的上下方向的平行移动。因此,不会由于引导机构妨碍借助弹性支承机构缓和作用于物品支承部及支承于物品支承部的物品的上下方向的振动的效果。
10.这样根据本结构,能够将传向物品的振动抑制成较少,且能够抑制物品相对于适当的姿势倾斜,将物品适当地载置于载置部位。
附图说明
11.图1是物品搬运设备的侧视图。
12.图2是顶棚搬运车的侧视图。
13.图3是一对搬运物支承部位于支承用位置的保持装置的纵剖侧视图。
14.图4是保持装置的俯视图。
15.图5是在物品搬运车的行进状态下物品支承部向行进方向倾斜的情况的侧视图。
16.图6是物品被适当地移载至载置部位的情况的侧视图。
17.图7是物品被以倾斜的状态移载至载置部位的情况的侧视图。
具体实施方式
18.1.实施方式以下,基于附图,对将本发明的物品搬运车应用于物品搬运设备的情况的实施方式进行说明。
19.如图1所示,在物品搬运设备设置有物品搬运车1、处理装置3和支承台等载置部位4,前述物品搬运车1构成为,沿配设于顶棚侧的行进轨道2行进自如的顶棚搬运车,前述处理装置3相对于容纳于物品6的基板进行处理,前述支承台等载置部位4被以与该处理装置3相邻的状态设置于地面上。这里,支承台是物品搬运车1的物品6的载置部位4的一例。这样,在本实施方式中,由行进轨道2构成物品搬运车1的行进路径。被物品搬运车1搬运的物品6是将容纳物容纳的搬运容器,具体地,是容纳多个半导体基板作为容纳物的前端开启式晶圆传送盒(front opening unify pod)。
20.载置物品6的支承台等载置部位4被在物品搬运车1的行进路径的下方设置,被沿物品搬运车1的行进方向x设置多个。物品搬运车1搬运物品6且借助升降装置24使物品6下降,将物品6载置于载置部位4。此外,物品搬运车1从载置部位4接收物品6,借助升降装置24使其上升,向另外的搬运目的地搬运物品6。在本实施方式中,将这样的物品搬运车1和载置
部位4之间的物品6的交接称作移载,将这样的动作称作移载动作。在本实施方式中,在载置部位4的载置物品6的载置面4a,设置有物品6的定位用的卡合凸部p。本例中,在载置面4a上,三个卡合凸部p被以位于三角形的顶点部分的位置关系配置。本例中,作为物品6的前端开启式晶圆传送盒被载置于作为载置部位4的支承台后,借助处理装置3从该前端开启式晶圆传送盒内取出半导体基板,进行既定的处理。并且,物品搬运车1接收容纳有处理已完成的半导体基板的前端开启式晶圆传送盒,向另外的处理装置3等搬运目的地搬运。
21.〔物品〕如图2所示,本实施方式的物品6具备容纳多个基板的主体部7、在比该主体部7靠上方的物品6的上部具备的凸缘部9。此外,该物品6具备将在主体部7的前表面形成的基板出入用的开口关闭的盖体5(参照图6)。盖体5被相对于主体部7装卸自如地设置。另外,以下,沿着上下方向z的上下方向观察时,将从物品6的中心与盖体5正交的方向设为物品前后方向,将与物品前后方向正交的方向设为物品左右方向。
22.在本实施方式中,盖体5的每单位体积的重量比物品6(前端开启式晶圆传送盒)的其他部分大。因此,半导体基板未容纳于主体部7的空的状态下,物品6的重心偏向物品前后方向的盖体5侧。若半导体基板被容纳于主体部7而物品6的整体的重量变大,则该重量中的盖体5的重量的比例变小。因此,重心位置以接近物品6的中央部分的方式,向物品前后方向上的与盖体5侧相反的一侧移动。此外,物品6构成为,在物品左右方向上重量均等。因此,在物品6为空的状态的情况下、容纳有半导体基板的状态的情况下,物品6的重心的物品左右方向的偏移均较小。
23.凸缘部9和主体部7被经由物品连结部8连结。物品连结部8形成为从主体部7向上方突出。并且,凸缘部9被安装于物品连结部8的上部,形成为从该物品连结部8向物品前后方向及物品左右方向突出的板状。并且,借助在主体部7的上表面和凸缘部9的下表面之间形成的物品前后方向及物品左右方向的凹陷,形成插入用空间12。后述的一对把持部50被插入该插入用空间12,由此,物品6被一对把持部50把持。
24.如图6所示,物品6具备设置于底部11的卡合凹部b。卡合凹部b用于通过卡合于在上述的载置部位4的载置面4a设置的卡合凸部p,进行载置部位4处的物品6的定位。在本实施方式中,在朝向底部11的下方的面即底面11a,三个卡合凹部b被以位于三角形的顶点部分的位置关系配置。三个卡合凹部b的位置关系与载置部位4的三个卡合凸部p的位置关系对应。各卡合凹部b设为从底面11a向上方凹陷的凹槽。本例中,三个卡合凹部b中的两个设置成接近物品6的前端部且在物品左右方向上离开。三个卡合凹部b中的一个设置成接近物品6的后端部且在左右方向上设置于两个卡合凹部b的中间。在本实施方式中,如图6所示,卡合凹部b在借助后述的升降装置24下降而物品6载置于载置部位4的情况下,卡合于被在该载置部位4设置的定位用的卡合凸部p。
