一种基于集成电路工艺的太赫兹双频天线的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及太赫兹信号探测领域，更设及一种利用双频天线作为信号接收部件的 探测器结构，能够实现双波段的响应。
【背景技术】
[0002] 太赫兹是一种频率介于微波和红外之间的过渡区域，具有透射性强，分辨率高等 独特的性能；太赫兹探测技术在宽带通信、雷达、医学成像、无损检测、安全检查等领域有着 重要的应用前景。目前太赫兹技术主要围绕太赫兹源，太赫兹探测和应用领域等进行展开。 其中，获得信噪比高、灵敏度好、宽频响应的室温太赫兹探测器是推动太赫兹技术应用发展 的关键。基于集成电路制造工艺的CMOS太赫兹探测器，具有室温工作，低成本，高成像能力 等突出优势，是未来太赫兹技术实用化的可能途径，目前受到国际各大研究机构的广泛关 注。
[0003]CMOS太赫兹探测器包括CMOS传感器和太赫兹天线两个主要模块。天线的性能及 其与晶体管的电学匹配直接决定了探测器的探测性能。目前已报道了多种基于集成电路 工艺的太赫兹探测器天线结构[1，2]，广泛使用的矩形贴片微带天线如图1所示，它是在一 块厚度远小于工作波长的介质基片（104)的一表面上敷W金属福射片（101)和微带馈线 (102)，另一面上全部敷W金属薄层（103)作接地线。如果福射贴片的长度L近似为半波长， 我们可W将福射贴片、介质基片和接地板视为一段长度为A似为的低阻抗微带传输线。贴 片的长度越短，则谐振频率越高。如果将贴片长度L设计在太赫兹波段，该贴片天线将在相 应太赫兹波段工作。微带天线具有质量轻、体积小和易于制造等优点。
[0004] 但另一方面，由于贴片微带天线的谐振频率由福射贴片长度决定，一个福射贴片 只能对一个谐振频率响应。该天线应用于CMOS太赫兹探测器时，探测器只能探测到一个中 屯、频率的信号，且工作波段较窄，在实际应用中存在工作效率低等显著缺点。
[000引参考文献：
[0006] [1]E. Ojefors, U. Pfeiffer, A. Lisauskas, and H. Roskos ''A 0. 65THz Focal-Plane Array in a Quarter-Micron CMOS Process Technology" IEEE Journal of Solid-State Circuits, vol. 44, no. 7, pp. 1968-1976(2009).
[0007] [2] R. Hadi, H. Sherry, J. Grzyb and U. P打iffer "A化-Pixel Video Camera for 0. 7-1. 1 Terahertz Imaging Applications in 65-nm CMOS" IEEE Journal of Solid-State Circuits, vol. 47, no. 12, pp. 2999-3012(2012).
【发明内容】
[0008] 本发明的目的是，提出一种工作在两个太赫兹频率的宽频太赫兹天线，在实际应 用中提升CMOS太赫兹探测器的响应性能和范围。尤其是针对贴片天线存在的单个频率工 作问题，实现带双频天线的太赫兹探测器。本发明提出一种基于集成电路工艺实现太赫兹 双频天线的太赫兹探测器结构。
[0009] -种基于CMOS标准集成电路工艺的太赫兹双频天线，对传统矩形福射贴片微带 天线进行改进，使得天线福射贴片的长度L对应一个频率谐振，而贴片宽度W对应另一个频 率谐振，然后从矩形福射贴片对角线的一角馈电，则此时天线可W同时激发TMw和TMi。两个 方向模式，就能使同一个福射贴片工作于两个太赫兹频率上；所述太赫兹双频矩形福射贴 片微带天线（于对角线的一角）通过通孔与晶体管的栅极相连接工作。根据工作频率f跟 福射单元长度L的关系式，能够确定出所需工作频率下的天线福射贴片的长宽设计要求。 选取矩形福射贴片对角线上一点作为馈电点，采用同轴线馈电方式。基于CMOS标准集成电 路工艺的太赫兹双频天线，双频矩形福射微带天线的金属福射贴片用集成电路工艺中的顶 层金属制作，底层金属做为接地板，介质层用集成电路后端介质，一般为二氧化娃。顶层金 属上的通孔的位置即双频天线矩形福射贴片对角线上一角馈电点的位置，即通过顶层金属 上的通孔进行同轴线馈电，通过通孔再与下层金属相连，最终通过下层金属上的通孔实现 与晶体管的栅极相连接工作。
