速调管电子枪除气台的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空电子学技术领域，尤其涉及一种速调管电子枪除气台。
【背景技术】
[0002]电子枪是速调管最重要的部件之一，由阴极-热子组件、聚焦极组件、阳极和阳极支撑筒组件、电子枪绝缘段组件、阴极热子引线组件和电子枪底座组件等部分组成，其功能是产生和形成一定形状的电子注。
[0003]在速调管研制过程中，电子枪组件的装配和焊接，保证了阴极、聚焦极和阳极间的距离和对中，而真空除气是决定电子管品质最为重要的工序之一。电子枪组件真空预除气保证电子枪具有良好的洁净度，为长寿命、高质量、具有良好电气性能的大功率真空电子器件提供保障。其主要作用是:对阴极进行预加热，获得灯丝伏安特性与温度的关系，模拟电子枪正常工作时的电流、电压及所需真空度；阴极被加热使得阴极材料蒸散，减小电子枪材料工作时的放气速率。目前，电真空器件真空排气系统的研宄报告较多，而对微波管电子枪真空除气特性的研宄及用于电流、电压和温度测量的装置鲜有报道。
【发明内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]鉴于上述技术问题，本发明提供了一种速调管电子枪除气台，以实现高质量的速调管电子枪除气。
[0006]( 二 )技术方案
[0007]根据本发明的一个方面，提供了一种速调管电子枪除气台。该速调管电子枪除气台包括:台架I ;第一工作台39和第二工作台40，相互独立地设置于台架I的工作台面23上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两工作台抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台内的速调管电子枪提供电流和电压；以及电气控制系统，用于对第一工作台39和第二工作台40内真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制。
[0008](三)有益效果
[0009]从上述技术方案可以看出，本发明速调管电子枪除气台具有以下有益效果:
[0010](I)电子枪预除气台通过真空系统能够获得超高真空，极限真空度优于2 X KT7Pa0
[0011](2)双工位工作台能够独立或同时工作，且其中一工位放大气后，另一工位的真空度不低于6X 10_6Pa，有效缩短了电子枪的制作周期，提高了工艺效率；
[0012](3)预除气工作台可以通过石英钟罩监测电子枪在不同电流和时间时的温度曲线，获得的实验数据为速调管后续工序提供依据；
[0013](4)短粗直的真空管道与真空泵构成的双工位结构紧凑，占用空间小，操作方便，制作成本低。
【附图说明】
[0014]图1为根据本发明实施例速调管电子枪出气台中真空系统的示意图；
[0015]图2是图1中电子枪除气台真空系统的左视图；
[0016]图3为根据本发明实施例速调管电子枪出气台中电气控制系统的示意图。
[0017]【主要元件】
[0018]1-台架；2-分子泵 FF200/1200C ； 3-不锈钢螺栓 M8*35 ；
[0019]4-无氧铜垫圈200; 5-第一插板阀；6-真空管道；
[0020]7-第一固定座； 8-电极；9-接料盘支柱；
[0021 ]10-接料盘；11-快接不锈钢波纹管；
[0022]12-刀口法兰波纹管CF35-150 ；13-无氧铜密封圈35 ；
[0023]14-石英玻璃罩； 15-刀口法兰；18-热偶规管；
[0024]16-超高真空全金属角阀CD-J35 ；17-电离规管；
[0025]19-放气阀；20-卡箍 KF40 ；21-离子泵 SP1000 ；
[0026]22-机械泵排气口； 23-不锈钢工作台面； 24-机械泵TRP-48 ;
[0027]25-报警指示灯； 26-分子泵启动允许指示灯；
[0028]27-离子泵启动允许指示灯；28-灯丝电源开允许指示灯；
[0029]29-触摸显示屏； 30-真空计；
[0030]31-灯丝电源；32-稳压电源；33-分子泵电源；
[0031 ]34-离子泵电源； 35-压差式充气阀GYC-JQ40 ;36_三通KF40 ；
[0032]37-三通连接管； 38-不锈钢管；39_第一工作台；40_第二工作台；
[0033]41-第二固定座；42_第二插板阀；43_第二插板阀；44_第四插板阀。
【具体实施方式】
[0034]本发明提供了一种具有双工位工作台的速调管电子枪除气台，其具有结构紧凑、可靠性高、测量参数全等优点，可有效缩短电子枪的制作周期。
[0035]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
