有机发光二极管显示器及其制造和检测方法

文档序号:8382512
有机发光二极管显示器及其制造和检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种有机发光二极管显示器,尤其涉及一种可将由于在使用薄膜晶体管作为控制元件来制造有机发光二极管显示器的工艺中导致的开口缺陷所造成的故障最小化的有机发光二极管显示器及其制造和检测方法。
【背景技术】
[0002]液晶显示器、场发射显示器、等离子显示面板、有机发光二极管显示器(OLED显示器)等被用作平板显示器来代替阴极射线管。
[0003]在这些显示器之中,设置于OLED显示器中的有机发光二极管具有高亮度和低操作电压的特性而且是自发光的。因此,OLED显示器具有高对比度并且可以实施为超薄显示器。此外,OLED显示器具有几微秒(ys)的响应时间,从而很容易实现运动图像。此外,OLED显示器的视角不受限制,且即使在低温时仍旧稳定。
[0004]图1是常规OLED显示器的像素的等效电路图。
[0005]参照图1,常规OLED显示器的像素PX具有包括三个薄膜晶体管SWT,DRT和SST以及一个电容器Cl的结构,像素PX包括:有机发光二极管EL ;用于向有机发光二极管EL提供电流的驱动薄膜晶体管DRT;用于接收数据电压Vdata的扫描薄膜晶体管SWT,扫描薄膜晶体管SWT与驱动薄膜晶体管DRT相连接,以根据扫描信号Vscan向驱动薄膜晶体管DRT的栅极电极提供数据电压Vdata ;感测薄膜晶体管SST,感测薄膜晶体管SST连接在感测控制器与驱动薄膜晶体管DRT之间,以根据感测信号Vref接收(sink)从驱动薄膜晶体管DRT提供的电流;以及连接在驱动薄膜晶体管DRT的栅极电极与源极电极之间的电容器Cl。
[0006]为了在OLED显示器中实现需要全HD或更高质量的高分辨率图像,每个像素应当配置成具有高开口率结构。与现有高分辨率显示器相比,高分辨率显示器存在着在制造高分辨率显示器的工艺中产生诸如侵蚀的缺陷、未构图或台阶差缺陷的较高可能性。因此,需要缺陷检测方法和有效的修复方法。
[0007]特别是,在具有如上所述结构的OLED显示器中,经常出现用于连接在驱动薄膜晶体管DRT的源极电极与有机发光二极管EL的阳极电极之间的线断开的缺陷。所述线形成在要彼此接触的不同金属层中,在蚀刻工艺中由于下金属层的台阶差,上层金属被过蚀刻,由此最终导致所述缺陷。
[0008]图2是图解在常规OLED显示器中产生的开口缺陷的例子的剖面图。
[0009]参照图2,在常规OLED显示器中,在基板10上依次形成栅极金属层13、栅极绝缘层15、第一源极和漏极金属层22、钝化层25、第二源极和漏极金属层27、层间绝缘层31和阳极金属层43。
[0010]这种结构称为面密封结构(face seal structure)。在该结构中,第二源极和漏极金属层27用作驱动薄膜晶体管(图1的DRT)的辅助栅极电极。就是说,驱动薄膜晶体管具有双栅极结构,其中驱动薄膜晶体管的栅极电极配置成两个金属层,即栅极金属层13及第二源极和漏极金属层27。
[0011]如该图中所示,钝化层25执行将第二源极和漏极金属层27下方的第一源极和漏极金属层22绝缘的功能。钝化层25的一侧开口,从而使阳极金属层43通过第二源极和漏极金属层27与第一源极和漏极金属层22电连接。
[0012]在第二源极和漏极金属层27的蚀刻工艺中,由于下面的钝化层25导致的台阶差,第二源极和漏极金属层27被过蚀刻,因此在第二源极和漏极金属层27中经常产生开口缺陷。因此,不能向阳极金属层43正常施加电信号。
[0013]这成为导致不希望的OLED显示器故障的因素,由此降低了显示器的驱动可靠性。

