一种多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及紫外线光电探测器技术领域，尤其涉及一种多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法。
【背景技术】
[0002]近些年，使用半导体纳米结构构建的功能器件，展现出了诸多优异而独特的物理特性。其中，光电探测器件在生物环保、传感器、污染监测、污水杀菌处理、导弹发射和监控检测等领域，具有广泛的应用前景。已有技术表明，宽禁带半导体如GaN、ZnO、SnOjP WO 3，由于其光响应的高灵敏度和选择性，被认为是高效紫外线光电探测器的理想材料。
[0003]在宽禁带半导体家族中，评03是典型的η型金属氧化物半导体，具有独特的电致和光致变色特性，其一维WO3纳米结构被认为是构建新颖高效微型紫外光电探测器的优异候选材料之一。如Golberg等人报道了通过化学气相沉积的方法制备出单晶WO3纳米线，对紫外光具有很强的响应灵敏度。Zhang等人通过水热方法合成了六方晶系单晶WO3纳米线，展现出对紫外光响应的高灵敏度。然而，已有技术所研发的基于冊3纳米结构的紫外光电探测器，其光暗电流比一般在200以下。因此，对于如何实现具有低偏压下高光电流的响应、以及较高的光暗电流比的高灵敏紫外光电探测器的研发，依然面临挑战。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决问题是提供一种多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法。
[0005]本发明采用如下技术方案:
[0006]本发明的晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法包括以下步骤:
[0007](I)材料制备:
[0008]将评(:16与聚乙烯吡咯烷酮加入乙醇与N, N- 二甲基甲酰胺混合液中，搅拌均匀后得到前驱体纺丝液，在ISkV高压下进行静电纺丝，收集得到有机前驱体纳米带；将所述前驱体纳带在空气中于500°C煅烧30分钟，得到WO3多晶纳米带；
[0009](2)光电探测器构建:
[0010]将WO3纳米带超声分散在乙醇中，然后滴涂在叉指电极上烘干，制得本发明的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器。
[0011]步骤⑴中，评(:16与聚乙烯吡咯烷酮的质量比是5:1 ;混合液中乙醇与N, N-二甲基甲酰胺的体积比是1:4 ;WCl6与混合溶液中重量体积比是2:5g/ml。
[0012]步骤(2)中，本发明制备的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的功能单元为多晶冊3纳米带。
[0013]步骤(2)中，本发明制备的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器能够实现在低偏压下的紫外高光电流响应，且光暗电流比达1000，具有超高灵敏度。
[0014]本发明的积极效果如下:
[0015]相比于已报道的光暗电流比一般低于200的WO3纳米结构光电探测器，本发明实现了具有光暗电流比达1000的多晶WO3纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备。
【附图说明】
[0016]图1为本发明实施例一所制得的WO3纳米带的扫锚电镜(SEM)图。
[0017]图2为本发明实施例一所制得的WO3纳米带的透射电镜(TEM)图。
[0018]图3为本发明实施例一所制得的胃03纳米带的选区电子衍射(SAED)图。
[0019]图4为本发明实施例一所构建的WO3纳米带光电探测器结构示意图。
[0020]图5为本发明实施例一所构建的单根冊3纳米带光电探测器的扫描电镜(SEM)图。
[0021]图6为本发明实施例一所制得的高灵敏冊3纳米带光电探测器在不同波长下的光谱响应图谱。
[0022]图7为本发明实施例一所制得的高灵敏冊3纳米带光电探测器在黑暗及不同波长下的电流-电压曲线图。
[0023]图8为本发明实施例一所制得的高灵敏冊3纳米带光电探测器在黑暗及不同功率的405nm激光下的电流-电压曲线图。
[0024]图9为本发明实施例一所制得的高灵敏WO3纳米带光电探测器在ImV偏压及405nm激光照射下的电流-时间响应曲线图。
【具体实施方式】
[0025]下面的实施例是对本发明的进一步详细描述。
[0026]为使本发明技术方案清晰明白，下面对本发明中的技术方案进行详细、完整地描述。
[0027]实施例一
[0028]量取Iml的无水乙醇和4ml的N, N-二甲基甲酰胺(DMF)置于锥形瓶中，称取0.4g的聚乙烯吡咯烷酮(PVP)缓慢的加入到已称取好的无水乙醇与DMF的混合液中，在室温下搅拌2h，直至得到澄清透明的PVP溶液；再称取2g的WCl6快速的加入到已分散好的PVP溶液中，在室温下继续搅拌0.5h，直到形成澄清深蓝色的WC16/PVP的溶液。
