S2期间，曲线图a9具有相同的幅值。此外，在状态S3期间，曲线图a9包括具有正的弯曲斜率的幅值。在状态S4期间，曲线图a9具有负的线性斜率。在状态S4和S2之间的转变期间，曲线图a9从具有负的线性斜率的幅值转变到状态S2的幅值。
[0066]图1D-1显示用于说明软脉冲调制的曲线图al0、all、al2、和al3的实施方式。曲线图alO至al3中的每个描绘了 RMS值与时间t的关系曲线，RMS值是第一变量的实施例。曲线图alO在状态SO期间具有斜率为零的恒定值。此外，该曲线图alO在状态SI期间的一时间段内具有正的线性斜率并且在状态SI期间的该时间段后具有斜率为零的恒定值。在从状态SI转变到状态SO期间，曲线图alO转变到状态SO的恒定值。曲线图alO是正的被钳位的锯齿波形，其类似于曲线图al (图1A)的正的锯齿波形，不同之处在于该正的锯齿波形其顶部被钳位。曲线图alO在状态SO期间具有成组的幅值A19，而在状态SI期间具有成组的幅值A20。
[0067]曲线图all在状态SO期间具有恒定值并具有零斜率。曲线图all在从状态SO转变到状态SI的期间从恒定值转变到高值，然后在状态SI期间保持恒定值持续一定时间段。在该段时间之后，曲线图all在状态SI期间具有负的线性斜率以达到状态SO的恒定值。曲线图all在状态SO期间具有成组的幅值A21，而在状态SI期间具有成组的幅值A22。曲线图all是曲线图alO的镜像。曲线图all在状态SO期间具有成组的幅值A21，而在状态SI期间具有成组的幅值A22。
[0068]在一些实施方式中，曲线图all在状态SI期间具有负的线性斜率的时间段是状态SO的一部分，而不是状态SI的一部分。
[0069]曲线图al2在状态SO期间具有恒定值，然后在状态SI期间随弯曲的正斜率增大到高值。在状态SI期间，曲线图al2持续弯曲的正斜率一定时间段以在该时间段后达到恒定值。曲线图al2在状态SI期间具有斜率为零的状态SI的恒定值，并在从状态SI转变到状态SO的期间减小到状态SO的恒定值。曲线图al2在状态SO期间具有成组的幅值A23，而在状态SI期间具有成组的幅值A24。应当指出，在成组的幅值A23中的每个幅值是相同的。
[0070]曲线图al3在状态SO期间具有恒定值，然后在状态SI期间随弯曲的正的按指数规律增大的斜率增大到高值。在状态SI期间，在状态SO的恒定值转变之后，曲线图al3具有斜率为零的持续一定时间段的高值，并且在状态SI期间的其余时间段具有负的线性斜率以达到状态SO的恒定值。曲线图al3在状态SO期间具有成组的幅值A25，而在状态SI期间具有成组的幅值A26。应当指出，在成组的幅值A25中的每个幅值是相同的。
[0071]在一些实施方式中，曲线图al3在状态SI期间具有负的线性斜率的时间段是状态SO的一部分，而不是状态SI的一部分。
[0072]图1D-2示出了曲线图al2及al3以图解与脉冲信号的三种状态S2、S3和S4同步的第一变量的软脉冲调制。在状态S2期间，曲线图al2具有相同的幅值。此外，在状态S3期间，曲线图al2具有正的弯曲斜率，而在状态S4期间，曲线图al2具有零斜率。在从状态S4转变到状态S2的期间，曲线图al2从斜率为零的幅值达到状态S2的幅值。
[0073]在一些实施方式中，状态S4具有曲线图al2的正的弯曲斜率，而不是曲线图al2中的恒定零斜率。例如，在从状态S3转变到状态S4的期间，曲线图al2继续正的弯曲斜率，而不是转变到恒定的零斜率。
[0074]在状态S2期间，曲线图al3具有相同的幅值。此外，在状态S3期间，曲线图al3具有正的按指数规律增大的弯曲斜率。在状态S4期间，曲线图al3在一定时间段具有零斜率，然后在状态S4的其余时间段转变为负的线性斜率。
[0075]在一些实施方式中，在状态S4期间，曲线图al3在一定时间段具有零斜率，然后在状态S4的其余时间段转变为负的弯曲斜率。
[0076]图1E示出了曲线图al4、al5和al6的实施方式以图解软脉冲调制。曲线图al4至al6中的每个描绘了 RMS值与时间t的关系曲线，RMS值是第一变量的实施例。曲线图al4在状态SO期间在一定时间段具有斜率为零的恒定值，并在状态SO期间的该时间段后具有负的线性斜率。曲线图al4在状态SI期间在一定时间段具有正的线性斜率以达到恒定值，并在状态SI期间的该时间段后具有斜率为零的恒定值。曲线图al4在状态SO期间具有成组的幅值A27，而在状态SI期间具有成组的幅值A28。曲线图al4类似于图1A的曲线图a3，不同之处在于曲线图al4在其顶部被钳位。
[0077]曲线图al5在状态SO期间在一定时间段期间具有负的线性斜率以达到恒定值，并且在状态SO期间的其余时间段期间具有斜率为零的恒定值。曲线图al5在状态SI期间在一定时间段期间具有恒定值，并且在该时间段后转变到具有正的线性斜率。曲线图al5在状态SO期间具有成组的幅值A29，而在状态SI期间具有成组的幅值A30。曲线图al5是类似于图1A的曲线图a3，不同之处在于曲线图al5在其底部被钳位。
