用于晶片状物品的液体处理的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于晶片状物品的液体处理的装置。
【背景技术】
[0002]在制造集成电路时，半导体晶片会经历多种湿法处理阶段。为了适应这些处理，单个晶片可以相对于一个或多个处理流体喷嘴通过与可旋转的或不可旋转的载体相关联的卡盘支撑。例如，在美国专利 N0.4，903，717,N0.5，513，668,N0.6，435，200 和 N0.6，536，454中，都有描述晶片支撑用的卡盘。
[0003]众所周知，半导体晶片处理会导致晶片表面产生不想要的静电电荷积聚。例如，美国专利7，335，090描述了一种旋转卡盘，其具有由导电树脂所制成并与不锈钢轴相关联的紧固销，该不锈钢轴又被径向的金属轴承所支撑。共同拥有的未决申请美国公开N0.2011/0254236描述了一种具有导电卡盘销以及导电路径的卡盘，该导电路径连接卡盘销与卡盘驱动及升降单元的轴。
[0004]虽然设置经由夹紧销与晶片边缘接触的导电路径被认为可解决不想要的晶片充电问题，但本发明人已经意外地发现，即使在晶片与卡盘之间缺乏实体接触的情况下，晶片充电的现象仍可能发生，且可能发生在晶片处理期间的各个阶段。此外，本发明人已经意外地发现，即使在晶片与邻近卡盘但是独立于卡盘本身的静态结构之间，也可能发生晶片充电的现象。
【发明内容】
[0005]因此，一方面，本发明涉及一种用于处理晶片状物品的装置，其包括适于在将在具有预定直径的晶片状物品上执行的处理操作期间容纳和旋转该晶片状物品的旋转卡盘，以及围绕旋转卡盘的液体收集器。液体收集器包括第一内表面，其中第一内表面包括第一导电材料，并且其中收集器还包括用于使第一导电材料接地的第一导电路径。
[0006]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，液体收集器包括至少两个层，并且其中旋转卡盘相对于液体收集器是可垂直移动的，以便将安装在旋转卡盘上的晶片定位于至少两个层中所选择的一个层处。
[0007]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，液体收集器的不同于第一内表面的面对旋转卡盘的表面是由非导电塑料制成。
[0008]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，非导电塑料包括选自以下成员中的一种或多种成员:聚四氟乙稀(PTFE)、全氟烧氧基树脂(perfluoroalkoxy) (PFA)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯/聚乙基苯乙烯(PS/PES)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、三氟氯乙烯的均聚物(PCTFE)、聚全氟乙丙烯(FEP)和乙烯三氟氯乙烯(ECTFE)。
[0009]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，非导电塑料包括PCTFE。
[0010]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，液体收集器包括向内的挡板，并且其中第一导电材料被镶嵌在向内的挡板中。
[0011]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，液体收集器包括在至少两个层中最上面的一个层处的向内的挡板，并且其中第一导电材料被镶嵌在向内的挡板中。
[0012]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，第一导电材料为导电聚合物。
[0013]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，第一导电材料为不锈钢。
[0014]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，第一导电材料包括被环形地布置在液体收集器的第一内表面中的多个导电元件。
[0015]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，旋转卡盘包括适配和定位的多个销组件，以便支撑待处理的晶片状物品，其中这些销组件中的至少一个销组件由化学惰性材料制成并且在一端包括导电嵌体，该嵌体适于与轴承元件通过物理方式和电气方式啮合。
[0016]在根据本发明的装置的优选的实施方式中，轴承元件是导电滚针轴承。
[0017]另一方面，本发明涉及一种在处理晶片状物品的装置中使用的液体收集器，该液体收集器被配置成围绕适于在将在具有预定直径的晶片状物品上执行的处理操作期间容纳和旋转该晶片状物品的旋转卡盘。液体收集器包括第一内表面，其中该第一内表面包括第一导电材料且其中该收集器还包括用于使第一导电材料接地的第一导电路径。
[0018]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，内部结构限定至少两个处理层，其中旋转卡盘可以通过液体收集器与旋转卡盘之间的相对垂直运动而定位。
[0019]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，液体收集器的不同于第一内表面的向内的表面是由非导电塑料制成。
[0020]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，非导电塑料包括选自以下成员中的一种或多种成员:聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基树脂(PFA)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯/聚乙基苯乙烯(PS/PES)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、三氟氯乙烯的均聚物(PCTFE)、聚全氟乙丙烯(FEP)和乙烯三氟氯乙烯(ECTFE)。
[0021]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，非导电塑料包括PCTFE。
[0022]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，该收集器还包括向内的挡板，并且第一导电材料被镶嵌在向内的挡板中。
[0023]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，该收集器还包括在至少两个层中最上面的一个层处的向内的挡板，并且其中第一导电材料被镶嵌在向内的挡板中。
[0024]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，第一导电材料为导电聚合物。
[0025]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，第一导电材料为不锈钢。
[0026]在根据本发明的液体收集器的优选的实施方式中，第一导电材料包括被环形地布置在第一内表面中的多个导电元件。
【附图说明】
[0027]参照附图，阅读本发明以下的优选实施方式的详细描述后，本发明的其它目的、特征和优点将变得更加显而易见，其中:
[0028]图1是根据本发明的第一实施方式的液体收集器在轴向横截面的透视图；
[0029]图2是图1中指定的细节II的放大图；
[0030]图3是图1中所示的液体收集器的上部导流板50的透视图；
[0031]图4是通过根据本发明的第一实施方式的装置的轴向横截面图；以及
[0032]图5是图4中指定的细节V的放大图。
【具体实施方式】
[0033]在图1中，液体收集器包括四个主要部件，即，底部件10、顶部件20、第一中间部件30和第二中间部件40。液体收集器在图1中不可见的一半通常是在图1中所示出的一半的镜像。
[0034]在这个实施方式中，如在共同拥有的共同未决美国专利申请序列N0.13/849, 072中更充分的描述的，液体收集器是可拆卸的模块化部件的组件。然而，在本实施方式的背景中，各个部件不需要彼此可拆卸，而且如果需要的话，这些部件中的任何两个或多个也可以一体成型。
[0035]图1的收集器组件还包括上部导流板50、中间导流板60和下部导流板70，其结构和功能将在下文描述。
[0036]如本领域技术人员所公知的，图1的收集器组件在使用中围绕旋转卡盘，该旋转卡盘如用于半导体晶片的单晶片湿法处理的旋转卡盘，如在本图4中所示的以及如例如在美国专利N0.4，903，717和N0.7，837，803中所描述的旋转卡盘。这种旋转卡盘被设计为容纳具有预定直径的晶片，目前正在使用以及目前正在研发中的该晶片的直径为300毫米和450毫米。旋转卡盘相对于收集器在三个收集层中的每一个和最上面的装载位置与卸载位置之间可移动。收集器组件与旋转卡盘之间的相对运动可以通过相对于静止的收集器组件升高和降低旋转卡盘来实现，或者可以通过相对于静止的旋转卡盘升高和降低收集器组件来实现，或者可以通过以相反的方向或者以相同的方向不同的速度同时升高或降低旋转卡盘和收集器组件