图案的形成方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及布线图案或电极图案等图案的形成方法。
【背景技术】
[0002]作为形成布线?电极的工艺，存在利用丝网印刷法印刷导电膏、绝缘膏的工艺。例如，在太阳能电池的布线.电极、触摸面板的边框电极、叠层陶瓷电容器的电极、或者多层印刷电路板等的制作中，通过利用丝网印刷法将导电膏、绝缘膏刷在对象物上，从而进行印刷。另外，在半导体电极、半导体气体传感器等中，使用氧化物半导体膏进行丝网印刷来在基板表面形成氧化物半导体层。
[0003]这些方法中所使用的丝网版在不需要印刷的部位涂布有乳剂，导电膏、绝缘膏不从该乳剂涂布部位透过。即，能够将与网眼所开口的部分对应的图案描绘在对象物上。
[0004]另外，代替上述的利用丝网印刷法进行印刷的方法，还公知有如下方法(专利文献1、2):在挠性片上涂布预定膜厚的导电金属膏并使其干燥而预先制造形成有转印用电极的转印片，从该转印片向陶瓷电子零件转印导电金属膏的电极图案来形成电极。然而，在对转印片上的由导电金属膏构成的电极进行压接并转印时，需要利用对电极加热或者对电极喷雾导电膏用溶剂而使电极成为半干燥状态等的方法，来恢复电极表面的粘性。
[0005]另一方面，在专利文献3中，涉及一种在复印机、打印机等所使用的色粉承载体的制造方法，经由丝网印刷版将印刷膏转印于偏置鼓，并通过将由该被转印的印刷膏构成的布线图案转印.形成于绝缘层的周面，从而能够形成与现有的丝网印刷法相比接缝精度良好的电极图案，该绝缘层设于圆筒状基板表面。
[0006]另外，在对被印刷物的两面实施印刷时，通常使用如下工艺:i)最初，在被印刷物的单侧的表面印刷图案；ii)然后，将被印刷物翻过来而调换反面与正面后对未印刷有图案的另一面印刷图案。对此，例如在专利文献4中公开有如下一种印刷单元:能够一边利用辊输送被印刷物，一边一次性地对其正面与反面这两面实施印刷。
_7] 现有技术文献
[0008]专利f献
[0009]专利文献1:日本特开2000-276944号公报
[0010]专利文献2:日本特开平11-219845号公报
[0011]专利文献3:日本特开2010-250196号公报
[0012]专利文献4:日本特表2001-518409号公报
【发明内容】
_3] 发明要解决的问题
[0014]如前述那样，作为形成布线、电极等的工艺，存在使用导电膏、绝缘膏或半导体膏等并利用丝网印刷法进行印刷的工艺，但在利用丝网印刷法来形成了布线、电极等的图案的情况下，在膏逐渐干燥的过程中，存在在图案的侧壁部产生塌边、线宽变大这样的问题。例如，若在形成用于太阳能电池的布线.电极时产生该塌边，则导致开口率低下。另外，若在形成触摸面板的边框电极时产生塌边，则存在不得不减小操作输入部位的面积等问题。
[0015]另外，在被印刷了的布线.电极等的图案的表面残留有因丝网而产生的凹凸(网痕)。例如，在使用该电极来制作叠层型的电容器的情况下，在热压时，产生由上述凹凸而引起电极被切断而发生断线、或者夹持电介质的电极间短路这样的问题。而且，在被印刷了的布线.电极图案作为天线使用的情况下，图案表面的粗糙度与通信距离的减小相关，成为使接收发送特性变差的主要原因。
[0016]另一方面，在上述专利文献I?3中，代替丝网印刷法，公开有使用转印片的方法、使用偏置鼓的方法，但均没有提及有关侧壁部的塌边、残留网痕这样的问题及其解决方法。
[0017]另外，在进行对被印刷物的两面进行印刷的情况下，如前所述，需要对被印刷物的一个面进行印刷了之后，将被印刷物翻过来对另一个面进行印刷的步骤，因此存在工序数较多，生产节拍增大这样的问题。对此，也有如专利文献4所公开的技术那样的技术，但在该情况下，由于具有需要用于输送的机构而装置大型化的缺点，因此在丝网印刷法中不能使用该技术。
