专利名称：用于夹紧并抓住一个平基片的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种装置，它用于夹紧并抓住一个平的，最好是具有中心孔的圆盘形基片，例如一个光盘。这种装置包括有多个支承于一个机体内的夹钳，这些夹钳置于机体的空腔内并得以导向。夹钳允许横向垂直于壳体的垂直轴运动，在这些夹钳的端部各固定安置有磁铁，它们与在机体中央的位于磁铁上方的电磁铁相互作用，其磁场轴线与机体的垂直轴相重合，而且根据电磁铁的极性使装有磁铁的夹钳在两个止挡块之间来回运动。
在真空作业技术中，尤其是在薄涂层技术中，已知对圆盘形的基片，例如玻璃盘或铝盘进行涂层以用于磁性的或磁-光的信息载体。这些圆盘形的基片作为存储介质以各种方式被应用于数字式信息技术。在溅涂作业中例如用一层铝涂覆到压印处理过的塑料盘上。这里所采用的溅涂覆层设备总是具有一种自动化的处理装置，用于在真空室之前、之内和之后运送这些基片。
例如处理装置的一个摆臂就把这些基片从一个缓冲器起运送到真空室内。然后在真空内把这些基片放置在一个旋转盘上，并与此盘一起穿过真空室的单个工位。为了装卸这些带有基片的旋转盘，在目前技术状况下已经知道有许多种用于夹紧和保持的装置了。
至今为止在真空室内大多还一直应用这种借助于真空-滑动绝缘套管而从真空室外面进行操作的夹钳。
这些已知的装置的缺点是，它们大多包含有太多的运动件，因而由于在滑动绝缘套管里的滑动运动会产生不希望的颗粒，这些颗粒以后就会到达涂层腔内，从而对涂层结果带来不利的影响。另外对于这种移动引入线来说总是能够在一定的运行时间之后发现密封磨损，这种磨损总是造成了真空室的泄漏，因而要进行费时，费钱的修理。
因此有人已经建议一种装置(G9307263.5)，用于夹紧和保持一个平的，最好是圆盘形的基片，这种装置主要包括多个指形夹钳和一个由弹性材料制成的薄膜，该薄膜封闭住了一个布置在一个耐压壳体内的孔，同时在薄膜的前面和后面可以调定各种不同的压力，而且布置这薄膜时使得在施加压力差时薄膜从其静止位置产生一个偏移，并在压力相等时通过一个压力弹簧又可以回复到它的静止位置。夹钳以其各自的一端机械地与此薄膜相连接，从而使夹钳以其另外的自由端完成一个摆动运动，以便夹紧和保持或松开基片这种运动与薄膜的偏移是成比例的。
已经公开的还有(DE19529945C2)一种装置，它用于夹紧和保持一个光盘，这种装置包括多个指状的，在机体内可摆动地支承的夹钳。夹钳被保持在机体头部的孔或开口中并得以导向，它可以围绕横向垂直于机体纵轴的轴线作摆动运动，此时所有夹钳的摆动轴都在一个平面内延伸并共同形成了一个围住此纵轴线的多角形。同时在夹钳的离开基片的端部各自都固定装设有磁铁，这些磁铁与一个在机体内位于磁铁上方的电磁铁互相作用，其磁场轴线与机体的纵轴线重合，而且电磁铁按照其极性使装有磁铁的夹钳端部在两个止挡之间来回运动。
本发明的任务就是提供一种装置，它可以在真空室之内和之外极其迅速并特别可靠地夹紧和保持住基片。此外应该使此装置合理地保持并导向，以补偿在基片送入时的微小的不均匀性和不精确性，因而避免了对敏感的基片产生损伤。
按照本发明这个任务是通过以下方法完成的机体至少部分地由一个具有中心孔的支座以一定间隙围夹住；同时在支座和机体之间在由支座围夹住的机体部分里规定有分布的由弹性材料制成的零件，它们一方面以其各自的一半位于机体的一个凹窝内，而另一方面以其各自的另外一半位于该凹窝对面的支座的凹窝内，在此，用于夹钳的空腔在一个横向垂直于机体垂直轴线的平面内并径向向外延伸。夹钳各具有两个边脚，其中之一构成滑块被保持于空腔内，并被导向可以滑动，而其中对于第一个边脚来说的另一个边脚则平行于机体轴线向下延伸，并在其自由端具有切槽用于夹紧基片中心孔的边缘。