【发明内容】

[0014]本发明的一个方面是提供一种有机发光二极管显示器及其制造方法,其通过重复结构(redundancy structure)将在制造有机发光二极管显示器的工艺中由于台阶差导致的开口缺陷所造成的故障最小化。
[0015]本发明的另一个方面是提供一种即使在产生了额外开口缺陷的像素结构中也很容易检测并修复缺陷的有机发光二极管显示器的检测方法。
[0016]为了实现这些和其他优点并根据本发明的目的,如在此具体和概括描述的,一种有机发光二极管显示器,包括:基板;形成在所述基板上的栅极金属层;形成在所述栅极金属层上以暴露一部分栅极金属层的栅极绝缘层和蚀刻阻止层;形成在所述蚀刻阻止层上的第一源极和漏极金属层;形成在所述第一源极和漏极金属层上以暴露第一源极和漏极金属层的预定区域的钝化层;形成在所述钝化层上的第二源极和漏极金属层,所述第二源极和漏极金属层与具有被暴露的预定区域的第一源极和漏极金属层接触;层间绝缘层,所述层间绝缘层具有第一接触孔和第二接触孔,第二源极和漏极金属层的第一区域和第二区域分别通过所述第一接触孔和第二接触孔暴露;和形成在所述层间绝缘层上以覆盖所述第一接触孔的阳极金属层,所述阳极金属层延伸覆盖所述第二接触孔。
[0017]为了实现这些和其他优点并根据本发明的目的,如在此具体和概括描述的,一种制造有机发光二极管显示器的方法,所述方法包括:制备基板;在所述基板上形成栅极金属层;在所述栅极金属层上形成栅极绝缘层和蚀刻阻止层;在所述蚀刻阻止层上形成第一源极和漏极金属层;形成用于暴露第一源极和漏极金属层的预定区域的钝化层;在所述钝化层上形成与所述第一源极和漏极金属层接触的第二源极和漏极金属层;形成具有第一接触孔和第二接触孔的层间绝缘层,第二源极和漏极金属层的第一区域和第二区域分别通过所述第一接触孔和第二接触孔暴露;和在所述层间绝缘层上形成覆盖所述第一接触孔的阳极金属层,所述阳极金属层延伸覆盖所述第二接触孔。
[0018]为了实现这些和其他优点并根据本发明的目的,如在此具体和概括描述的,一种检测有机发光二极管显示器的方法,所述有机发光二极管显示器包括有机发光二极管,以及控制所述有机发光二极管的开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管和采样薄膜晶体管,所述方法包括:向开关薄膜晶体管的栅极电极和漏极电极施加DC (直流)波形的第一电压;向驱动薄膜晶体管的漏极电极施加所述第一电压;和向采样薄膜晶体管的漏极电极施加DC波形的第二电压,并向采样薄膜晶体管的栅极电极施加以预定宽度摆动的第三电压。
[0019]根据本发明,通过相对于由于有机发光二极管显示器的基板上的台阶差而容易产生开口缺陷的区域来形成双栅极结构的上金属层从而进一步形成至少一个接触部,使得即使产生开口缺陷时仍能正常施加信号。
[0020]此外,尽管产生了额外的开口缺陷,但施加了预定电位的信号,由此很容易确定开口缺陷的产生。
[0021]本发明进一步的适用范围从下文给出的详细描述将变得更加显而易见。然而,应当理解,仅通过举例说明的方式给出了表示本发明优选实施方式的详细描述和具体例子,根据所述详细描述,在本发明的精神和范围内的各种改变和修改对于本领域技术人员来说是显而易见的。
【附图说明】
[0022]附图提供对本发明的进一步理解并且并入说明书而组成说明书的一部分。所述附图示出本发明的示范性的实施方式,并且与说明书文字一起用于解释本发明的原理。
[0023]在附图中:
再多了解一些
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