专利名称：电介质单元的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种用于可变电容器等的电介质单元的制造方法。
以往这种电介质单元的制造方法，参照图2进行说明。
以电介质陶瓷粉末为原料，成形陶瓷粉末制备成形件，或者把电介质陶瓷生料片切割成预定大小，准备成形体，再把这些成形体逐个排列，装填在烧结用的盒中，在烧成炉内烧结，得到板状的电介质坯体6。
然后，为了使电介质坯体6其一个主面6a的平面度良好，用研磨机平面研磨一个主面6a或两个主面。这时，虽然没有图示，但在具有多个贯通孔的支座的贯通孔中，分别插入电介质坯体6，进行研磨。
将由此所得一主面6a因研磨面精度高的电介质坯体6，逐个在另一主面上，印刷、干燥、烧结以Ag为主成分的固定电极7，从而得到电介质单元1。再者，在多个电介质坯体6同时印刷时，往往也将介质坯体6装填在定位夹具中使之定位后，印刷固定电极7，再经干燥及烧结，制得电介质单元1。
对于采用该电介质单元1的可变电容器，参照图3进行说明。
可变电容器由电介质单元1、金属动片2、定片端子3、动片端子4、壳体5构成。
电介质单元1由陶瓷构成的板状电介质坯体6的一个主面6a接触金属动片2，而在另一个主面上形成固定电极7。
金属动片2上面备有能插入用于调整的旋转工具的插合槽8，下面由动片电极9和凹部10构成，动片电极9凸出，中间横隔电介质坯体6与电介质单元1的固定电极7相对，凹部10具有与动片电极9凸出相同高度的凸出部11。
定片端子3，其一端12与固定电极7弹性接触从而电气导通，另一端13导出壳体5外部作为外部端子。
动片端子4其一端14与金属动片2的上面弹性接触，从而电气导通，另一端15引出壳体5的外部，成为外部端子。
壳体5由树脂等绝缘体构成，它具有容纳电介质单元1及金属动片2的内部空间，同时，固定动片端子4。定片端子3例如可用镶嵌成型保持在壳体5上。
电介质单元1的固定电极7向下装入壳体5的内部空间，然后金属动片2的动片电极9向下装入壳体5的内部空间，进而，装入动片端子4，并通过铆接等封闭壳体5的开口部5a加以保持。即，金属动片2相对于电介质单元1可旋转地保持在壳体5的内部空间中。这时，定片端子3其一端12与固定电极7弹性接触，从而电气导通，动片端子4其一端14弹性接触在金属动片2的上面，从而电气导通。
这样构成的可变电容器，若用旋转工具转动金属动片2，则间隔电介质坯体6与固定电极7对置的动片电极9的对置面积发生变化，从而固定电极7和动片电极9间产生的静电电容量变化。该静电电容量经定片端子3及动片端子4导出。
但是，这种制造方法的电介质单元1，以单体成形电介质坯体6，成形成本高，同时，烧成时，必须逐个电介质坯体6排列在烧结盒中，具有装盒成本高的问题。
此外，在烧结成的电介质坯体6的至少一个主面作平面研磨时，必须逐个排列电介质坯体6，因而存在电介质坯体6研磨成本高的问题。
再者，在电介质坯体6的其它主面上形成固定电极7时，必须每个电介质坯体6分别进行处理，与此同时，还存在多个同时印刷固定电极7时，固定电极7的位置会相对于电介质坯体6偏移之类的问题。
本发明的目的在于消除上述缺陷，提供一种由大型电介质基片同时制造多个电介质单元，且电介质单元品质良好、大批量生产性能优良的电介质单元的制造方法。
为了达到上述目的，本发明的电介质单元的制造方法包括准备板状电介质基片的工序、研磨上述电介质基片的一个主面的工序、在所述电介质基片的另一个主面上形成多个电极的工序、把所述电介质基片分别割成具有所述电极的电介质单元的分割工序。
尤其，在上述研磨电介质单元的工序中，最好使表面光洁度研磨为5μm以下。
由此，能使电介质单元的研磨、电极的形成，批量大且容易进行，并能制造静电容量一定、品质良好的电介质单元。
