一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置的制作方法

本实用新型涉及异质结电池制造技术领域，尤其涉及一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置。

背景技术：

随着太阳能的广泛应用，太阳能光伏板产业也蓬勃发展，高效perc、黑硅、n型双面、硅异质结（hjt）等高效电池的开发越来越受重视。其中硅基异质结（hjt)太阳电池的高转化效率、高开路电压、低温度系数、无光致衰减（lid）、无电致衰减（pid）、低制程工艺温度等优势成为了最热门研究方向之一。

hjt太阳电池制备过程中，制绒清洗是第一道工序，为pecvd制备良好的非晶硅层提供洁净的晶硅表面，所以制绒清洗对于hjt电池的转换效率有巨大的影响。

异质结电池制造过程中，第一步为清洗制绒，采用的是槽式清洗方式，即硅片装载在花篮中再通过机械手放入清洗槽内。硅片在制绒清洗机内要经过碱抛和制绒，硅片的厚度会减少20um左右，目前硅片的厚度越来越薄，两者相加，导致硅片更薄从而使硅片的硬度大大降低，参见图1，在清洗后，机械手把花篮从槽内提拉出来的时候，硅片间的液体由于重力原因流回槽内，造成硅片间瞬时的负压，而且水分子为极性分子，易使相邻的两片硅片粘合在一起，造成摩擦损伤和污染，进而成品电池在el（电致发光）检测时为不良，导致电池优质品率降低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，解决hjt电池清洗制绒过程中硅片粘合的问题，降低因硅片粘合造成的电池不良比例，提高hjt太阳能电池的优质品率。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，它包括机械手,所述机械手夹持花篮，花篮设置在清洗槽内，所述花篮内设有多个并排布置的硅片；它还包括设置在机械手上的喷淋装置，所述喷淋装置包括喷淋管组件和多个均匀分布在喷淋管组件上的喷嘴，所述喷淋管组件上还设有进水口；机械手在提取花篮时，喷淋装置位于花篮的正上方，喷淋装置内通过进水口通去离子水，去离子水通过喷淋管组件流入各个位置，再从喷嘴喷出，喷淋的水能够全面覆盖花篮的各个位置。

进一步地，所述喷淋管组件呈横置的h型，包括两个上下平行的横管和用于两个横管中心连接的竖管，所述横管上均布有多个喷嘴，所述竖管上设有进水口。

进一步地，所述喷淋管组件呈类矩形，两个长边上均布有多个喷嘴，两个短边上设有进水口。

进一步地，所述喷淋装置的喷淋管组件还可为“田”字形或“一”字形。

进一步地，所述喷嘴为螺旋喷嘴、扇形喷嘴、雾化喷嘴或锥形喷嘴。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在在机械手上安装喷淋装置，喷淋装置由喷淋管和喷嘴组成，喷头均匀分布在喷淋管上，喷淋管设计要求每个喷淋头出水压力相等，整个喷淋装置喷出来的水能够均匀喷洒到每一片硅片上，利用夹杂空气的水雾或者大量的水柱去填充在提拉过程中因原先硅片间的液体流回槽内导致的负压空间，缓和硅片的弯曲量，避免硅片接触后由于水的极性粘合在一起导致的摩擦损伤和污染，降低因硅片粘合造成的电池不良比例，提高hjt太阳能电池的优质品率。

附图说明

图1为现有的机械手提拉花篮的动作过程示意图。

图2为本实用新型实施例1的结构示意图。

图3为本实用新型实施例1的机械手仰视图。

图4为本实用新型实施例2的机械手仰视图。

其中：

花篮1、清洗槽2、机械手3、硅片4、喷淋装置5、喷淋管组件5.1、进水口5.2、喷嘴5.3。

具体实施方式

为更好地理解本发明的技术方案，以下将结合相关图示作详细说明。应理解，以下具体实施例并非用以限制本发明的技术方案的具体实施态样，其仅为本发明技术方案可采用的实施态样。需先说明，本文关于各组件位置关系的表述，如a部件位于b部件上方，其系基于图示中各组件相对位置的表述，并非用以限制各组件的实际位置关系。

实施例1：

参见图2和图3，本实用新型涉及的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，它包括机械手3和设置在机械手3上的喷淋装置5，所述机械手3夹持花篮1，花篮1设置在清洗槽2内，所述花篮1内设有多个并排布置的硅片4。