[0036]在本发明的一个示例性实施例中，提供了一种速调管电子枪除气台。本实施例速调管电子枪除气台包括:台架I ;第一工作台39和第二工作台40，相互独立地设置于所述台架I的工作台面23上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两个工作台进行抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台上的处于真空状态的速调管电子枪提供电流和电压；电气控制系统，用于对两工作台的真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制，实现对容置于两工作台上的速调管电子枪的除气。
[0037]本实施例中，台架I为具有一工作台面的架体，在不锈钢工作台面上对称设置两个工作台-第一工作台39和第二工作台40。两个接料盘支柱9 一端分别与相应的工位焊接固定，另一端与接料盘焊接固定。
[0038]在工作台面23上两工作台的位置上分别安装石英钟罩14。石英钟罩与下方的工作台面采用L型氟橡胶密封圈密封连接，构成密封的工作台。在工作台的下方，设置有相应的固定座，用于工作台和真空系统之间的真空连接，及和电极系统的电性连接。其中，第一固定座7对应第一工作台39 ;第二固定座41对应第二工作台40。
[0039]真空系统通过固定座对工作台进行抽真空获得超高真空。石英钟罩要求承受一定压力和温度，因此主体是直立的圆筒形回转体，底部端口形状为圆形平面，顶部为半球形。
[0040]电极系统用于为容置于两工作台上的速调管电子枪提供电流和电压，包括:设置于工作台面23下方，对应工作台位置的两电极8。固定座7与电极8通过刀口法兰15连接。工作台上放置的速调管电子枪的电性连接设置于工作台面下方相应的电极8上。该两电极8的前端分别通过相应的固定座连入真空系统内，为处于真空状态的速调管电子枪提供电流和电压。
[0041]图1为根据本发明实施例速调管电子枪出气台中真空系统的示意图。请参照图1，真空系统包括:机械泵24、分子泵2和离子泵21。其中，分子泵2位于第一工作台39的下部。离子泵21位于第二工作台40的下部。
[0042]机械泵24的进气口连接至与分子泵2的出气口 ；分子泵2的进气口连接到第一工作台39。离子泵21的进气口连接至第二工作台40。分子泵2的进气口和离子泵21的进气口通过真空管道连接。在实际工作中，可以根据需要开启相应的真空泵，对第一工作台39和第二工作台40抽真空。
[0043]请参照图1，真空管道6为“H”型的真空管道。分子泵2的进气口通过无氧铜垫圈4、第一插板阀5和不锈钢螺栓3与真空管道6的第一端口连接。真空管道6的第二端口通过第二插板阀42、第一固定座7与第一个工作台39连接。其中，第一端口和第二端口为处于同一垂线的端口。
[0044]离子泵21的进气口通过第三插板阀43连接至真空管道6的第三端口，真空管道6的第四端口通过第四插板阀44和第二固定座41与第二工作台连接。其中，第三端口和第四端口为处于同一垂线的端口。
[0045]图2是图1中电子枪除气台真空系统的左视图。如图2所示，速调管电子枪除气台还包括:三通件36。机械泵24的进气口通过压差式充气阀35、三通件36的第一端口、三通连接管37与分子泵2的出气口端连接。机械泵24通过压差式充气阀35、三通件36的第三端口、快接不锈刚波纹管11和不锈钢管38与两个超高真空全金属角阀16连接。两个超高真空全金属角阀16分别通过刀口法兰与两个固定座7连接，快接不锈刚波纹管11和三通件36通过卡箍20固定。刀口法兰波纹管12和不锈钢管38通过螺栓固定。放气阀19通过卡箍20与不锈钢管38固定连接。
[0046]机械泵24、压差式充气阀35、三通件36、快接不锈刚波纹管11、刀口法兰波纹管12、不锈钢管38和金属角阀16分别与两个工作台连接，组成真空系统的旁路系统，通过金属角阀的开启和关闭实现两个工作台的预抽真空达到分子泵的启动要求。
[0047]其中，第一插板阀5、第二插板阀42、第三插板阀43和第四插板阀44均为超高真空手动插板阀。在各个工作状态下，插板阀的开合状态如下:
[0048](I)当第一工作台独立工作时，开启第一插板阀5、第二插板阀42和第三插板阀43，关闭第四插板阀44 ；
[0049](2)当第二工作台独立工作时，开启第一插板阀5、第三插板阀43和第四插板阀44，关闭第二插板阀42 ；
[0050](3)当第一和第二工作台同时工作时，开启第一插板阀5、第二插板阀42、第三插板阀43和第四插板阀44。
[0051]所述真空计的真空度测量通过4个CC-200超高真空插板阀的转换，实现每个工作台可以单独工作或两工作台同时工作，且其中一工作台放大气后，另一位的真空度不低于6 X KT6Pa0
[0052]图3为根据本发明实施例速调管电子枪出气台中电气控制系统的示意图。请参照图3，电气控制系统是PLC控制系统，机械泵24，分子泵2，压差式充气阀35，离子泵电源34，电子枪灯丝电源30和真空计30均通过控制线路与电气控制系统连接。该电气控制系统包括:真空计30、分子泵电源33、稳压电源32、离子泵电源34、灯丝电源31及触摸屏29。
[0053]分子泵电源33与分子泵连接，用于控制分子泵2的启动和关闭。
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