[0078]曲线图al6在状态SO期间在第一时间段期间具有零斜率内的恒定值，在状态SO期间在第二时间段期间具有负的斜线性率以及在状态SO期间在其余时间段期间具有斜率为零的恒定值。此外，在状态SI的第一时间段期间，曲线图al6具有该曲线图al6在状态SO期间的所述其余时间段期间具有的恒定值。曲线图al6在状态SI期间在第二时间段期间具有正的线性斜率并且在状态Si期间在其余的时间段期间具有斜率为零的恒定值。曲线图al6在状态SO期间具有成组的幅值A31，而在状态SI期间具有成组的幅值A32。曲线图al6类似于图1A的曲线图a3，不同之处在于曲线图al6在其顶部和底部被钳位。
[0079]在一些实施方式中，曲线图al6在状态SO的其余时间段期间具有零斜率，随后是状态SI的正的线性斜率，而不是在状态SI的第一时间段具有恒定值。
[0080]图1F示出了曲线图al7和al8的实施方式以图解软脉冲调制。图形al7和al8中的每个描绘了 RMS值与时间t的关系曲线，RMS值是第一变量的实施例。曲线图al7类似于图1E的曲线图al6，不同之处在于状态SO的时间周期长于状态SI的时间周期。曲线图al7在状态SO期间具有成组的幅值A33，而在状态SI期间具有成组的幅值A34。此外，曲线图al8类似于曲线图al6，不同之处在于状态SI的时间周期长于状态SO的时间周期。曲线图al8在状态SO期间具有成组的幅值A35，而在状态SI期间具有成组的幅值A36。
[0081]在一些实施方式中，本文所述的任何曲线图是向右侧或左侧移位状态的一半。
[0082]在多种实施方式中，本文所述的任何线性斜率是弯曲的斜率，例如，指数斜率(exponential slopes)、正弦斜率(sinusoidal slopes)等。
[0083]在若干实施方式中，本文所述的任何弯曲斜率为线性斜率。
[0084]图2A示出了曲线图bl、b2、b3、和b4的实施方式以图解第二变量(例如，变量2等)或者第二参数(例如，参数2等)的软脉冲调制。除了第二变量与第一变量是不同类型的变量外，第二变量的实施例与第一变量的实施例相同。例如，当第一变量是功率时，所述第二变量是频率。又例如，当第一变量是频率时，所述第二变量是功率。又例如，当第一变量是电压时，第二变量是电流。除了第二参数与第一参数是不同的类型外，第二参数的实施例与第一参数的实施例是相同的。例如，当第一参数为间隙时，第二参数是压力。又例如，当第一参数为压力时，第二参数是流率。
[0085]曲线图bl类似于曲线图al (图1A)，不同之处在于曲线图bl是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl具有成组的幅值BI，而在状态SI期间，曲线图bl具有成组的幅值B2。此外，曲线图b2类似于曲线图a2 (图1A)，不同之处在于曲线图b2是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b2具有成组的幅值B3，而在状态SI期间，曲线图b2具有成组的幅值B4。另外，曲线图b3类似于曲线图a3 (图1A)，不同之处在于曲线图b3是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b3具有成组的幅值B5，而在状态SI期间，曲线图b3具有成组的幅值B6。此外，曲线图b4类似于曲线图a4(图1A)，不同之处在于曲线图b4是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b4具有成组的幅值B7，而在状态SI期间，曲线图b4具有成组的幅值B8。
[0086]图2B示出了曲线图b5、b6、以及b7的实施方式以图解第二变量的软脉冲调制。曲线图b5类似于曲线图a5中(图1B)，不同之处在于曲线图b5是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b5具有成组的幅值B9，而在状态SI期间，曲线图b5具有成组的幅值B10。此外，曲线图b6类似于曲线图a6(图1B)，不同之处在于曲线图b6是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b6具有成组的幅值B11，而在状态SI期间，曲线图b6具有成组的幅值B12。另外，曲线图b7类似于曲线图a7(图1B)，不同之处在于曲线图b7是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b7具有成组的幅值B13，而在状态SI期间，曲线图b7具有成组的幅值B14。
