基板搬运装置、基板搬运方法和记录程序的记录介质的制作方法
【专利说明】
[0001] 本申请是申请日为2011年8月19日、申请号为201110242600. 5、发明名称为"基 板搬运装置、基板搬运方法和记录程序的记录介质"的专利申请的分案申请。
技术领域
[0002] 本发明涉及搬运基板的基板搬运装置、基板搬运方法和记录用于实行该基板搬运 方法的程序的记录介质。
【背景技术】
[0003] 在半导体设备、LCD(LiquidCrystalDisplay:液晶显示器）基板的制造工序中， 在装置内设置有多个对基板（以下，也称为"晶片"）进行处理的处理模块（module)，在这 些处理模块中通过基板搬运装置依次搬运基板，由此进行规定的处理。在基板搬运装置中， 例如，沿基座进退自如地设置有保持基板的夹具（fork，叉状件），并且基板绕垂直轴旋转 自如地，升降自如地构成。
[0004] 在这样的基板搬运装置设置有用于确认夹具所承受的基板是否从处理模块位置 偏移的传感器（例如，参照专利文献1、2)。
[0005] 在专利文献1中公开了，在具有用搬运机械手（robot)的臂（夹具）将基板保持 并搬运的机构的半导体制造装置中，在臂（夹具）的保持状态下检测出在装置内的多个单 元发生的基板的位置偏移量。在专利文献1中记载有，具有通过单元相互间的基板的搬运 量的修正来修正基板的位置偏移量的机构。另外记载有，为了检测基板的位置偏移量，在多 个部位测定基板的周缘部的位置。
[0006] 另一方面，在专利文献2中公开了一种搬运基板的基板搬运机构，其特征在于，具 有：搬运臂部、拾取（pick)部（夹具）、基板位置检测传感器部、中心位置运算部、偏移量运 算部和臂控制部。在专利文献2公开的例子中，基板位置检测传感器部设置于拾取部（夹 具），在保持基板时检测基板的位置。中心位置运算部基于基板位置检测传感器部的输出求 得基板的中心位置。偏移量运算部，求出所求得的中心位置与预先决定的基准位置的偏移 量。臂控制部，将保持在拾取部（夹具）的基板移载到搬运目标位置时，控制搬运臂以使其 抵消偏移量。
[0007] 先行技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1 :日本特开平8-31905号公报
[0010] 专利文献2 :日本特开2006-351884号公报
【发明内容】
[0011] 发明要解决的课题
[0012] 然而，在上述的搬运基板的基板搬运装置和基板搬运方法中，存在如下问题。
[0013] 在专利文献1公开的例子中，传感器只设置了 2个，在晶片的位置偏移在水平面内 在二维方向上偏移的情况下，不能高精度地检测偏移量。另一方面，在专利文献2公开的例 子中，由于传感器设置了 3个，所以即使在水平面内在二维方向上产生偏移的情况下，也能 够检测偏移量。
[0014] 然而，在半导体基板等的基板（晶片）中，在晶片的周缘部的一部分设置有用于定 位晶片的缺口。在专利文献2公开的例子中，虽然通过3个传感器检测晶片的周缘部的位 置，但是即使在1个检测器检测到设置有缺口的部分的情况下，也将检测到的部分识别为 没有设置缺口的部分。因此，在1个传感器检测到设置有缺口的部分的情况下，不能够正确 地检测出晶片的偏移量。
[0015] 此外，存在如下夹具：为了能够对晶片的周缘部的水平位置进行定位，具有在夹具 上以包围晶片的周围的方式设置导引（guide)，使导引的内侧倾斜且使晶片落入夹具的规 定位置的落入机构。但是，当使涂覆处理过抗蚀剂膜等涂覆膜的晶片落入规定位置时，涂覆 在晶片外周的涂覆膜与导引接触而被剥离，有产生颗粒（particle)的风险。
[0016] 代替这样的落入机构，例如使用通过真空吸附保持晶片，对晶片的水平位置进行 定位的夹具。但是，由于在通过真空吸附保持晶片的夹具中没有落入机构，所以存在水平面 内的晶片容易发生位置偏移的问题。此外，在这种情况下，也可以认为会有因某种原因而在 夹具或基板发生异常的情况。进一步，也可以认为会有传感器发生异常的情况。
[0017] 本发明鉴于上述各点，提供一种基板搬运装置和基板搬运方法，当将在基板的周 缘部存在缺口的基板用夹具保持并搬运时，能够高精度地检测出基板位置的偏移量，能够 容易地修正该偏移量，并且能够同时确认夹具、基板或传感器的状态并进行修正。
[0018] 用于解决课题的方法
[0019] 为了解决上述课题，本发明的特征在于下述的各方法。
[0020] 根据本发明的一实施例，提供一种基板搬运装置，包括：基座；设置成从上述基座 进退自如，保持基板的保持部；当上述保持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位 置对上述保持部所保持的上述基板的周缘部的位置进行检测的4个以上的检测部；和基于 上述检测部检测出的上述周缘部的位置的检测值，对上述检测部的任意个是否检测到上述 基板的周缘部设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到上述设置有缺口的 部分时，基于上述一个检测部以外的3个检测部的上述检测值，在搬运到下一个处理单元 时对上述处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部。