所述喷淋装置5包括喷淋管组件5.1和多个均匀分布在喷淋管组件5.1上的喷嘴5.3；所述喷淋管组件5.1呈横置的h型，包括两个上下平行的横管和用于两个横管中心连接的竖管，所述横管上均布有多个喷嘴5.3，所述竖管上设有进水口5.2。

机械手3在提取时花篮1时，喷淋装置5位于花篮1的正上方，喷淋装置5内通过进水口5.2通去离子水，去离子水通过喷淋管组件5.1流入各个位置，再从喷嘴5.3喷出，喷淋的水能够全面覆盖花篮的各个位置。

实施例2：

参见图4，本实用新型涉及的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，与实施例1不同之处在于，所述喷淋管组件5.1呈类矩形，两个长边上均布有多个喷嘴5.3，两个短边上设有进水口5.2。

工作原理：

所述喷淋装置由喷淋管和喷嘴组成，喷头均匀分布在喷淋管上，喷淋管设计要求每个喷淋头出水压力相等，整个喷淋装置喷出来的水能够均匀喷洒到每一片硅片上。喷洒出来水的形态和水的流量与选择的喷头有关。

喷淋装置的管道设计可为“田”字形，“一”字形等任何形状。

喷嘴可为螺旋喷嘴、扇形喷嘴、雾化喷嘴、锥形喷嘴等。

机械手提拉的过程中，开启喷淋装置，把雾状的或者柱状的去离子水喷到硅片上，夹杂着空气的水雾或者大量的水流填充液体流走时的空间，不会使硅片间产生瞬间的强负压，从而使硅片不易粘合在一起。

以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，它包括机械手（3）,所述机械手（3）夹持花篮（1），花篮（1）设置在清洗槽（2）内，所述花篮（1）内设有多个并排布置的硅片（4）；其特征在于：它还包括设置在机械手（3）上的喷淋装置（5），所述喷淋装置（5）包括喷淋管组件（5.1）和多个均匀分布在喷淋管组件（5.1）上的喷嘴（5.3），所述喷淋管组件（5.1）上还设有进水口（5.2）；机械手（3）在提取时花篮（1）时，喷淋装置（5）位于花篮（1）的正上方，喷淋装置（5）内通过进水口（5.2）通去离子水，去离子水通过喷淋管组件（5.1）流入各个位置，再从喷嘴（5.3）喷出，喷淋的水能够全面覆盖花篮的各个位置。

2.根据权利要求1所述的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，其特征在于：所述喷淋管组件（5.1）呈横置的h型，包括两个上下平行的横管和用于两个横管中心连接的竖管，所述横管上均布有多个喷嘴（5.3），所述竖管上设有进水口（5.2）。

3.根据权利要求1所述的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，其特征在于：所述喷淋管组件（5.1）呈类矩形，两个长边上均布有多个喷嘴（5.3），两个短边上设有进水口（5.2）。

4.根据权利要求1所述的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，其特征在于：所述喷淋装置（5）的喷淋管组件（5.1）还可为“田”字形或“一”字形。

5.根据权利要求4所述的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，其特征在于：所述喷嘴（5.3）为螺旋喷嘴、扇形喷嘴、雾化喷嘴或锥形喷嘴。

技术总结
本实用新型涉及的一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置，它包括机械手,所述机械手夹持花篮，花篮设置在清洗槽内，所述花篮内设有多个并排布置的硅片；它还包括设置在机械手上的喷淋装置，所述喷淋装置包括喷淋管组件和多个均匀分布在喷淋管组件上的喷嘴，所述喷淋管组件上还设有进水口；机械手在提取时花篮时，喷淋装置位于花篮的正上方，喷淋装置内通过进水口通去离子水，去离子水通过喷淋管组件流入各个位置，再从喷嘴喷出，喷淋的水能够全面覆盖花篮的各个位置。本实用新型避免硅片接触后由于水的极性粘合在一起导致的摩擦损伤和污染，降低因硅片粘合造成的电池不良比例，提高HJT太阳能电池的优质品率。

技术研发人员：凌俊;马子轩;易治凯
受保护的技术使用者：江苏爱康能源研究院有限公司;浙江爱康光电科技有限公司
技术研发日：2021.01.21
技术公布日：2021.07.30