专利名称：输送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种输送系统，特别是集成半导体生产的一种输送系统。此外本发明还涉及用于中间贮存的装置和生产过程中产品的输送。
现代工业通常以其高度自动化为特征。这既涉及到生产过程中产品本身的加工也涉及到生产过程中产品从一个加工装置输送到另一个加工装置。特别是在半导体工业中高度自动化是绝对必要的，这样才能具有国际竞争能力。
集成半导体产品生产时，产品要经过多达600个加工步骤，其中一大部分只有用高度专门化的加工装置在洁净环境里才能进行。这里往往由若干同样的加工装置组合成一个加工区(“Bay车间”)，其中通常将若干个加工区一起安排在工厂楼房中的同一层内。
为使要加工的半导体晶片输送到各个加工区或加工装置，在也安排有加工装置的工厂楼房的同一层也设置输送系统。在此在两个加工区之间的运输，例如可通过在楼层(“单轨”)的顶棚轨道上运行的车辆进行。在各个加工区经常设置有中间仓库，所谓的“储料器”(“stocker”)，它可用于加工区指定的半导体晶片的短时间贮存。
半导体晶片从一个中间仓库输送到实际加工的装置可采用机器人，轨道上运行的机器人，楼层地面上轨道运行的车辆或通过楼层地面上无人驾驶车辆(“Automated Guided Vehiches AGV自动指挥车辆”)。
但这种输送系统有一系列缺点，其中之一是输送速度太慢。从一个加工装置输送到另一个加工装置要10分钟或更多时间。另外输送控制软件非常复杂。于是必须绕过障碍物，特别是加工装置，和放弃输送优先权。有时出现超前过程，则必须考虑交叉和分支。此外在加工区的中间仓库需要大的安置场地，此场地利用于本来的生产有更大意义。
因此本发明的任务是，提供一种输送系统以及一种用于中间贮存和用于加工中产品的输送装置，它们可避免和减少迄今为止输送系统上述的缺点。
此任务由按权利要求1的输送系统，以及按权利要求10的用于中间贮存的装置和用于加工中产品的输送的装置予以解决。本发明其它有利的实施方式，结构和观点从本说明的从属权利要求中和附图中可看到。
按本发明提供一种输送系统用于输送在加工中的产品，特别是集成半导体产品至安装在楼房里的加工装置，在那里这些产品进行各加工步骤。按本发明的输送系统的特征在于，输送系统和加工装置通过楼房的天花板隔开和通过楼层的天花板的开孔有一从输送系统到加工装置的供料线。
本发明的输送系统具有的优点是，它从结构上与加工装置隔离开，因此可达到明显较高的输送速度。在输送系统的平面上每一个位置自由选择地到达，即使出现故障，任何时间人都可以到达。控制软件的复杂性可明显减少。在加工装置的平台上或楼层上可节省常常在天花板上采用的轨道。加工装置平面上的空间高度可减少至1米。输送系统的设计变得简单，因现只需保持很少的超净间的环境。输送系统的建造和维护不受加工装置的影响。此外本发明的输送系统很容易适应于加工装置的任何布置。经常只需为此匹配一个控制软件。
优选将输送系统安排在加工装置上方。在目前一般的半导体工厂中楼层一层挨一层，安装加工装置楼层上方的楼层，只是采用所谓的“过滤器通风单元”(“Filter Fan Uuits”)用于超净空气的供应，这样这里可提供足够的地方。
此外优选的是，如果从输送系统通过在楼房天花板的开孔进入加工装置的供料线作为升降梯构成的话。此升降梯可附带作为可接受的短时间的中间仓库。
按本发明的输送系统另一个优选的实施形式是在此输送系统中至少准备一个仓库区用于在加工中产品的中间贮存。按此方式在加工装置的平面或楼层上加工区中的中间仓库可被节省。这样每一加工区可多安装一个或两个加工装置。
其中优选的是仓库区作为平面水平的场地建造。这样可按简单方式对加工中的产品实现快速，自由可选择的存取。
优选的是，输送系统划分为分加工区，其中划分的分加工区各至少有一区内输送系统和通过至少一个区间输送系统相互连接。特别优选的是，如果仓库区也按加工区划分或在本发明的输送系统内相应的设置许多仓库区。与此相应的优选的是，如果输送系统到加工装置的供料线通过区内输送系统可达到。
此外优选的是，如果区内输送系统是包括一个夹持器的运输起重机和区间输送系统是作为运输系统或作为轨道运行系统构成的。
除此之外按本发明提供一种用于中间贮存和用于输送加工中的产品的装置，特别是为按本发明的输送系统。此装置有一仓库区用于在加工中的产品的中间贮存和一个输送装置用于输送在加工中的产品。此装置的特征在于，仓库区作为平面水平的场地构成的。这样可按简单的方式对加工中的产品实现快速，可处由选择的存取。
输送装置优选这样布置，在加工中的产品在第一个入口/出口区，仓库区和至少一个第二个入口/出口区之间可来回运输。因此在加工中的产品例如可由区间输送系统通过有关仓库区至通到加工装置的供料线。
其中优选的是，如果按本发明装置的输送装置包括一个带有夹持器的运输起重机。
本发明借助于附图进一步进行解释，表示如下
图1，按本发明的输送系统的图解说明，图2，按本发明的输送系统的另一图解说明，图3，按本发明的用于加工中产品的中间贮存和输送的装置。