25.〔物品搬运车〕接着,对物品搬运车1进行说明。这里,将沿着物品搬运车1的行进方向的方向称作行进方向x、将在上下方向观察时与行进方向x正交的方向称作宽度方向y来说明。在本实施方式中,物品6被以该物品左右方向沿着物品搬运车1的行进方向x的朝向支承。因此,以下,将物品6被保持装置23保持的状态作为基准,将物品6的物品左右方向设为行进方向x、将物品6的物品前后方向设为宽度方向y来说明。
26.如图1及图2所示,物品搬运车1具备沿行进路径行进的行进体16、保持物品6的保持装置23、搭载于行进体16而使保持装置23相对于行进体16升降的升降装置24。此外,物品搬运车1还具备罩部25,前述罩部25在保持装置23位于升降装置24的升降范围的上限附近的状态下,覆盖被支承于该保持装置23的物品6的上方侧及行进方向x的两侧。
27.如图2所示,行进体16具备被行进用马达19旋转驱动而在行进轨道2的上表面滚动的驱动轮20、抵接于行进轨道2的侧面的旋转自如引导轮21。并且,驱动轮20被行进用马达19旋转驱动,引导轮21抵接于行进轨道2的侧面而被引导。由此,行进体16被行进轨道2引导而沿行进路径行进。
28.升降装置24具备缠绕卷绕带24a的缠绕体28、将缠绕体28旋转驱动的升降用马达29。在卷绕带24a的末端部连结有保持装置23。并且,升降装置24借助升降用马达29使缠绕体28向正转方向旋转驱动来放出卷绕带24a,使缠绕体28向反转方向旋转驱动来将卷绕带24a卷绕,由此使保持装置23相对于行进体16升降。
29.〔保持装置〕接着,对物品搬运车1的保持装置23进行说明。
30.如图3~图5所示,物品搬运车1的保持装置23具备与升降装置24连结的连结部31、接触物品6来支承物品6的物品支承部51。在本实施方式中,连结部31与卷绕带24a的末端部连结。因此,连结部31被升降装置24升降。连结部31具备支承后述的弹性支承机构36及引导机构37的支承体31a、安装于支承体31a来覆盖弹性支承机构36及引导机构37的箱状的壳体31b。此外,在本实施方式中,保持装置23具备将构成物品支承部51的一对把持部50在彼此接近及离开的方向上驱动的把持驱动机构30。该把持驱动机构30也被支承于支承体31a,被容纳于壳体31b的内部。
31.首先,对把持驱动机构30进行说明。把持驱动机构30具备把持引导机构38、把持驱动源33、把持传递机构39。把持驱动源33在本实施方式中是由电动马达构成的把持驱动马达。
32.把持引导机构38是引导一对把持部50的相互的接近

离开方向的移动的机构。在本实施方式中,一对把持部50的接近

离开方向是与行进方向x平行的方向。并且,本例中,把持引导机构38具备联动部件42和引导轨道40,前述联动部件42被与一对把持部50的每一个对应地设置,与一对把持部50的各自的接近

离开方向的移动联动,前述引导轨道40引导一对联动部件42的接近

离开方向的移动。这里,如图4所示,多个引导轨道40被以沿着行进方向x的方式支承于支承体31a。在本实施方式中,关于一个联动部件42,一对引导轨道40被在宽度方向y上离开地配置。因此,在本实施方式中,把持引导机构38与一对联动部件42对应地具备四个引导轨道40。如图3及图4所示,在联动部件42的各自的被各引导轨道40引导的部分,安装有沿该引导轨道40被在行进方向x上引导的被引导部件41。被引导部件41在沿引导轨道40移动自如的状态下卡合于该引导轨道40。
33.如上所述,联动部件42被与一对把持部50的每一个对应地设置。并且,各联动部件42构成为将把持传递机构39和引导机构37连接。并且,联动部件42和把持部50被经由引导机构37连接。在本实施方式中,如后所述,与一对把持部50的每一个对应的引导机构37分别具备一对直线运动引导机构37a。因此,联动部件42将把持传递机构39和一对直线运动引导机构37a连接。
