测量单元及净化气体的流量测量方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及向收容半导体晶片等的FOUP等容器的净化气体(purge gas)流量的测量。
【背景技术】
[0002]在将半导体晶片、分划板等物品收容到FOUP (Front Opening Unified Pod，正面开口标准箱)、分划板箱等容器进行保管之际，向容器提供氮气、清洁干燥空气等净化气体，防止晶片等污染、氧化等。具体为，在保管容器的储料器和自动化仓库等中设置净化气体供给管线，将供给管线的喷嘴和容器的气体导入部连接，将净化气体导入容器内。并且，如果向净化气体供给管线的喷嘴设置气体导入部，则将气体导入部的阀打开，如果取出容器，则将阀关闭。该技术中有必要管理被导入容器内的气体的流量。例如，供给管线的状态不统一，具体来说有:管、管路过滤器等零部件堵塞，管的长度、喷嘴的工作压力不匀，在容器与供给管线的连接处气密性不均匀等的问题。容器与气体导入部的连接处例如由喷嘴和气体导入部构成，之间的气密性由容器的自重维持。
[0003]本发明者们提出过用储料器内的输送装置输送具备流量计的测量单元，测量各开间(日文:間口)中的净化气体的流量的方案(日本专利文献1，JP4670808B)。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献1:JP4670808B
[0006]发明的概要
[0007]发明要解决的问题
[0008]如果设置流量计和电源等从而能够测量净化气体的流量，则测量单元比只收容了一片晶片的容器要重。由于仅收容了一片晶片的容器轻，因此喷嘴与气体导入部之间的气密性不足，净化气体容易泄漏。因此，如果用与收容有平均片数的晶片的容器相对应的测量单元来测量流量的话，则仅管理了良好条件下的流量。该问题在收容分划板等其他物品的情况下也一样存在。
【发明内容】
[0009]本发明的课题是使得能够测量收容有个数比平均数少的物品的容器中的净化气体的流量。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本发明的测量单元，用来测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元包括:
[0012]基板；
[0013]气体导入部，配置在上述基板的底面，与搁板座的喷嘴接触，由此利用来自上述基板的载荷与喷嘴之间保持气密的同时，导入净化气体；
[0014]电路部，至少具有测量上述气体导入部中的流量的流量计和电源；以及
[0015]多个腿部，相对于上述基板沿上下方向位移自由，将测量单元的自重即来自测量单元的载荷的一部分支承在搁板座上。最好使腿部在水平面内相对于基板也前后左右地位移自由。
[0016]本发明的净化气体的流量测量方法中，利用测量单元测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。
[0017]上述测量单元具备:
[0018]基板；
[0019]气体导入部，配置在上述基板的底面，并且利用来自基板的载荷与喷嘴之间保持气密的同时导入净化气体；
[0020]电路部，至少具有流量计和电源；以及
[0021 ] 多个腿部，相对于上述基板沿上下方向位移自由。
[0022]并且，将上述多个腿部支承在搁板座上，并且通过使上述气体导入部与搁板座的喷嘴接触来将测量单元的载荷分配到上述多个腿部和上述气体导入部；
[0023]利用流量计测量经由上述气体导入部而流向上述流量计的净化气体的流量。
[0024]本发明中，由于利用腿部将测量单元自重的一部分支承在搁板座上，因此能够将与收容少量物品的容器相同的载荷施加到气体导入部。因此，能够在净化气体容易泄漏的条件下测量流量。换言之，能够测量条件恶劣的情况下的流向容器内的净化气体的流量。另夕卜，在本说明书中，有关测量单元的记载原封不动地适用于净化气体的流量测量方法，有关净化气体的流量测量方法的记载原封不动地适用于测量单元。来自测量单元的载荷除了分配给腿部和气体导入部以外，也可以分配给引导器等。并且，气体导入部例如设置有多个，测量例如每个气体导入部的流量。