[0018]本发明是鉴于上述的现状而完成的，其目的在于提供如下方法和装置:减少在使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏并利用丝网印刷法来印刷布线.电极等的图案时所产生的图案侧壁部的塌边并且减少上述布线.电极等的图案、全面固体膜(日文:全面< 夕膜)上的网痕，从而制造高品质的电子零件；以及提供一种能够用于丝网印刷并能够以比现有技术少的工序数来进行双面印刷的图案的形成方法。
_9] 用于解决问题的方案
[0020]本发明人为了解决上述技术课题，经过反复研宄后得到如下见解:作为橡皮布，使用表面的平滑性较高、且被印刷物与膏之间的亲和性比橡皮布与膏之间的亲和性高的橡皮布，并利用丝网印刷法将图案印刷于该橡皮布，将该图案转印于对象物，从而能够解决问题。
[0021]本发明是基于上述见解完成的，根据本发明，提供以下的发明。
[0022][I] 一种图案的形成方法，其特征在于，在该图案的形成方法中，使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏，并利用丝网印刷法在具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面的橡皮布上印刷图案，将该图案自该橡皮布转印至被印刷物。
[0023][2]根据[I]所述的图案的形成方法，其特征在于，所述橡皮布为片状。
[0024][3]根据[I]所述的图案的形成方法，其特征在于，所述橡皮布为卷状。
[0025][4]根据[I]所述的图案的形成方法，其特征在于，使用导电膏形成电极图案。
[0026][5]根据[4]所述的图案的形成方法，其特征在于，所述电极图案是用于触摸面板、太阳能电池、叠层陶瓷电容器、天线、多层印刷电路板的布线电极。
[0027][6]根据[I]所述的图案的形成方法，其特征在于，在使用导电膏、绝缘膏或者半导体膏、并利用丝网印刷法对所述橡皮布印刷了第一图案之后，在印刷有该第一图案的橡皮布上配置所述被印刷物，进而对该被印刷物的、与同该橡皮布相对的面相反的一侧的面印刷了第二图案之后，将该被印刷物自该橡皮布上剥离而将所述第一图案转印于该被印刷物。
[0028][7]根据[6]所述的图案的形成方法，其特征在于，利用丝网印刷法印刷所述第二图案。
[0029][8]根据[6]所述的图案的形成方法，其特征在于，所述第一图案和所述第二图案是用于触摸面板、太阳能电池、叠层陶瓷电容器、天线、多层印刷电路板的布线电极。
[0030][9]根据[6]所述的图案的形成方法，其特征在于，该图案的形成方法用于制造静电电容型器件。
[0031][10] 一种图案的形成装置，该图案的形成装置具有丝网印刷机构以及利用该丝网印刷机构印刷图案的橡皮布，该图案的形成装置用于将印刷于该橡皮布上的图案转印于被印刷物，其特征在于，该橡皮布具有由聚二甲基硅氧烷构成的表面。
[0032]发明的效果
[0033]根据本发明，能够减少在利用丝网印刷法进行印刷时产生的图案塌边，并能够使图案的侧壁形成尖锐(日文:、>々一7°)的形状。其结果，能够实现图案的细线化，也能够降低图案的表面粗糙度。另外，从原理上讲，本发明不仅能够适用于细线图案，也能够适用于具有数μπι以上的尺寸的任何图案。而且，根据本发明，不需要进行将被印刷物翻过来的工序，因此能够以比现有少的工序数进行在被印刷物的两面形成图案，不使用辊版、输送机构就能够对被印刷物进行双面印刷。
【附图说明】
[0034]图1是刚利用丝网印刷法在陶瓷生片(ceramic green sheet)印刷导电膏之后的电极图案的光学立体显微镜图像。
[0035]图2是利用丝网印刷法印刷的陶瓷生片上的导电膏在大气中充分干燥后的光学立体显微镜图像。
[0036]图3是利用丝网印刷法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜上印刷导电膏来形成电极图案、并刚刚将该电极图案转印到陶瓷生片上之后的光学立体显微镜图像。
[0037]图4是利用丝网印刷法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜上印刷导电膏来形成电极图案、且使该电极图案转印