34.具体地,联动部件42具备一对联动固定部42a、联动主体部42b、联动连接部42c,前述一对联动固定部42a被固定于支承相同的把持部50的一对直线运动引导机构37a的每一个,前述联动主体部42b将一对联动固定部42a彼此连结,前述联动连接部42c被设置于该联动主体部42b,与把持传递机构39连接。本例中,联动主体部42b构成为宽度方向y上较长的长板状。并且,联动主体部42b被固定于,在宽度方向y上离开地配置的两个被引导部件41。此外,联动主体部42b与宽度方向y上离开地配置的一对联动固定部42a连结。本例中,一对联动固定部42a的每一个被配置成上下方向z观察时与被引导部件41重叠。这样,联动主体部42b将一对被引导部件41彼此连结,并且将一对联动固定部42a彼此连结。一对联动固定部42a形成为与联动主体部42b相比上下方向z的尺寸大。并且,在一对联动固定部42a的各自的朝向与上下方向z正交的方向的面,安装有直线运动引导机构37a。联动连接部42c是与后述的把持传递机构39连接的部分。在本实施方式中,构成把持传递机构39的螺母部35被安装于联动连接部42c。这里,联动连接部42c被设置于联动主体部42b的宽度方向y上的中央部分。此外,图示的例子中,联动连接部42c形成为将螺母部35在内部保持的块状。在本实施方式中,一对联动部件42的每一个具备的联动连接部42c被在行进方向x上彼此离开地配置。
35.把持传递机构39为将把持驱动源33的动力传递至一对把持部50的每一个、使一对把持部50向彼此接近及离开的方向移动的机构。在本实施方式中,把持传递机构39具备滚珠丝杠34、与滚珠丝杠34螺纹接合的螺母部35。
36.滚珠丝杠34与作为把持驱动源33的把持驱动马达连接。并且,滚珠丝杠34被该把持驱动源33以绕轴心旋转的方式驱动。在本实施方式中,如图4所示,滚珠丝杠34被配置成轴心沿着行进方向x。此外,本例中,滚珠丝杠34被配置于支承体31a的宽度方向y的中央部分。在滚珠丝杠34的外周面形成有外螺纹。本例中,相对于沿着滚珠丝杠34的轴心的方向(行进方向x)的中央部,在一侧和另一侧以螺旋的方向为相反方向的方式形成外螺纹。此外,沿着滚珠丝杠34的轴心的方向(行进方向x)的一侧的端部与把持驱动源33连接。具体地,滚珠丝杠34的轴向的一端部与把持驱动马达的输出轴连结。
37.螺母部35是以与在滚珠丝杠34的外周面形成的外螺纹螺纹接合的方式在内周面形成有内螺纹的筒状部件。因此,螺母部35的轴心方向也与滚珠丝杠34同样地配置成沿着行进方向x。在本实施方式中,如上所述,螺母部35被安装于联动部件42的联动连接部42c。即,在行进方向x上彼此离开地配置的一对联动连接部42c的每一个安装有螺母部35。并且,一方的螺母部35和另一方的螺母部35与滚珠丝杠34的外螺纹的方向互不相同的部分螺纹接合。因此,滚珠丝杠34向第1方向旋转的情况下一对螺母部35彼此接近,滚珠丝杠34向与第1方向相反的第2方向旋转的情况下一对螺母部35彼此离开。与这样的一对螺母部35的接近及离开的动作联动,一对联动部件42及一对把持部50彼此接近及离开。
38.物品支承部51如图4所示具备一对把持部50,一对把持部50被配置成在行进方向x上彼此离开。并且,物品支承部51构成为借助一对把持部50把持物品6的凸缘部9。在本实施方式中,一对把持部50的每一个被经由后述的弹性支承机构36及引导机构37支承于联动部件42。如图3所示,一对把持部50的每一个具备作为与凸缘部9接触的部分的把持爪部50a、被弹性支承机构36及引导机构37支承的被支承部50b、将把持爪部50a和被支承部50b连结的把持连结部50c。本例中,如图6所示,把持爪部50a形成为在宽度方向y上延伸的长板状。
此外,如图4及图5所示,被支承部50b形成为在宽度方向y上延伸。并且,把持连结部50c被设置于把持爪部50a及被支承部50b的宽度方向y的两端部的每一个,将把持爪部50a和被支承部50b连结。这样,本例中,把持部50具备一对把持连结部50c。另外,一对把持部50除了朝向被对称地配置以外,为彼此相同的结构。
39.把持爪部50a被比连结部31靠下方地配置。被支承部50b被容纳于连结部31的内部。把持连结部50c被配置成,以将把持爪部50a和被支承部50b连接的方式与连结部31相比从连结部31的内部向下方突出。本例中,如图3及图4所示,把持连结部50c穿过在连结部31的支承体31a形成的贯通孔43沿上下方向z延伸。如上所述,一对把持部50的每一个具备一对把持连结部50c。因此,在支承体31a,在行进方向x及宽度方向y上离开地形成有四个贯通孔43,在各贯通孔43插通有一个把持连结部50c。