[0025]最好是将上述基板作为第I基板，在第I基板的上方设置有支承上述电路部的至少一部分的第2基板。上述腿部安装在第2基板上、避开第I基板地向着搁板座延伸，从而上述腿部将第2基板的重量即来自第2基板的载荷支承在搁板座上。另外，来自第I基板的载荷分配给例如气体导入部和引导器。如果这样，通过将来自电路部的载荷的一部分支承到腿部上，能够完成减轻作用于气体导入部的载荷的容器。并且，由于作用于气体导入部的载荷的不均匀少，因此不需要载荷的调整。
[0026]最好是测量单元还具有向上述腿部施加朝下的弹力的弹性体和调整上述弹力的调整部件。并且使用调整部件执行调整从气体导入部向喷嘴施加的载荷的调整步骤。如果这样，通过利用调整部件调整弹性体的弹力，能够在宽广的范围内调整施加给气体导入部的加载，能够测量从收容了少量物品的容器到收容了大量物品的容器的净化气体的流量。
【附图说明】
[0027]图1为洁净室内储料器的俯视图；
[0028]图2为储料器内搁板的主要部分俯视图；
[0029]图3为实施例的测量单元的水平方向剖视图；
[0030]图4为实施例的测量单元的仰视图；
[0031]图5为变形例的测量单元的水平方向剖视图；
[0032]图6为第2变形例的测量单元的水平方向剖视图。
【具体实施方式】
[0033]下面介绍实施本发明的优选实施例。本发明的范围应该根据权利要求范围的记载、参照说明书的记载和本领域的众所周知的技术，依照本领域技术人员的理解而确定。
[0034]实施例
[0035]图1?图6中表示实施例及其变形。图1表示成为实施例的测量单元30的使用环境的储料器2，设置多个开间4，将F0UP6等容器保管在每个开间4中。在开间4中设置用来定位并放置F0UP6的搁板座20，从净化气体供给部8往搁板座20的管线提供氮气、清洁干燥空气等净化气体，从管线通过图2的喷嘴24给F0UP6提供净化气体。在储料器2设置有装载口 10，与未图示的桥式吊车或人等之间交接F0UP6，用输送装置12在装载口 10与开间4之间输送F0UP6。输送装置12具备搭载了未图示的移载装置的升降台14，沿轨道16行走，使升降台14升降，与层叠成多层的开间4之间移载F0UP6。容器只要是通过气体导入部从喷嘴24导入净化气体，利用自重保持与喷嘴24之间的气密的部件就可以，保管的物品的种类是任意的。
[0036]为了测量每个开间4的向F0UP6的净化气体流量，设置测量单兀30。测量单兀30能够载置在搁板座20上，与F0UP6 —样从搁板座20 —侧导入净化气体，装备有流量计来测量向测量单元30内的净化气体的流量。并且，测量单元30利用输送装置12向开间4输送。
[0037]图2中表示搁板座20，21为开口，为移载装置的臂支承FOUP和测量单元的底面并进入的区域，22为连接销，定位F0UP6和测量单元30。24为喷嘴，具备未图示的阀，具备例如4个喷嘴24，其中的3个用于提供净化气体，I个用于排出，喷嘴24的个数是任意的。喷嘴24的阀在来自一直内置的弹性体的施力的作用下闭合，在来自F0UP6和测量单元的载荷的作用下打开，流过气体。或者，也可以用未图示的传感器检测F0UP6等，打开喷嘴24的上游侧的阀，流过气体。另外，喷嘴24的结构我们知道有多种，是任意的。
[0038]图3、图4中表示实施例的测量单元30。测量单元30具备例如上下一对金属制等的基板32、34，在下侧的基板32上设置有例如3个引导器35，以及例如3个或4个气体导入部36，它们与设置在F0UP6底部的相同。引导器35引导连接销22。气体导入部36依靠基板32的自重用未图示的弹性垫圈气密地包围喷嘴24。利用来自基板32的载荷打开喷嘴24内置的阀，向流量计41导入净化气体。或者，用搁板座20