一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法

文档序号:8283760阅读:1614来源:国知局
一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及芯片锡球制备工艺,尤其涉及一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法。
【背景技术】
[0002]随着电子产品不断向多功能化、小型轻量化、高性能化的方向发展;芯片的布线越来越精细化,同时与芯片相连接的封装基板也越来越精细化。采用wire bonding(引线键合)的连接方式越来越不能满足高精度的要求。Flip Chip(倒装芯片)是比wire bonding具有更高密度连接I/O的一种连接方式;随着芯片技术的发展,封装基板上与芯片相连接的bump (隆起)凸点的密度也越来越高。
[0003]目前制作bump锡球的工艺主要有:
[0004](I)锡膏印刷工法:在具有特定图形(钢网开口 )的钢网上印刷锡膏,回流清洁后形成Bump ;其优点是可以简易变更焊锡合金,可吸收SRO (solder resist opening,阻焊开窗)、MM0的偏差,可使用既有设备,可在各种形状的Pad (焊盘)上形成Bump,生产效率高,对位精度高。其缺点是有Bump void(锡球空洞)、Bump Height (隆起高度,简称bump ht)有界限。
[0005](2)锡球工法:用在金属网板或格网涂敷助焊剂后涂锡球;之后,进行回流焊、清洁后形成Bump ;其优点是可形成高Bump ht、Bump void少;其缺点是精度对位能力有限,无法吸收SRO的偏差,组成变更时污染的可能性大。
[0006](3) SJ法(Super Jaffit):在Pad上选择性的涂敷粘着液,然后在Pad上涂锡粉,再涂助焊剂,回流清洗后形成bump ;其优点是焊锡膜厚的均一性良好;缺点是焊锡的高度无法拉高,组成变更时污染的可能性大。
[0007](4) SS工法(Super Solder):在基板上印刷Sn粉与有机酸Pb混合后的锡膏,进行回流焊及清洗后形成bump ;其优点是不需要印刷精度;Pad间不发生Bridge (连锡),Bump的高度偏差小;缺点是无法对应多元系焊锡。
[0008]综合来看,锡膏印刷工法印刷对位精度高、生产效率高、可对应多样化的合金系锡膏;随着封装基板高精度连接的发展趋势,锡膏印刷工法具有更大的发展优势。但是,随着bump pitch(隆起或凸点间距)的减小,bump焊盘间的空隙减小,为了防止印刷时锡膏连桥,钢网的开口也要相应地减小;钢网开口减小以后,为了保证印刷时锡膏有很好的脱模效果,钢网的厚度也要相应地减小,综合起来,这种工艺制作出来的bump的高度随着小pitch化的发展也有减小的趋势。
[0009]在Bump高度较低的情况下,更容易出现基板与芯片连接不良的问题。因此对小间距的凸点,通过采用新的制作方法以增加bump高度,对减少芯片与基板的连接不良及连接可靠性有重要作用。

【发明内容】

[0010]本发明所要解决的问题在于提供一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法,该方法可以在焊盘的小间距上制备出较高凸点的焊锡球,且芯片与基板之间的连接可靠性好。
[0011]本发明的技术方案如下:
[0012]一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法,包括如下步骤:
[0013]S1、将第一钢网置于倒装芯片的基板上,进行第一次钢网印刷,将锡膏印置于倒装芯片的基板上;
[0014]S2、将步骤SI的基板进行第一次回流焊接,在基板上形成焊接点,并在基板表面析出锡膏内的助焊剂;
[0015]S3、第一次清洗基板,去除助焊剂;
[0016]S4、将第一次清洗后的基板送入压平机中,对基板上的焊接点进行第一次压平处理,并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区;
[0017]S5、将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上,进行第二次钢网印刷,将锡膏印置于基板上的焊接点上;
[0018]S6、将步骤S5的基板进行第二次回流焊接,在基板上形成新焊接点,并在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂;
[0019]S7、第二次清洗基板,去除助焊剂;
[0020]S8、将第二次清洗后的基板送入压平机中,对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理,并在每一个焊接点顶端部再次形成一新的平坦区;
[0021]待上述步骤结束后,得到在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球。
[0022]上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中,所述第二钢网的涨缩系数比第一钢网的涨缩系数小100.01-100.02%。
[0023]上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中,所述第二钢网的厚度是第一钢网厚度的2/3。
[0024]上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中,所述第二钢网的网孔比第一钢网网孔的小10?20μπι。
[0025]本发明在现有锡膏印刷工法设备的基础上,通过二次印刷工艺流程,可以在焊盘的小间距之间制作出较高的凸点锡球,且芯片与基板之间的连接可靠性好,而又不需要增加新的设备投资,从而更加全面地对应客户多样化的凸点锡球高度规格要求;利用该工艺,可制作凸点锡球间距约为100?150 μπκ锡球高度为25-40 μ??的倒装芯片。
【附图说明】
[0026]图1为本发明的在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备工艺流程图;
[0027]图2为一实施例中,第一次压平后的焊接点与现有压平后的焊接点的对比效果图。
【具体实施方式】
[0028]为提高倒装芯片的焊接盘上小间距凸点锡球的高度,如图1所示,本发明采用如下制作工艺:
[0029]第一次锡膏印刷一第一次回流焊一助焊剂清洗一第一次锡球压平一第二次锡膏印刷一第二次回流焊一助焊剂清洗一第二次锡球压平一锡球检查。
[0030]下面对本发明作进一步详细说明。
[0031]一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法,包括如下步骤:
[0032]S1、首先,选用第一钢网和倒装芯片的基板,且两者的规格尺寸基本相同;其次,将第一钢网置于基板上,进行第一次钢网印刷,将锡膏印置于基板上,且尽量将锡膏的厚度刷厚一点;第一钢网的网孔可以为圆形,根据焊盘设计决定,也可以其他形状,如方形、椭圆形等,孔径规格也视具体情况而定;
[0033]S2、将步骤SI的基板送入回流焊机中,进行第一次回流焊接,经第一次回流焊接后将在基板上形成球状的焊接点(也可以称为隆起凸点、凸点锡球、焊点、锡球等),并在基板表面析出锡膏
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