】
[0031]本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的装置及原理。在附图中，
[0032]图1a-1b为现有技术中反熔丝结构处于关和开状态时的结构示意图；
[0033]图2a_2f为本发明中【具体实施方式】中反熔丝结构的结构示意图。
【具体实施方式】
[0034]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0035]为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的描述，以说明本发明所述反熔丝结构。显然，本发明的施行并不限于半导体领域的技术人员所熟习的特殊细节。本发明的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以具有其他实施方式。
[0036]应予以注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施例，而非意图限制根据本发明的示例性实施例。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式。此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或附加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合。
[0037]现在，将参照附图更详细地描述根据本发明的示例性实施例。然而，这些示例性实施例可以多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的实施例。应当理解的是，提供这些实施例是为了使得本发明的公开彻底且完整，并且将这些示例性实施例的构思充分传达给本领域普通技术人员。在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度，并且使用相同的附图标记表示相同的元件，因而将省略对它们的描述。
[0038]本发明为了解决现有技术中存在的各种问题，提供了一种反熔丝结构，包括:
[0039]第一梳状金属件和第二梳状金属件，所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件相对设置；
[0040]其中所述第一梳状金属件包含至少一个第一指状金属线，所述第二梳状金属件包含至少一个第二指状金属线，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线相对间隔设置，其中所述第一指状金属线的一侧沿纵向间隔设置有凸起端；
[0041]电源，所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件分别连接于电源的正负极，在施加电压的情况下所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件之间击穿导通，实现编程。
[0042]其中，第一梳状金属件和第二梳状金属件位于同一平面上，所述第一梳状金属件包含多个第一指状金属线，第二梳状金属件包含多个第二指状金属线，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线相互交错设置，所述第一指状金属线插入所述第二指状金属线之间的间隙中，所述第二指状金属线插入所述第一指状金属线的间隙中，第一指状金属线和第二指状金属线交替设置，但是所述第一指状金属线和所述第二指状金属线之间并不接错，设置有一定的间隔，以实现所述反熔丝结构的编程。
[0043]进一步的，在所述第一梳状金属件中，所述多个第一指状金属线并列设置，所述多个第一指状金属线长度以及宽度相同，所述相邻第一指状金属线之间的距离也相同，所述第一梳状金属件中还包括第一连接线，用于将所述多个第一指状金属线连接为一体，相邻的所述第一指状金属线结合所述连接线，形成凹形槽，所述第一梳状金属件整体呈梳状结构，所述第一指状金属线作为导电梳齿。
[0044]同理，在所述第二梳状金属件中，所述多个第二指状金属线并列设置，所述多个第二指状金属线长度以及宽度相同，所述相邻第二指状金属线之间的距离也相同，所述第二梳状金属件中还包括第二连接线，用于将所述多个第二指状金属线连接为一体，相邻的所述第二指状金属线结合所述连接线，形成凹形槽，所以所述第二梳状金属件整体呈梳状结构，所述第二指状金属线作为导电梳齿。
[0045]进一步，所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件相对设置，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线相互交错，所述第二指状金属线插入所述相邻的第一指状金属线形成凹形槽中，所述第一指状金属线插入所述相邻的第二指状金属线形成凹形槽中。