[0010] 所述CMOS双波段太赫兹天线探测器应用，在晶体管栅极上加上直流偏置电压V。， 同时微带天线产生的交流电压信号加在晶体管栅极上，源极接地，漏极浮空；晶体管通过自 混频的过程将交流信号整流为直流信号，通过晶体管漏端读出，从而实现对太赫兹信号的 探测。
[0011] 根据传输线模型，，福射贴片的长度L决定天线的工作波长，该里Ae是介质内的 导波波长，即为： 岡
(1)
[0013] 考虑到边缘缩短效应后，实际上的福射单元长度L应为：
[0014]
(2)
[0015] 其中，f为工作频率即矩形贴片的长度，C为真空中光速，ee是有效介电常数，AL 是等效福射缝隙长度。
[0016] 本发明的有效效益为：本发明所述的双波段太赫兹探测器是将传统矩形贴片微带 天线加W改进，使福射贴片的长度L对应一个谐振频率，其宽度W对应另一个谐振频率，然 后从矩形对角线的一角馈电，实现天线的双频工作，增大天线的工作波段。
[0017] 本发明所述的双波段太赫兹探测器是将双频天线跟标准集成电路工艺技术相结 合，能够实现功能的高度集成化，功耗低，且具有成本优势。
[0018] 本发明将太赫兹双频天线通过标准集成电路工艺技术中的互连与晶体管相连接， 实现带双频天线的太赫兹探测器。即得到带双波天线的CMOS太赫兹探测器，使探测器工作 波段更宽，更好的满足实际应用中的需求。该天线在同一个福射贴片上可W工作于两个不 同太赫兹频率。太赫兹双频微带天线用标准集成电路工艺制作，天线通过通孔与晶体管的 栅极相连接工作。从而得到带双波天线的CMOS太赫兹探测器，使探测器工作波段更宽。本 发明所述的双波段太赫兹探测器其结构简单，减小了探测器的设计难度。
【附图说明】
[0019] 图1为传统矩形贴片微带天线结构图。
[0020] 图2为本发明所述双频微带天线结构图；(2a)是俯视图，（2b)是正视图。
[0021] 图3为本发明所述基于标准集成电路工艺的双波段太赫兹探测器截面图。
[00过图4为本发明所述的双波段天线回波损耗S。参数图。
[0023] 图5为本发明所述的双波段天线的增益方向图。
[0024] 图6为本发明所述基于标准集成电路工艺的太赫兹天线工作实验结果图。
【具体实施方式】
[0025] 为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方 式作进一步地详细描述。显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部 的实施例。所描述的实施例仅用于图示说明，而不是对本发明范围的限制。基于本发明的 实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都 属于本发明的保护范围。
[0026] 对于如图2所示的双频天线，选取矩形对角线的馈电点（202)，此时天线可W同时 激发TM"i模式和TM1。模式，即沿着福射贴片长度L方向和沿着福射贴片宽度W方向均可激 发一个谐振频率。根据式（2)谐振频率与福射单元尺寸的关系，我们可W根据实际天线工 作频率的需求来设计该双频天线的福射单元的长度L和宽度W，从而使该太赫兹探测器能 够工作于两个频率上，增加探测器工作波段的宽度。
[0027] 本发明所述的双频天线结构如图2所示为本发明所述双频微带天线的结构示意 图，在一块厚度远小于工作波长的介质基片（204)的一面上敷W金属福射片（201)，另一面 上全部敷W金属薄层作接地板