40.如图3及图6所示,一对把持部50的把持爪部50a以配置于在凸缘部9的下方形成的插入用空间12的状态把持凸缘部9。更具体地,一对把持爪部50a相对于凸缘部9从下方抵接,由此将凸缘部9从下方支承。这里,如上所述,一对把持部50的每一个被经由后述的弹性支承机构36及引导机构37支承于联动部件42。并且,一对联动部件42被把持驱动机构30在行进方向x上向接近及离开的方向驱动,由此,一对把持部50也被向接近及离开的方向驱动。由此,一对把持部50的间隔变化成把持用间隔和解除用间隔。把持用间隔是一对把持部50彼此接近的状态的间隔。呈该把持用间隔的状态下,一对把持爪部50a的行进方向x的间隔变得比凸缘部9的行进方向x的宽度窄。解除用间隔是一对把持部50彼此离开的状态的间隔。呈该解除用间隔的状态下,一对把持爪部50a的行进方向x的间隔变得比凸缘部9的行进方向x的宽度宽。
41.因此,通过使一对把持部50从解除用间隔变化成把持用间隔,能够把持凸缘部9,借助保持装置23保持物品6。此外,通过使一对把持部50从把持用间隔变化成解除用间隔,能够解除凸缘部9的把持,解除基于保持装置23的物品6的保持。
42.如图3~图5所示,保持装置23具备弹性支承机构36,前述弹性支承机构36被设置于物品支承部51和连结部31之间,将物品支承部51以相对于连结部31在上下方向z上具有弹性的状态支承。如上所述,在本实施方式中,物品支承部51具备一对把持部50。因此,弹性支承机构36构成为将一对把持部50的每一个相对于连结部31弹性地支承。此外,如上所述,一对把持部50构成为,借助把持引导机构38引导彼此的接近

离开方向(这里是行进方向x)的移动。因此,一对把持部50的每一个被经由弹性支承机构36及引导机构37支承于构成把持引导机构38的联动部件42。因此,在本实施方式中,弹性支承机构36构成为将把持部50相对于联动部件42以在上下方向z上具有弹性的状态支承。更具体地,弹性支承机构36被设置于联动主体部42b和把持部50的被支承部50b的上下方向z之间。图示的例子中,被支承部50b被比联动主体部42b靠上方地配置。因此,弹性支承机构36将被支承部50b从下方弹性地支承。本例中,弹性支承机构36具备在上下方向z上具有弹性的弹性体36a。弹性体36a在图示的例子中为压缩螺旋弹簧。弹性体36a的下端部被保持于联动主体部42b,弹性体36a的上端部被保持于被支承部50b。即,联动主体部42b及被支承部50b分别具备保持弹性体36a的保持部。并且,弹性体36a被配置成在压缩状态下被夹于联动主体部42b和被支承部50b之间。
43.在本实施方式中,弹性支承机构36关于一对把持部50的每一个具备在宽度方向y上被离开地配置的一对弹性体36a。如图4所示,与一个把持部50对应的一对弹性体36a被在
宽度方向y上离开地配置。此外,在本实施方式中,在一对把持部50的每一个,一对弹性体36a被比一对引导轨道40靠宽度方向y的内侧地配置。
44.进而,在本实施方式中,弹性支承机构36以一对把持部50彼此独立地上下移动的方式支承一对把持部50。如上所述,弹性支承机构36被与一对把持部50的每一个对应地设置,构成为将一对把持部50的每一个相对于连结部31弹性地支承。因此,一对把持部50的一方被一对弹性支承机构36的一方以相对于连结部31在上下方向z上具有弹性的状态支承,一对把持部50的另一方被一对弹性支承机构36的另一方以相对于连结部31在上下方向z上具有弹性的状态支承。由此,一对把持部50以彼此独立地上下移动的方式被弹性支承机构36支承。
45.如图3及图4所示,保持装置23具备引导物品支承部51相对于连结部31的上下方向z的移动的引导机构37。引导机构37构成为,允许物品支承部51相对于连结部31的上下方向z的平行移动,并且限制物品支承部51相对于连结部31的摆动。如上所述,在本实施方式中,物品支承部51具备一对把持部50。因此,引导机构37构成为允许一对把持部50的每一个相对于连结部31的上下方向z的平行移动。此外,引导机构37构成为限制一对把持部50的每一个相对于连结部31的宽度方向y及行进方向x的摆动。因此,在本实施方式中,引导机构37在一对把持部50的每一个能够相对于对应的联动部件42在上下方向z上平行移动的状态下,将把持部50和联动部件42连接。
46.这里,“平行移动”是指如下移动:物品支承部51不支承物品6,将保持装置23相对于水平面呈理想的位置关系的姿势设为基准姿势,将基准姿势下作为与上下方向z平行的连结部31的基准的假想轴设为第1基准轴,将基准姿势下作为与上下方向z平行的物品支承部51的基准的假想轴设为第2基准轴,该情况下,第1基准轴和第2基准轴平行的状态下,物品支承部51(在本实施方式中为一对把持部50的每一个)相对于连结部31相对移动。此外,“摆动”是指如下移动:以第2基准轴相对于第1基准轴倾斜的方式,物品支承部51(在本实施方式中为一对把持部50的每一个)相对于连结部31相对移动。引导机构37构成为限制物品支承部51相对于连结部31的摆动,所以限制物品支承部51相对于连结部31倾斜。