[0046]所述第一连接线和所述第二连接线分别连接所述电源的正极和负极，用于对所述第一梳状金属件和所述第二梳状金属件施加电压，以实现对所述反熔丝结构的编程。
[0047]其中，所述凸起端为点状凸起，呈方形，例如正方向或者矩形，作为优选，所述凸起端和所述第一指状金属线为一体设置。通过设置所述凸起端，改变现有技术中线对线(line-to-line)的反熔丝结构,变为线对凸起端(line-to-tip)的结构，由于所述凸起端的设置，在施加编程电压时，在所述凸起端附近的局部电场强度至少加倍，所述加强的电场强度使得在实现击穿时的时间至少减少88%，从而更快速、更容易的实现所述反熔丝结构的编程。
[0048]同时，通过优化所述第一指状金属线、第二指状金属线的数目，第一指状金属线和第二指状金属线之间的距离、以及第一指状金属线上凸起端之间的间隙来进一步优化所述反熔丝结构的编程条件，不仅能够解决反熔丝结构长期稳定性的问题，还能使所述编程变得更加简单。
[0049]需要说明的是，所述第一指状金属线和第二指状金属线之间的距离分为两种情况，当所述第一指状金属线和第二指状金属线上均有凸起端时所述距离为凸起端之间的距离，当所述第一指状金属线和第二指状金属线中任一个有凸起端时，所述距离是指所述凸起端和另外一个金属线之间的距离，在下文的描述中在没有特殊说明时均参照该解释。
[0050]此外，所述熔丝结构还可以具有以下几种实施方式:
[0051]所述第二指状金属线的内侧也间隔设置有凸起端，所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相对设置，或者所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相错设置，所述第一指状金属线上的凸起端与所述第二指状金属线上的凸起端之间的间隙相对。
[0052]进一步，所述第一指状金属线的内外两侧沿纵向均间隔设置有凸起端。
[0053]进一步，所述第一梳状金属件I包含两个第一指状金属线，所述第二梳状金属件II包含两个第二指状金属线，其中，所述第一指状金属线和所述第二指状金属线交替设置，其中位于两端的所述第一指状金属线和第二指状金属线的内侧沿纵向间隔设置有凸起端，位于中间的所述第一指状金属线和所述第二指状金属线的两侧沿纵向间隔设置有凸起端。
[0054]所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相对设置，或者所述第一指状金属线上的凸起端和所述第二指状金属线上的凸起端相错设置，所述第一指状金属线上的凸起端与所述第二指状金属线上的凸起端之间的间隙相对。
[0055]下面结合附图对每一种实施方式做进一步的说明。
[0056]实施例1
[0057]首先参照图2e，所述反熔丝结构中包括第一梳状金属件I和第二梳状金属件II，所述第一梳状金属件I和所述第二梳状金属件II相对设置；
[0058]其中所述第一梳状金属件I包含两个第一指状金属线204，所述第二梳状金属件II包含两个第二指状金属线201，所述第一指状金属线204和所述第二指状金属线201交替设置，其中，所述第一指状金属线204的靠近所述第二指状金属线201的内侧设置有凸起端205，所述凸起端205和所述第二指状金属线201之间的距离为SI。
[0059]在该实施例中所述第一指状金属线204和所述第二指状金属线201分为两组，每组包括一个第一指状金属线204和一个第二指状金属线201，所述第一指状金属线204和第二指状金属线201之间的距离为SI，而两组金属线之间的距离大于所述SI。
[0060]所述凸起端205沿纵向间隔设置于所述第一指状金属线204的内侧，所述内侧是指在每一组金属线中靠近所述第二指状金属线201的一侧，所述相邻的凸起端205之间的间隙大小为S2。
[0061]作为优选，所述凸起端205为点状凸起，所述凸起为方形，例如为正方形或者矩形，其相对于金属线来说，其关键尺寸很小，相当于位于金属线上的点，因此称为点状凸起，结合第二指状金属线201,以形成线对凸起端(line-to-tip)的结构(线对点的结构),使编程更加容易。
[0062]在该实施例中，通过改变SI和S2的大小，来优化所述反熔丝结构的编程电压，其中所述凸起端205的设置相对于现有技术中线对线的设置方式，可以增加局部电场(localelectric field),使所述反熔丝结构更加容易实现编程。
[0063]需要说明的是，所述图示仅仅是示例性的，所述反熔丝结构可以包含所述多组金属线，并不局限于两组，所述第一指状金属线204和第二指状金属线201的数目也并不局限于两个，可以根据需要进行设置，以进一步优化所述反熔丝结构的编程条件。
[0064]作为优选，第一梳状金属件I和第二梳状金属件II位于同一平面上,所述第一梳状金属件I中还包括第一连接线206，用于将所述多个第一指状金属线连接204为一体，以形成梳状结构，所述第