[0021] 此外，根据本发明的其他的一个实施例，一种基板搬运装置，包括：基座；设置成 从上述基座进退自如，保持基板的保持部；当上述保持部以保持有基板的状态后退时，在各 个不同的位置对上述保持部所保持的上述基板的周缘部的位置进行检测的3个检测部；和 基于上述检测部检测出的上述周缘部的位置的检测值，对上述检测部的任意个是否检测到 上述基板的周缘部设置有缺口的部分进行判定，在判定为一个检测部检测到设置有上述缺 口的部分时，使上述保持部相对于上述检测部移动以使上述检测部检测不到设置有上述缺 口的部分，基于通过上述检测部对移动后的上述保持部所保持的上述基板的周缘部的位置 再次进行检测的再检测值，对下一个处理单元的基板的交接位置进行修正的控制部。
[0022] 此外，根据本发明的其他的一个实施例，提供一种基板搬运装置的基板搬运方法， 该基板搬运装置包括：基座；设置成从上述基座进退自如，保持基板的保持部；和当上述保 持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置对上述保持部所保持的上述基板的周 缘部的位置进行检测的4个以上的检测部，该基板搬运方法包括：基于上述检测部检测出 的上述周缘部的位置的检测值，对上述检测部的任意个是否检测到上述基板的周缘部设置 有缺口的部分进行判定的判定工序，在判定为一个检测部检测到上述设置有缺口的部分 时，基于上述一个检测部以外的3个检测部的上述检测值，在搬运到下一个处理单元时对 上述处理单元的基板的交接位置进行修正。
[0023] 此外，根据本发明的其他的一个实施例，提供一种基板搬运装置的基板搬运方法， 该基板搬运装置包括：基座；设置成从上述基座进退自如，保持基板的保持部；和当上述保 持部以保持有基板的状态后退时，在各个不同的位置对上述保持部所保持的上述基板的周 缘部的位置进行检测的3个检测部，该基板搬运方法包括：基于上述检测部检测出的上述 周缘部的位置的检测值，对上述检测部的任意个是否检测到上述基板的周缘部设置有缺口 的部分进行判定的判定工序，在判定为一个检测部检测到上述设置有缺口的部分时，使上 述保持部相对于上述检测部移动以使上述检测部检测不到设置有上述缺口的部分，基于通 过上述检测部对移动后的上述保持部所保持的上述基板的周缘部的位置再次进行检测的 再检测值，对下一个处理单元的基板的交接位置进行修正。
[0024] 发明效果
[0025] 根据本发明，在搬运基板的基板搬运装置和基板搬运方法中，当将在基板的周缘 部存在缺口的基板用夹具保持并搬运时，能够高精度地检测出基板位置的偏移量，能够容 易地修正该偏移量，并且能够同时确认修正夹具、基板或传感器的状态。
【附图说明】
[0026] 图1是表示第一实施方式的抗蚀剂图案形成装置的结构的俯视图。
[0027] 图2是表示第一实施方式的抗蚀剂图案形成装置的结构的概略立体图。
[0028] 图3是表示第一实施方式的抗蚀剂图案形成装置的结构的侧面图。
[0029] 图4是表示第三区块（block)的结构的立体图。
[0030] 图5是表示第一实施方式的搬运臂的立体图。
[0031] 图6是表示第一实施方式的搬运臂的俯视图和侧面图。
[0032] 图7是将第一实施方式的搬运臂的夹具放大表示的俯视图。
[0033] 图8是表示检测部和控制部的结构的框图。
[0034] 图9是将控制部与第三区块的搬运臂和加热模块一并表示的结构图。
[0035] 图10是表示基板搬运方法的各工序的顺序的流程图。
[0036]图11是表示交接晶片时的加热模块和搬运臂的状态的图。
[0037] 图12是示意性地表示线列图像传感器（LinearImageSensor)的像素编号与受 光量的关系的图。
[0038]图13是表示判定为4个检测部的任一个都没有检测到晶片的缺口部的情况的，线 列图像传感器和晶片的俯视图。
[0039]图14是表示判定为4个检测部的某一个检测到晶片的缺口部的情况的，线列图像 传感器和晶片的俯视图。
[0040]图15是用于对夹具弯曲的异常的判定进行说明的图，是示意性地表示线列图像 传感器的像素编号与受光量的关系的图。
[0041] 图16是用于对晶片的异常进行说明的图，是将保持晶片的夹具放大表示的俯视 图（其1)。
[0042] 图17是用于对晶片的异常的判定进行说明的图，是示意性地表示线列图像传感 器的像素编号与受光量的关系的图（其1)。
[0043] 图18是用于对晶片的异常进行说明的图，是将保持晶片的夹具放大表示的俯视 图（其2)。
[0044]图19是用于对晶片的异常的判定进行说明的图，是示意性地表示线列图像传感 器的像素编号与受光量的关系的图（其2)。
[0045] 图20是用于对光源的异常的判定进行说明的图，是示意性地表示线列图像传感 器的像素编号与受光量的关系的图。
[0046] 图21是用于对线列图像传感器的异常的判定进行说明的图，是示意性地表示线 列图像传感器的像素编号与受光量的关系的图（其1)。
[0047] 图22是用于对线列图像传感器的异常的判定进行说明的