47.在本实施方式中,如图3及图4所示,引导机构37构成为,引导关于一对把持部50的每一个的相对于连结部31的上下方向z的移动。这里,引导机构37构成为,以一对把持部50彼此独立地上下移动的方式引导一对把持部50。为了这样的引导,引导机构37具备直线运动引导机构37a。在本实施方式中,引导机构37具备在沿着水平面的方向上彼此离开地配置于多个部位的直线运动引导机构37a。具体地,如图3~图5所示,引导机构37整体具备四个直线运动引导机构37a。直线运动引导机构37a的每一个具备固定于连结部31的引导体37b、固定于物品支承部51而沿引导体37b移动的移动体37c。此外,引导体37b被配置成移动体37c沿上下方向z移动。即,引导体37b被沿上下方向z地配置。这里,引导体37b是以移动体37c直线地移动的方式引导的部件,本例中,形成为轨道状。移动体37c以沿着引导体37b直线地移动的方式卡合于引导体37b。另外,本例中,直线运动引导机构37a为直线引导件。
48.在本实施方式中,引导体37b固定于联动部件42。此外,移动体37c固定于把持部50。如上所述,移动体37c被以沿着引导体37b沿上下方向z移动的方式引导,由此,把持部50被以相对于联动部件42在上下方向z上移动的方式引导。即,允许把持部50相对于联动部件42的上下方向z的平行移动。另一方面,被引导体37b引导的移动体37c在上下方向z以外不
能移动,由此,把持部50相对于联动部件42向宽度方向y及行进方向x的摆动被限制。
49.此外,在本实施方式中,引导机构37关于一对把持部50的每一个,具备在宽度方向y上被离开地配置的一对直线运动引导机构37a。如图4所示,与一个把持部50对应的一对直线运动引导机构37a被在宽度方向y上离开地配置。本例中,一对直线运动引导机构37a被安装于,在联动主体部42b的宽度方向y的两端部设置的一对联动固定部42a的每一个。更具体地,一对直线运动引导机构37a的各自的引导体37b固定于联动固定部42a。这样,一对直线运动引导机构37a被联动部件42连结。此外,一对直线运动引导机构37a被配置于,上下方向z观察时与联动主体部42b及被引导部件41重叠的位置。进而,在本实施方式中,一对直线运动引导机构37a被安装于把持部50的被支承部50b。更具体地,一对直线运动引导机构37a的各自的移动体37c固定于被支承部50b。因此,把持部50借助一对直线运动引导机构37a,被以相对于联动部件42沿上下方向z平行移动的方式引导。
50.但是,一对把持部50彼此独立。即,一对把持部50的每一个如图3~图5所示,彼此被另外的弹性支承机构36支承,彼此被另外的引导机构37引导。由此,一对把持部50允许相对于连结部31彼此独立地沿上下方向z移动。因此,例如如图5所示,一对把持部50的上下方向z的位置可以互不相同。
51.这样,一对把持部50被沿行进方向x彼此离开地配置,分别独立地上下移动,所以尽管具备如上所述的引导机构37,物品6的行进方向x的摆动也被允许。一般地,对于正在被物品搬运车1搬运的物品6,多由于物品搬运车1的加减速而作用行进方向x的载荷。但是,根据本实施方式的结构,一对把持部50彼此独立地上下移动,所以不会由于引导机构37妨碍借助弹性支承机构36缓和物品6向行进方向x摆动的方向的振动的效果。另一方面,本实施方式的结构中,引导机构37也构成为,关于一对把持部50的每一个,引导相对于连结部31的上下方向z的移动,构成为,限制一对把持部50的每一个相对于连结部31的摆动,特别地限制宽度方向y的摆动。因此,例如物品的重心6有宽度方向y的偏移等而相对于一对把持部50作用宽度方向y上偏移的载荷的情况下,也能够限制一对把持部50相对于连结部31向宽度方向y倾斜。因此,能够限制支承于一对把持部50的物品6相对于连结部31向宽度方向y倾斜。在本实施方式中,物品6为容纳多个半导体基板的前端开启式晶圆传送盒,盖体5(参照图6)配置于物品6的宽度方向y的一侧的状态下被物品搬运车1搬运。前端开启式晶圆传送盒的盖体5的每单位体积的重量比其他部分大,根据容纳于内部的半导体基板的个数等,物品6的整体的宽度方向y的重心位置变动。但是,根据本实施方式的结构,借助这样的重心的变动,能够限制物品6向宽度方向y倾斜。
