8寸固晶机分割12寸晶圆mapping图设备及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种固晶机及使用方法，特别涉及一种8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备及方法，属于半导体封装设备技术领域。
【背景技术】
[0002]半导体封装是指安装半导体集成电路芯片用的外壳，它起着安放、固定、密封、保护芯片和增强导热性能的作用；封装对于芯片来说是必须的，因为芯片必须与外界隔离，以防止空气中的杂质对芯片电路的腐蚀而造成电气性能下降；另一方面，封装后的芯片也更便于安装和运输；由于封装的好坏还直接影响到芯片自身性能的发挥和与之连接的PCB的设计和制造，半导体封装过程中，需要实现晶圆MAPPING图的分割，目前国内外还没在8寸IC固晶机上实现对12寸晶圆MAPPING图的分割；目前国内企业主要以8寸IC固晶机为主，还无法将带mapping图的12寸晶圆应用到8寸设备上；由于进口 12寸固晶机价格非常昂贵，8寸IC固晶机又无法直接实现12寸晶圆MAPPING图分割。
【发明内容】
[0003](一)要解决的技术问题
为解决上述问题，本发明提出了一种8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备及方法，能够在8寸固晶机上实现12寸晶圆MAPPING图。
[0004](二)技术方案
本发明的用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备，包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信。
[0005]进一步地，所述摄像系统垂直于移动承载台安装。
[0006]一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图具体方法，包括以下步骤:
第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份；
第二步，将12寸晶圆MAPPING图载入电脑设备进行显示；
第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台上；
第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点进行对应，移动承载台开始左右自动移动寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存；
第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作。
[0007]有益效果与现有技术相比，本发明的8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备及方法，能够直接在8寸IC固晶机上分割12寸晶圆MAPPING图；通过对12寸晶圆MAPPING图分割后，8寸固晶机可以做带MAPPING的12寸晶圆。
【附图说明】
[0008]图1是本发明的正面结构示意图；
图2是本发明的俯视结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]如图1至图2所示的用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备包括移动承载台2 ;及设置于移动承载台上方的分割机构3 ;所述分割机构前侧安装有摄像系统I ;所述摄像系统I与电脑设备(未图示)通信。
[0010]其中，所述摄像系统垂直于移动承载台安装。
[0011]一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图具体方法，包括以下步骤:
第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份；
第二步，将12寸晶圆MAPPING图载入电脑设备进行显示；
第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台2上；
第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点进行对应，移动承载台开始左右自动移动寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存；
第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作。
[0012]上面所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的构思和范围进行限定。在不脱离本发明设计构思的前提下，本领域普通人员对本发明的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本发明的保护范围，本发明请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
【主权项】
1.一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备，包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；其特征在于:所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信。2.根据权利要求1所示的用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备，其特征在于:所述摄像系统垂直于移动承载台安装。3.一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图方法，其特征在于:所述方法包括以下步骤: 第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份； 第二步，将12寸晶圆MAPPING图载入电脑设备进行显示； 第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台上； 第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点进行对应，移动承载台开始左右自动移动寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存； 第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作。
【专利摘要】本发明公开了一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备；包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；其特征在于：所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信；其方法包括以下步骤：第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份；第二步，将12寸晶圆MAPPING图电脑设备进行显示；第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台上；第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点对应，移动承载台寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存；第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作；能够直接在8寸IC固晶机上做带MAPPING的12寸晶圆。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN104992915
【申请号】CN201510425838
【发明人】胡国俊, 李海洋, 奚衍东, 刘德秋
【申请人】翼龙设备（大连）有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年7月20日