本发明的其它细节和特征在从属权利要求中更详细地标明和叙述。
本发明允许有许多不同的实施方法，其中之一则简明地表示于附图之中。这些简图中
图1、图3表示了按此发明的具有三个径向可移动地支承的夹钳的一个装置的纵剖面以及图2表示从下面所看到的视图。
这装置主要包括一个具有中心盲孔4的法兰状机体3，在此中心盲孔内放了一个圆盘形的导向件5，在此导向件上切出了三个径向延伸的沟槽或空腔4,4′,4″。
夹钳5,…可滑动支承在空腔4,…内，每个夹钳5,…都有两个边脚5a,5b，其中总是一个5b设计为滑块，并在其上面的窄面上装有一个磁铁6,…。空腔4,…横向垂直于机体3的垂直轴H而延伸，也就是在径向方向上延伸。若是图中所表示的实施例情形规定总共有三个槽形空腔4,…，夹角分别为120°。空腔4,…都是在圆盘形零件7里加工出来，零件7和盆形的包住电磁铁线圈16的机体零件8一起都被保持在法兰9里面，同时这圆盘形零件7，盆形零件8和法兰9一起构成了机体3，它由一个支座10围住夹紧，也就是说要在法兰9和支座10之间保留一个间隙S。在法兰9和支座10之间在孔17范围内规定有球窝形的凹窝11,…，在圆周上分布，这些凹窝分别位于支座10上同样的球形凹窝12,…的对面。在一对相对布置的凹窝11,12,…里置入一个由弹性材料制成的球形零件13,…，在此，所有零件13,…与机体3一起在支座10处止动住，也就是说机体3能够相对于支座10实现一个小的摆动运动，或者翻转运动。
在构成一个磁铁轭的机体3的盆形零件8里设置一个磁铁线圈16，并将其推移到垂直延伸的轴杆19上，在此，轴杆19形成了一个止挡a。当这套装置处于松开位置时，这三个夹钳5,5′,…就靠在这止挡上。图3是图1视图的一个断面，但用放大比例表示，图中的夹钳5,…处于夹紧位置，在此，垂直的边脚5a,…也就是其槽口18,…包住基片14或者光盘(CD)的中心孔15的边缘，因而它的能够由运输装置的臂10抬起和运输。在夹紧位置时各自与水平布置的边脚5b,…固定连接的棒状磁铁6,…则紧靠在止挡b上。
如图1所示，法兰9封闭住了真空室壁22上的孔20，或者使孔20开通至该装置，因而机体3和法兰9就构成了一个真空闸门。当磁铁线圈16停留在大气侧时，夹钳5,…位于在真空区内的封闭位置。
权利要求
1．用于夹紧和抓住一个平的，最好是具有中心孔(15)的圆盘形基片(14)，例如一个光盘的装置，包括多个支承在一个机体里的夹钳(5,…)；在此，这些夹钳(5,…)保持在机体(3)的空腔(4,…)内并被导向，它们允许这些夹钳(5,…)横向垂直于机体(3)的垂直轴线(H)运动；在此，在这些夹钳上(5,…)分别固定布置了磁铁(6,…)，这些磁铁与一个在壳体(3)中央，在磁铁(6)上方布置的电磁铁(16)相互作用，电磁铁的磁场轴线与机体(3)的垂直轴线(H)相重合，并且使配有磁铁(6,…)的夹钳(5,…)按照电磁铁(16,…)的极性而在两个止挡(a,b)之间来回运动，其特征在于机体(3)至少部分地由一个具有中心孔(17)的支座(10)以一定间隙围夹住；同时在支座(10)和机体(3)之间，在由支座(10)所围夹住的机体(3)的零件(9)里规定有分配布置的，由弹性材料制成的零件(13,…)；它们一方面以其各自的一半位于机体零件(9)的一个凹窝(11,…)内，而另一方面它们又以其各自的另一半位于该凹窝(11,…)对面的支座(10)的凹窝(12,…)内，而且用于夹钳(5,…)的空腔(4,…)在一个横向垂直于机体垂直轴线(H)的平面内并沿径向向外延伸；在此，夹钳(5,…)各具有两个边脚(5a,5b,…)，其中之一(5b,…)构成滑块保持于空腔(4)内，并被径向可滑动地导向，而另外的垂直于第一种边脚(5b,…)并平行于机体轴线(H)的边脚(5a,…)则向下延伸，并在其自由端具有切槽(18)用于夹紧基片(14)中心孔(15)的边缘。