52.此外,在本实施方式中,如图4所示,在一对把持部50的每一个,一对直线运动引导机构37a被比一对弹性体36a靠宽度方向y的外侧地配置。这里,一般地,由于物品6的宽度方向y的摆动而作用于把持部50的载荷,由于杠杆原理,宽度方向y的内侧的载荷变得比宽度方向y的外侧大。因此,与将一对直线运动引导机构37a比一对弹性体36a靠宽度方向y的内侧配置相比,将一对直线运动引导机构37a比一对弹性体36a靠宽度方向y的外侧配置的话,能够使作用于直线运动引导机构37a的载荷变小。另外,该情况下,比较大的载荷作用于一对弹性体36a,但一般地,弹性体36a与直线运动引导机构37a相比构造简单,强度也容易被较高地确保,所以难以产生大的问题。
53.〔物品的移载动作〕
接着,对使保持于保持装置23的状态的物品6借助升降装置24下降来载置(移载)于正下方的载置部位4情况的动作进行说明。
54.这里,将物品6被容纳于罩部25的状态下的、保持装置23相对于行进体16的位置设为行进用位置(参照图2)。升降装置24通过升降用马达29的旋转驱动放出卷绕带24a,使保持装置23从行进用位置下降至移载用位置(参照图6)。通过使保持装置23下降至移载用位置,保持于保持装置23的物品6被载置于载置部位4。这样,移载用位置为比行进用位置靠下方的位置,为保持于保持装置23的物品6被载置于载置部位4的载置面4a的状态下的保持装置23相对于行进体16的位置。保持装置23处于移载用位置而物品6载置于载置面4a的状态下,借助把持驱动机构30,将一对把持部50的间隔从把持物品6的把持用间隔切换成解除物品6的把持的解除用间隔。这样,物品6被移载至载置部位4。如上所述,本例中,在载置部位4的载置面4a设有多个定位用的卡合凸部p。此外,在物品6的底面11a设有与该卡合凸部p卡合的卡合凹部b。并且,物品6为适当姿势的状态下保持装置23下降至移载用位置的情况下,呈物品6的卡合凹部b与载置部位4的卡合凸部p卡合的状态,物品6被适当地载置于载置部位4的载置面4a。以下,保持装置23下降至移载用位置的情况下,将物品6的卡合凹部b能够适当地卡合于载置部位4的卡合凸部p的物品6的姿势设为适当姿势。在本实施方式中,载置部位4的载置面4a被配置成沿着水平面,物品6的姿势为适当姿势的状态下,物品6的底面11a为沿着水平面的姿势。
55.作为比较例,对保持装置23不具备直线运动引导机构37a的情况的移载动作进行说明。该情况下,一对把持部50不限制相对于连结部31的摆动。因此,物品6的重心在宽度方向y上偏移的情况下,相对于一对把持部50作用偏移的载荷,一对把持部50及把持于其的物品6相对于连结部31向宽度方向y倾斜。例如,本实施方式所示,物品6是容纳多个半导体基板的前端开启式晶圆传送盒,盖体5(参照图7)被配置于物品6的宽度方向y的一侧的情况下,盖体5的每单位体积的重量比其他部分大,所以根据容纳于内部的半导体基板的个数,物品6的整体的宽度方向y的重心位置变动。具体地,由于半导体基板的个数变少,物品6的重心向宽度方向y上的盖体5侧偏移。如本比较例所示,保持装置23不具备直线运动引导机构37a的情况下,一对把持部50被弹性支承机构36弹性地支承。因此,若物品6的重心存在偏移,则在重心偏移的一侧不能限制一对把持部50与物品6一同倾斜,物品6相对于适当姿势向宽度方向y倾斜。这样物品6相对于适当姿势倾斜的状态下保持装置23下降至移载用位置的情况下,例如图7所示,呈物品6的底面11a相对于载置面4a倾斜的姿势。因此,产生物品6的卡合凹部b不能适当地卡合于载置部位4的卡合凸部p的情况。这样的情况下,不能将物品6适当地载置于载置部位4,会产移载不良的情况。
56.与此相对,如本实施方式所示,保持装置23具备直线运动引导机构37a的情况下,作为物品支承部51的一对把持部50相对于连结部31允许上下方向z的平行移动,并且限制相对于连结部31的摆动。因此,一对把持部50的每一个在仅允许沿上下方向z平行移动的状态下被弹性支承机构36弹性地支承。此外,如上所述,一对把持部50的每一个被形成为沿宽度方向y延伸,将物品6的凸缘部9以沿着宽度方向y的姿势支承。因此,限制物品6相对于一对把持部50在宽度方向y上摆动。由此,如上所述,物品6的重心在宽度方向y上偏移,由此,相对于一对把持部50作用偏移的载荷的情况下,一对把持部50相对于连结部31的各自的姿势也被维持,限制物品6相对于连结部31倾斜。因此,借助升降装置24使保持装置23下降至
移载用位置来将物品6载置于载置部位4的情况下,能够限制物品6的姿势相对于适当姿势倾斜。这样将物品6维持成适当姿势的状态下使保持装置23下降至移载用位置,由此,如图6所示,能够使设置于物品6的底面11a的卡合凹部b适当地卡合于设置于载置部位4的载置面4a的卡合凸部p。即,与物品6的重心的宽度方向y的偏移无关,能够将物品6适当地载置于载置部位4。