[0029]将配置好的前驱体纺丝液静置后注入塑料针管内，并水平置于纺丝机上。金属针头(0.22mm)作电纺丝阳极，铁丝网作接收材料的阴极，阳极与阴极之间的距离为20cm，在18kV高压下进行静电纺丝，制备得到高纯度均勾分布的有机前驱体纳米带材料。
[0030]然后将机前驱体带材料置于70°C恒温烘干箱内，获得固态有机前驱体纳米带材料。最后将固态有机前驱体置于坩祸中，在空气气氛下以7°c /min在500°C保温30分钟进行煅烧，然后随炉冷却。
[0031]图1和图2为所制备的高纯度WO3纳米带材料的典型扫描及透射电镜照片，表明所制备的试样为规整带状结构纳米材料，图3为所制备的高纯度WO3纳米带材料的选区电子衍射图谱，其证明所制备的材料为多晶冊3。
[0032]将制备好的冊3纳米带超声分散到乙醇溶液中，然后滴涂到叉指电极上，随后烘干，构建出WO3纳米带光电探测器。
[0033]图4和图5分别为WO3纳米带光电探测器结构示意图和扫描电镜图。图6为本发明实施例一所制得的高灵敏WO3纳米带光电探测器在不同波长下的光谱响应图谱，表明其对不同波长的响应度不同在400nm时最高，表现出较好的紫外光响应选择性；图7为其在黑暗及不同波长下的电流-电压曲线图，进一步表明其对不同波长光的敏感度不同，具有良好的光响应选择性；图8为其在黑暗及不同功率的405nm激光下的电流-电压曲线图，表明电流大小与入射光强度成正比，说明本WO3纳米带光电探测器的光生载流子效率与吸收光子通量成正比；图9为其在ImV偏压及405nm激光照射下的电流响应时间曲线图，在光照条件下，光电流增加?12nA，关闭光时然后迅速降低到初始值12pA，其光暗电流比达到1000，表明本WO3光电探测器具有超高灵敏度，以及良好的稳定性和可重复性。
[0034]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法，其特征在于:所述的方法包括以下步骤: (1)材料制备: 将概:16与聚乙烯吡咯烷酮加入乙醇与N，N- 二甲基甲酰胺混合液中，搅拌均匀后得到前驱体纺丝液，在ISkV高压下进行静电纺丝，收集得到有机前驱体纳米带；将所述前驱体纳带在空气中于500°C煅烧30分钟，得到WO3多晶纳米带； (2)光电探测器构建: 将冊3纳米带超声分散在乙醇中，然后滴涂在叉指电极上烘干，制得本发明的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器。2.如权利要求1所述的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法，其特征在于:步骤⑴中，WClA聚乙烯吡咯烷酮的质量比是5:1 ;混合液中乙醇与N，N-二甲基甲酰胺的体积比是1:4 ;WC16与混合溶液中重量体积比是2:5g/ml。3.如权利要求1所述的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法，其特征在于:步骤(2)中，本发明制备的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的功能单元为多晶冊3纳米带。4.如权利要求1所述的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法，其特征在于:步骤(2)中，本发明制备的多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器能够实现在低偏压下的紫外高光电流响应，且光暗电流比达1000，具有超高灵敏度。
【专利摘要】本发明公开了一种多晶氧化钨纳米带高灵敏紫外光电探测器的制备方法，包括以下步骤：(1)、将配置的WCl6/聚乙烯吡咯烷酮(PVP)前驱体纺丝液，置于静电纺丝机中进行静电纺丝，收集得到WCl6/PVP有机前驱体纳米带；(2)、将所述WCl6/PVP前驱体纳米带进行高温煅烧，实现WO3多晶纳米带的制备。(3)、WO3纳米带超声分散后，滴涂到叉指电极上，烘干，构建WO3多晶纳米带光电探测器件，然后以激光灯和氙灯为光源，用半导体参数测试系统对其光电探测性能进行检测。本发明与已有技术相对比，能够实现了WO3紫外光电探测器在低偏压下的高光电流响应，且光暗电流比达1000，具有超高灵敏度。
【IPC分类】B82Y30/00, B82Y40/00, D01F9/08, H01L31/18
【公开号】CN104900754
【申请号】CN201510177854
【发明人】杨为佑, 贺之洋, 刘乔, 侯慧林, 高凤梅, 杨祚宝
【申请人】宁波工程学院
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年4月15日