一种硅片载具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅片腐蚀领域，特别涉及一种硅片载具。
【背景技术】
[0002]目前在硅片腐蚀工艺中，硅片专用载具放入恒温腐蚀池中腐蚀一定时间，并在机械臂的作用下抖动，硅片上没有保护的地方被腐蚀形成沟槽，勾画出芯片的初步形状，同时将芯片的PN结暴露出来待进一步处理。
[0003]而目前的硅片载具在恒温腐蚀池抖动时，由于硅片载具对硅片并没有固定作用，所以在硅片抖动的作用下会产生不可控制的自旋转，导致硅片在腐蚀过程中每个方向腐蚀的力度不一致从而形成的沟槽深度不一，批次一致性差，对之后工序的质量甚至成品质量都有重大影响。
【发明内容】
[0004]本发明主要对硅片载具在抖动过程中发生的自旋转，导致硅片各方向力度不一致而形成的沟槽深度不一、批次一致性差的问题，提供一种能控制硅片在腐蚀过程中的自旋转，提高沟槽深度的均匀性和一致性的硅片载具。
[0005]为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案:
一种娃片载具，包括:
载具主体，用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部；
至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括V形槽固定条，所述V形槽固定条用于卡住娃片位于开口侧的边缘端以固定娃片；优选的，所述固定单元还包括，至少一个定位调节件，所述定位调节件用于调整娃片的紧固程度；
压片条，位于所述V形槽固定条背面并与所述V形槽固定条通过相同紧固件固定于所述载具主体上，，所述定位调节件设置于与所述压片条上。
[0006]优选地，所述的娃片载具包括2个固定单元。
[0007]优选的，所述硅片载具还包括旋转单元，所述旋转单元活动连接所述载具主体，所述载具主体和所述固定单元通过所述旋转单元做同轴转动。
[0008]优选的，所述旋转单元包括2个活动悬杆，所述活动悬杆分别活动连接于所述载具主体的两侧壁相同位置上，在所述侧壁上设置有至少2个旋转定位孔；
所述旋转定位孔与所述活动悬杆和所述载具主体的连接点等距，且任一相邻2个旋转定位孔所构成的圆弧的弧度相等；
所述活动悬杆上设置有定位孔，所述定位孔与所述旋转定位孔位置重叠，通过使用紧固件穿过所述定位孔和旋转定位孔将所述活动悬杆和载具主体及固定单元固定。
[0009]与现有技术相比，本发明的有益效果: 硅片在抖动过程中不在发生自旋转，使其在抖动腐蚀过程中被固定不再产生法自旋转，保证了硅片在腐蚀过程中的自旋转提高沟槽深度的均匀性和一致性；
加装旋转单元，在腐蚀一定时间后，将硅片载具旋转90°再进行腐蚀，再处理再旋转90°，以此类推，保证硅片四端都能均匀腐蚀从而保证其腐蚀深度均匀性以及腐蚀的一致性。
[0010]【附图说明】。
[0011]图1为本发明一种硅片载具的结构示意图。
[0012]图2为本发明一种硅片载具的正视图。
[0013]图3为本发明一种硅片载具的俯视图。
[0014]图4为本发明一种硅片载具的旋转单元结构示意图。
[0015]图中标记:1_载具主体，2-V形槽固定条，3-活动悬杆，31-活动悬杆和载具主体的连接点，32-定位孔，4-旋转定位孔，5-定位调节螺钉，6-压片条，7-固定螺丝-7，33-旋转定位固定螺丝。
【具体实施方式】
[0016]下面结合试验例及【具体实施方式】对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本
【发明内容】
所实现的技术均属于本发明的范围。
[0017]实施例1
参看图1，一种硅片载具，包括:
承放硅片的载具主体I，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体I内部；
2个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体I的开口侧，分别位于载具主体I的顶部和侧面，每个固定单元均包括；
V形槽固定条2，所述V形槽固定条2用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片；压片条6，所述压片条6位于所述V形槽固定条2背面，所述V形槽固定条2与所述压片条6两侧同一位置均设有一孔，通过固定螺丝7穿过该孔将V形槽固定条2和压片条6一同固定于所述载具主体I上，所述定位调节螺钉5设置于与所述压片条6上，通过所述定位调节螺钉5调节硅片的紧固程度。