57.2.其他实施方式接着,对物品搬运车的其他实施方式进行说明。
58.(1)上述的实施方式中,以将构成设置于物品支承部51和连结部31之间的弹性支承机构36的弹性体36a设为压缩螺旋弹簧的结构为例进行了说明。但是,弹性体36a的结构不限于此。也可以是,通过改变弹性支承机构36的弹性体36a的配置,使用拉伸螺旋弹簧等其他形式的弹簧。此外,例如,也可以使用具有弹性的合成橡胶、合成树脂等。
59.(2)上述的实施方式中,以物品支承部51具备一对把持部50而一对把持部50被沿行进方向x彼此离开地配置的结构为例进行了说明。但是,物品支承部51的结构不限于此。例如,也可以是,一对把持部50被沿宽度方向y彼此离开地配置。这样的结构适合在物品6的重心位置有行进方向x的偏移的情况、及宽度方向y的载荷作用于搬运中的物品6的情况。此外,例如,也可以是,物品支承部51取代一对把持部50而具备被插入凸缘部9的插入用空间12的叉。或者,也可以是,物品支承部51取代一对把持部50而具备用于将物品6载置于载置面来支承的载置部。这些结构的情况下,一体地构成的物品支承部51的整体被弹性支承机构36弹性支承,并且借助引导机构37引导成,允许相对于连结部31的上下方向z的平行移动并且限制相对于连结部31的摆动(行进方向x及宽度方向y的双方的摆动)。
60.(3)上述的实施方式中,以一对直线运动引导机构37a被比一对弹性体36a靠宽度方向y的外侧地配置的结构为例进行了说明。但是,本技术不限于这样的结构,例如,也可以是,一对直线运动引导机构37a被比一对弹性体36a靠宽度方向y的内侧地配置。
61.(4)上述的实施方式中,以一对引导体37b固定于联动固定部42a、一对移动体37c固定于被支承部50b的结构为例进行了说明。但是,本技术不限于这样的结构,例如,也可以是,一对引导体37b固定于被支承部50b,一对移动体37c固定于联动固定部42a。
62.(5)上述的实施方式中,作为构成引导机构37的直线运动引导机构37a的一例,对使用直线引导件的例子进行了说明。但是,直线运动引导机构37a的结构不限于此。例如,能够使用滚珠丝杠、直线衬套等、公知的各种直线运动引导机构。
63.(6)上述的实施方式中,如图4所示,以引导机构37关于一对把持部50的每一个具备两个、合计四个直线运动引导机构37a的结构为例进行了说明。但是,引导机构37的结构不限于此。例如,也可以相对于一个把持部50具备三个以上的直线运动引导机构37a。例如,也可以相对于一个把持部50仅具备一个直线运动引导机构37a。此外,物品支承部51被一体地构成的情况下,也可以是,相对于该一体的物品支承部51,设置有一个或多个直线运动引导机构37a。
64.(7)上述的实施方式中,以物品6具备凸缘部9和卡合凹部b、在载置部位4设有与卡合凹部b卡合的卡合凸部p的结构为例进行了说明。但是,本技术不限于这样的结构,例如,也可以是,物品6不具备卡合凹部b而不在载置部位4设置合凸部p的结构。即使是这样的结构,根据上述实施方式的结构,限制物品6在相对于载置部位4的载置面4a倾斜的姿势下被
载置,由此能够将物品6适当地载置于载置部位4。
65.(8)另外,上述各实施方式中公开的结构,只要不产生矛盾就也能够与其他实施方式中公开的结构组合应用。关于其他结构,本说明书中公开的实施方式在所有的方面都只不过是例示。因此,能够在不脱离本技术的宗旨的范围内适当地进行各种改变。
66.3.上述实施方式的概要以下,对上述已说明的物品搬运车的概要进行说明。
67.物品搬运车具备行进体、保持装置、升降装置,前述行进体沿行进路径行进,前述保持装置保持物品,前述升降装置被搭载于前述行进体,使前述保持装置相对于前述行进体升降,前述保持装置具备与前述升降装置连结的连结部、接触前述物品来支承前述物品的物品支承部,其特征在于,前述保持装置具备弹性支承机构和引导机构,前述弹性支承机构被设置于前述物品支承部和前述连结部之间,将前述物品支承部以相对于前述连结部在上下方向上具有弹性的状态支承,前述引导机构将前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向的移动引导,前述引导机构构成为,允许前述物品支承部相对于前述连结部的前述上下方向平行移动,并且限制前述物品支承部相对于前述连结部的摆动。