图1是表示本发明的电介质单元制造方法的一个实施例的工序图。
图2是已有技术的电介质单元的立体图。
图3是已有技术的可变电容器的剖面图。
图中，21是电介质基片，22、25、26是固定电极，23是电介质单元。
下面，参照图1详细本发明的一个实施例。
示于图1(a)的大型板状电介质基片21是例如由电介质陶瓷粉末成形、烧结而得到的。平面研磨如此得到的电介质基片21的一个主面21a，使其平面度精度良好。再者，电介质基片21也能够通过烧结预定大小的电介质陶瓷生料片而得到。此外，在电介质基片21的主面弯曲大时，要平面研磨电介质基片21的两主面，使主面的弯度减小，同时，能使平面度的精度良好。
然后，如图1(b)所示，在电介质基片21的另一主面，即，平面精度好的主面21a的反面形成多个相互平行的、例如以银(Ag)为主成分的带状的电极22。电极22为图1(d)所示后续工序，切断电介质基片21所得电介质单元23的固定电极25、26，例如，可通过印刷烧结糊状的电极成分形成，或把电极材料当作靶，通过溅射形成。
然后，如图1(c)所示，将已形成电极22的电介质基片21，沿相互垂直的多根虚线X、Y，通过模刻或激光等，切断、分割成小的电介质单片。这样得到的一块单元为示于图1(d)的电介质单元23。
电介质单元23的分割单片后所得电介质胚体24的一个主面24a是面精度良好的研磨面，而另一主面的两端部具有电极22分割后得到的略呈对称的固定电极25、26，电介质单元23用于可变电容，由于静电电容大及稳定性等方面的原因，该研磨(即一个主面24a)的表面光洁度最好为5μm以下。
又，电介质单元23用于可变电容时，固定电极25、26的一个起固定电极的作用，而另一个虚设并不起固定电极的作用，在二处设置是为了组装时消除电介质单元23的纵向方向性。因而，在组装时不涉及电介质单元23的方向性时，电介质单元23的固定电极25、26中任一个不要均可。
把这种电介质单元23用于代替示于图3的可变电容的电介质单元1，可得到可变电容。即，把本实施例的电介质单元23使其固定电极25、26向下装入至壳体5中。其它工序与上述已有技术的例子相同，故省略其详细说明。
又，电介质单元23的外形与已有技术例子的电介质单元1的外形不同，但电介质单元23的外形是有利于避免随金属动片旋转而共同旋转的形状就可以，在本实施例中，按照外形为方形的电介质单元23调整壳体5的内部空间的形状即可。
由上所述，在本发明的电介质单元的制造方法中，以大型电介质基片为单位这种状态进行成形、装填、烧成，因而处理容易。再者，在烧成的电介质基片的一个主面作平面研磨时，也以大型基片为单位，可方便地进行处理。
此外，在形成电介质基片另一主面时，也能在大型电介质基片上同时形成多个电极，并可减少电极对电介质坯体的位置偏差，高效制造对于静电电容品质良好的电介质单元。
权利要求
1.一种电介质单元的制造方法，其特征在于包括准备板状电介质基片的工序，研磨所述电介质基片的一个主面的工序，在所述电介质基片的另一个主面上形成多个电极的工序，把所述电介质基片分别分割成具有所述电极的电介质单元的工序。
2.如权利要求1所述的电介质单元的制造方法，其特征在于，所述电介质单元的研磨工序是把表面光洁度研磨至5μm以下的工序。
全文摘要
本发明揭示一种由大型电介质基片同时制造多个电介质单元的方法，该电介质单元品质优良，大批量生产性能也优良。该方法包括准备板状电介质基片的工序、研磨电介质基片至少一个主面的工序、在电介质基片另一主面上形成多个电极的工序、分割电介质基片为具有电极的电介质单元从而得到电介质单元的工序。
文档编号H01G13/00GK1161549SQ9710288
公开日1997年10月8日 申请日期1997年2月25日 优先权日1996年2月29日
发明者岸下浩幸, 上田幸憲 申请人:株式会社村田制作所