2．用于夹紧和抓住一个平的，最好是具有中心孔(15)的圆盘形基片(14)，例如一个光盘的装置包括有多个支承在一个机体里的夹钳(5,…)；这些夹钳(5,…)保持在机体(3)的空腔(4,…)内并被导向，它们允许这些夹钳(5,…)横向垂直于机体(3)的垂直轴线(H)运动；同时在这些夹钳上(5,…)分别固定布置了磁铁(6,…)，这些磁铁与一个在机体(3)中央，在磁铁(6)上方布置的电磁铁(16)相互作用，电磁铁的磁场轴线与机体(3)的垂直轴线(H)相重合，并且配有磁铁(6,…)的夹钳(5,…)按照电磁铁(5)的极性在两个止挡(a,b)之间来回运动，其特征在于，机体(3)至少部分地由一个具有中心孔(17)的支座(10)以一定间隙围夹住；同时在支座(10)和机体(3)之间，在由支座(10)所围夹住的机体(3)的零件(9)里规定有分布的，由弹性材料制成的零件(13,…)，它们一方面以其各自的一半位于机体零件(9)的一个凹窝(11,…)内，而另一方面它们又以其各自的另一半位于该凹窝(11,…)对面的支座(10)的凹窝(12,…)内。
3．用于夹紧和抓住一个平的，最好是具有中心孔(15)的圆盘形基片(14)，例如一个光盘的装置，包括多个支承在一个机体里的夹钳(5,…)；在此，这些夹钳(5,…)保持在机体(3)的空腔(4,…)内并被导向，它们允许这些夹钳(5,…)横向垂直于机体(3)的垂直轴线(H)运动；在此，在这些夹钳上(5,…)分别固定布置了磁铁(6,…)，这些磁铁与一个在壳体(3)中央，在磁铁(6)上方布置的电磁铁(16)相互作用，电磁铁的磁场轴线与机体(3)的垂直轴线(H)相重合，并且使配有磁铁(6,…)的夹钳(5,…)按照电磁铁(16,…)的极性而在两个止挡(a,b)之间来回运动，其特征在于用于夹钳(5,…)的空腔(4,…)在一个横向垂直于机体垂直轴线(H)的平面内并沿径向向外延伸；夹钳(5,…)各有两个边脚(5a,5b)，其中之一(5b,…)构成滑块保持于空腔(4)内，并被径向可滑动地导向，而另外的垂直于第一种边脚(5b,…)并平行于机体轴线(H)的边脚(5a,…)则向下延伸，并在其自由端具有切槽(18,…)用于夹紧基片(14)中心孔(15)的边缘。
全文摘要
用于夹紧和抓住一种光盘(14)的装置包括有多个支承在一个机体内并配有磁铁(6，…)的夹钳(5，…)，这些夹钳保持在机体(3)的空腔(4，…)内并被导向，它们允许这些夹钳(5，…)横向垂直于机体(3)的垂直轴线(H)运动，并与一个电磁铁(16)互相作用，电磁铁的磁场轴线与机体(3)的垂直轴线(H)相重合，并使得夹钳(5，…)按照电磁铁(16，…)的极性而在两个止挡(a,b)之间来回运动。机体(3)由一个支座(10)以一定间隙围夹住，而在支座(10)和机体(3)之间，在由支座(10)所围夹住的机体(3)的零件(9)里规定有分布的，由弹性材料制成的零件(13，…)。而且夹钳(5，…)各有两个边脚(5a,5b)，其中之一(5a，…)垂直于第一种边脚(5b，…)向下延伸，并以其自由端夹住基片(14)中心孔(15)的边缘。
文档编号H01L21/677GK1239063SQ9910478
公开日1999年12月22日 申请日期1999年4月2日 优先权日1998年4月2日
发明者M·柯尼希, J·博伊尔, S·班格特 申请人:莱博德系统股份有限公司