68.根据本结构,在物品支承部和连结部之间设置有弹性支承机构,所以能够借助弹性支承机构使行进体行进引起的行进体的振动、被升降装置升降引起的保持装置的振动等衰减。由此,能够将传向物品的振动抑制成较少。
69.此外,根据本结构,引导机构构成为限制物品支承部相对于连结部的摆动,所以能够限制物品支承部相对于连结部倾斜。因此,例如物品的重心有偏移等而相对于物品支承部作用偏移的载荷的情况下,也能够限制物品支承部及支承于物品支承部的物品相对于连结部倾斜。因此,借助升降装置使保持装置下降来将物品载置于载置部位的情况下,能够避免发生物品的姿势相对于适当姿势倾斜从而不能将物品适当地载置的情况。另一方面,引导机构允许物品支承部相对于连结部的上下方向的平行移动。因此,不会由于引导机构妨碍借助弹性支承机构缓和作用于物品支承部及支承于物品支承部的物品的上下方向的振动的效果。
70.这样根据本结构,能够将传向物品的振动抑制成较少,且能够抑制物品相对于适当的姿势倾斜,将物品适当地载置于载置部位。
71.这里,优选地,前述物品支承部具备一对把持部,一对前述把持部被配置成,在作为沿着前述行进路径的方向的行进方向上彼此离开,前述弹性支承机构以一对把持部彼此独立地上下移动的方式支承一对前述把持部,前述引导机构构成为引导关于一对把持部的每一个的相对于前述连结部的前述上下方向的移动。
72.一般地,对于正在被物品搬运车搬运的物品,多由于物品搬运车的加减速而作用行进方向的载荷。根据本结构,一对把持部被在行进方向上彼此离开地配置,以分别独立地上下移动的方式被支承于弹性支承机构,所以具备如上所述的引导机构的结构中,也允许物品的行进方向的摆动。因此,不会由于引导机构妨碍借助弹性支承机构缓和物品向行进方向摆动的方向的振动的效果。另一方面,本结构中,将上下方向观察时与前述行进方向正交的方向设为宽度方向,引导机构关于一对把持部的每一个构成为引导相对于连结部的上下方向的移动,构成为限制一对把持部的每一个相对于连结部的摆动。因此,例如由于在物品的重心有宽度方向的偏移等而相对于物品支承部作用宽度方向上偏移的载荷的情况下,
也能够限制物品支承部相对于连结部向宽度方向倾斜。因此,能够限制支承于物品支承部的物品相对于连结部向宽度方向倾斜。本结构适合物品的重心在宽度方向上偏移较多的情况。
73.此外,优选地,将沿着前述上下方向的上下方向观察时与前述行进方向正交的方向设为宽度方向,前述弹性支承机构关于一对前述把持部的每一个具备在前述宽度方向上被离开地配置的一对弹性体,前述引导机构关于一对前述把持部的每一个具备在前述宽度方向上被离开地配置的一对直线运动引导机构,在一对前述把持部的每一个,一对前述直线运动引导机构被比一对前述弹性体靠前述宽度方向的外侧地配置。
74.根据本结构,与一对直线运动引导机构比一对弹性体靠宽度方向的内侧配置的情况相比,能够使作用于直线运动引导机构的载荷变小。因此,变得容易避免直线运动引导机构的大型化、高成本化。
75.此外,优选地,前述引导机构具备在沿着水平面的方向上彼此离开地配置于多个部位的直线运动引导机构,前述直线运动引导机构的每一个具备固定于前述连结部及前述物品支承部的一方的引导体、固定于前述连结部及前述物品支承部的另一方而沿前述引导体移动的移动体,前述引导体被配置成前述移动体沿前述上下方向移动。
76.根据本结构,直线运动引导机构被在沿水平面的方向上彼此离开地配置于多个部位,所以容易将作用于各个直线运动引导机构的载荷抑制成比较小。此外,借助配置于多个部位的直线运动引导机构,容易将物品支承部稳定地支承。
77.此外,优选地,前述物品是具备设置于上部的凸缘部和设置于底部的卡合凹部的容器,前述卡合凹部在借助前述升降装置下降而载置于载置部位的情况下,卡合于被在该载置部位设置的定位用的卡合凸部,前述物品支承部构成为借助一对把持部把持前述凸缘部。
78.根据本结构,将物品载置于载置部位的情况下,卡合凹部卡合于卡合凸部,所以能够将容器在载置部位的适当的位置适当地载置。此外,物品支承部借助一对把持部把持凸缘部,由此能够将物品在悬挂的状态下适当地保持。
79.产业上的可利用性本技术的技术能够利用于沿行进路径行进的物品搬运车。
80.附图标记说明1:顶棚搬运车(物品搬运车)6:物品9:凸缘部11:底部23:保持装置24:升降装置31:连结部32:物品支承部50:把持部36:弹性支承机构36a:弹性体
37:引导机构37a:直线运动引导机构b:卡合凹部p:卡合凸部x:行进方向y:宽度方向z:上下方向。
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1