图1表示按本发明输送系统1的图解说明。按本发明的输送系统1是通过楼房天花板7与加工装置5隔离开，该装置是布置在输送系统1下面的一层内。作为升降梯形成的供料线4穿过楼房天花板的开孔8(见图2)连接输送系统1与加工装置5。
加工装置5组合成各加工区6。与此相应的输送系统1也划分为若干分区2。其中分区2各包括一个按本发明的装置10用于中间贮存和用于在加工中的产品的输送，如它参照图3所解释的。分区2通过区间输送系统3相连接，此系统包括在走廊的平面上沿轨道运行的车辆(图中未表示)。
图2表示按本发明的输送系统1的另一图解说明，如图1所示，按本发明的输送系统1通过楼房天花板7与加工装置5隔离开，这些装置安排在输送系统1下面一层内。作为升降梯形成的供料线4通过楼房天花板7的开孔8连接输送系统1与加工装置5。
在加工装置楼层的下面是另外的一层9；这一层容纳其它的辅助设备。
输送系统1和加工装置5通过在结构上的隔离可达到明显高的输送速度。输送系统1平面上的每一位置可自由选择地到达。如果一旦出现故障，任何时间都可到出事点处理。如已解释过的，输送系统1可建造和维护保养不受加工装置5的影响。除此之外按本发明的输送系统1很容易适应于加工装置5的任何布置。经常只需为此匹配控制软件。
图3表示用图解说明，按本发明用于中间贮存和用于输送在加工中产品20的装置10。本发明的装置10构成本发明的输送系统1的一部分。按本发明的装置10各在分区2中构成一个区内输送系统(见图1)。
按本发明的装置10包括作为输送装置的运输起重机14，它有一在轨道18上运行的带有伸缩臂16的车箱15。在伸缩臂16的末端装有一个夹持器17。运输起重机14安排在仓库区11的上方，仓库区是建成平面，水平的场地。在加工中的产品20在仓库区排列成三排。在此情况在加工中的产品20是由半导体晶片组成的，它们合并在所谓的散装箱(Losen)中。
此外装置10具有两个进/出口区12和13。其中进/出口区12用于从区间输送系统3(见图1)接纳半导体晶片和进/出口区13用于从升降梯4接纳半导体晶片，升降梯进入加工装置5(见图1或2)。
通过仓库区11可节省迄今在加工区6普遍采用的中间贮存。这样每一个加工区6可接纳一个或两个附加的加工装置5。
权利要求
1.输送系统(1)用于在加工中的产品，特别是集成半导体产品输送到安排在楼房里的加工装置(5)，在那里对在加工中的产品(20)进行各加工步骤，其特征在于，输送系统(1)和加工装置(5)是通过楼房的天花板(7)隔离开的和供料线(4)从输送系统(1)通过在楼房天花板(7)的开孔(8)到加工装置(5)。
2.按权利要求1的输送系统(1)，其特征在于，输送系统(1)安排在加工装置(5)上方。
3.按权利要求1或2的输送系统(1)，其特征在于，供料线(4)从输送系统通过在楼房天花板(7)的开孔(8)到加工装置(5)，它是作为升降梯形成的。
4.按权利要求1至3之一的输送系统(1)，其特征在于，至少设置一个仓库区(11)用于在加工中产品(20)的中间贮存。
5.按权利要求4的输送系统(1)，其特征在于，仓库区(11)是一平面，水平的场地。
6.按权利要求1至5之一的输送系统(1)，其特征在于，输送系统(1)按加工区(6)划分，其中分区(2)各至少有一个区内输送系统(10)和通过至少一个区间输送系统(3)相互连接。
7.按权利要求6的输送系统(1)，其特征在于，供料线(4)从输送系统(1)通过区内输送系统(10)可达加工装置(5)。
8.按权利要求6或7的输送系统，其特征在于，区内输送系统(10)包括一个带有夹持器(17)的运输起重机(14)。
9.按权利要求6至8之一的输送系统，其特征在于，区间输送系统(3)是作为运输系统或作为轨道运行系统形成的。
10.用于中间贮存和用于在加工中产品的输送的装置(10)，特别是用于按权利要求1至9之一的输送系统(1)的装置，带有一个仓库区(11)用于在加工中产品(20)的中间贮存和一个输送装置(14)用于在加工中产品的输送，其特征在于，仓库区(11)是一平面，水平的场地。
11.按权利要求10的装置(10)，其特征在于，输送装置(14)是这样形式构成的，在加工中的产品(20)在第一个进/出口区(12)，仓库区(11)和至少一个第二个进/出口区(13)之间可来回运输。
12.按权利要求10或11的装置(10)，其特征在于，输送装置(14)是作为带有夹持器的运输起重机构成的。
全文摘要
本发明提供一种输送系统用于输送在生产中的产品,特别是集成半导体产品到楼房中安排的加工装置,在那里对这些在加工中的产品要进行各加工步骤。本发明的输送系统的特征在于,输送系统和加工装置是通过楼房的天花板隔离开的和通过楼房的天花板的开孔有一从输送系统到加工装置的供料线。按本发明的输送系统具有的优点是,它从结构上与加工装置隔离开,因此使之达到明显较高的输送速度。在输送系统平面上的每一位置可自由选择地到达和在任何时候即使出现故障也可达到。此外可明显减少控制软件的复杂性。
文档编号H01L21/677GK1278361SQ98810826
公开日2000年12月27日 申请日期1998年8月27日 优先权日1997年8月29日
发明者J·格里辛, H·雅尼格 申请人:因芬尼昂技术股份公司, 奥特纳C·L·S·股份有限公司