[0018]在具体实施中，首先安装侧面的固定单元，此时固定螺钉7未完全旋紧，方便装入硅片，待硅片安装完成后将顶面固定单元安装到位，此时将2个固定单元中的紧固螺钉7均完全旋紧，并通过调节2个单元中的定位调节螺钉5将硅片固定至完全不动。
[0019]作为本发明的优选实施方式，所述硅片载具还包括旋转单元，所述旋转单元活动连接所述载具主体1，所述载具主体I和所述固定单元通过所述旋转单元做同轴转动。
[0020]作为本发明的优选实施方式，参看图4，所述旋转单元包括2个活动悬杆3，所述活动悬杆3分别活动连接于所述载具主体I的两侧壁相同位置上，在所述侧壁上设置有4个旋转定位孔4 ；
所述旋转定位孔4与所述活动悬杆3和所述载具主体I的连接点31等距，且任一相邻2个旋转定位孔4所构成的圆弧的弧度均为90度； 所述活动悬杆3上设置有定位孔32，所述定位孔32与所述旋转定位孔位置重叠，通过使用旋转定位固定螺丝33穿过所述定位孔32和旋转定位孔4将所述活动悬杆3和载具主体I及固定单元固定。
[0021]在具体实施中，当放置于载具主体I内部的硅片通过所述2个固定单元固定后，转动所述载具主体I，使其侧壁的旋转定位孔4与设置于活动悬杆3上的定位孔32重合，通过旋转定位固定螺丝33将载具主体I和活动悬杆3固定，本实施例中载具主体侧壁共设有4个旋转定位孔4，在硅片复腐蚀中，可定时将载具进行90度旋转后再次进行腐蚀，使硅片四端都能均匀腐蚀从而保证其腐蚀深度均匀性以及腐蚀的一致性。
【主权项】
1.一种硅片载具，其特征在于，包括: 载具主体(1)，用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部； 至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括 V形槽固定条(2)，所述V形槽固定条用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片。2.根据权利要求1所述的一种硅片载具，其特征在于，所述固定单元还包括，至少一个定位调节件(5)，所述定位调节件(5)用于调整硅片的紧固程度； 压片条(6)，位于所述V形槽固定条(2)背面并与所述V形槽固定条(2)通过相同紧固件固定于所述载具主体(I)上，所述定位调节件(5)设置于与所述压片条(6)上。3.根据权利要求1-2任一项所述的一种硅片载具，其特征在于，包括2个固定单元。4.根据权利要求1所述的一种娃片载具，其特征在于，还包括旋转单元，所述旋转单元活动连接所述载具主体，所述载具主体和所述固定单元通过所述旋转单元做同轴转动。5.根据权利要求2所述的一种硅片载具，其特征在于，所述旋转单元包括2个活动悬杆(3)，所述活动悬杆(3)分别活动连接于所述载具主体的两侧壁相同位置上，在所述侧壁上设置有至少2个旋转定位孔(4); 所述旋转定位孔(4)与所述活动悬杆(3)和所述载具主体的连接点等距，且任一相邻2个旋转定位孔(4)所构成的圆弧的弧度相等； 所述活动悬杆(3)上设置有定位孔(32)，所述定位孔(32)与所述旋转定位孔(4)位置重叠，通过使用紧固件穿过所述定位孔(32)和旋转定位孔(4)将所述活动悬杆(3)和载具主体(I)及固定单元固定。
【专利摘要】本发明公开了一种硅片载具，包括：载具主体（1），用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部。至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括，V形槽固定条（2），所述V形槽固定条用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片，通过V形槽固定条的固定，使得硅片在抖动过程中不在发生自旋转，保证了硅片在腐蚀过程中的自旋转提高沟槽深度的均匀性和一致性。
【IPC分类】H01L21/68, H01L21/683, H01L21/673
【公开号】CN104992917
【申请号】CN201510486231
【发明人】滕勇, 彭应龙, 周毅
【申请人】乐山无线电股份有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年8月10日