[0087]图2C-1示出了曲线图b8和b9的实施方式以图解第二变量的软脉冲调制。曲线图b8类似于曲线图a8(图1C-1)，不同之处在于曲线图b8是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b8具有成组的幅值B15，而在状态SI期间，曲线图b8具有成组的幅值B16。在成组的幅值B15中的每个幅值是相同的。此外，曲线图b9类似于曲线图a9(图1C-2)，不同之处在于曲线图b9是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图b9具有成组的幅值B17，而在状态SI期间，曲线图b9具有成组的幅值B18。
[0088]图2C-2示出了曲线图b8和b9的实施方式以图解与三种状态S2、S3和S4同步的第二变量的软脉冲调制。应当注意曲线图b8类似于图1C-2的曲线图a8，不同之处在于曲线图b8示出了第二变量的软脉冲调制。此外，曲线图b9类似于图1C-2的曲线图a9，不同之处在于曲线图b9示出了第二变量的软脉冲调制。
[0089]图2D-1示出了曲线图bl0、bll、bl2、和bl3的实施方式以图解第二变量的软脉冲调制。曲线图blO类似于曲线图alO (图1D-1)，不同之处在于曲线图blO是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图blO具有成组的幅值B19，而在状态SI期间，曲线图blO具有成组的幅值B20。此外，曲线图bll类似于曲线图all (图1D-1)，不同之处在于曲线图bll是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bll具有成组的幅值B21，而在状态SI期间，曲线图bll具有成组的幅值B22。另外，曲线图bl2类似于曲线图al2 (图1D-2)，不同之处在于曲线图bl2是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl2具有成组的幅值B23，而在状态SI期间，曲线图bl2具有成组的幅值B24。此外，曲线图bl3类似于曲线图al3 (图1D-2)，不同之处在于曲线图bl3是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl3具有成组的幅值B25，而在状态SI期间，曲线图bl3具有成组的幅值B26。
[0090]图2D-2示出了曲线图bl2和bl3的实施方式以图解与三种状态S2，S3和S4同步的第二变量的软脉冲调制。曲线图bl2类似于图1D-2的曲线图al2，不同之处在于曲线图bl2示出了第二变量与时间的相互关系。此外，曲线图bl3类似于图1D-2的曲线图al3，不同之处在于曲线图bl3示出了第二变量与时间的相互关系。
[0091]图2E示出了曲线图bl4、bl5、和bl6的实施方式以图解第二变量的软脉冲调制。曲线图bl4类似于曲线图al4(图1E)，不同之处在于曲线图bl4是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl4具有成组的幅值B27，而在状态SI期间，曲线图bl4具有成组的幅值B28。此外，曲线图bl5类似于曲线图al5(图1E)，不同之处在于曲线图bl5是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl5具有成组的幅值B29，而在状态SI期间，曲线图bl5具有成组的幅值B30。另外，曲线图bl6类似于曲线图al6 (图1E)，不同之处在于曲线图bl6是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl6具有成组的幅值B31，而在状态SI期间，曲线图bl6具有成组的幅值B32。
[0092]图2F示出了曲线图bl7和bl8的实施方式以图解第二变量的软脉冲调制。曲线图bl7类似于曲线图al7 (图1F)，不同之处在于曲线图bl7是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl7具有成组的幅值B33，而在状态SI期间，曲线图bl7具有成组的幅值B34。此外，曲线图bl8类似于曲线图al8(图1F)，不同之处在于曲线图bl8是用于第二变量的。在状态SO期间，曲线图bl8具有成组的幅值B35，而在状态SI期间，曲线图bl8具有成组的幅值B36。
[0093]在多种实施方式中，当曲线图具有相同的形状(例如，形式等)并具有不同的或相同的统计测量值时，两曲线图是相似的。例如，具有正弦形状的两曲线图在形状上类似，不同之处在于两曲线图中的第一个的峰至峰幅值大于两曲线图中的第二个的峰至峰幅值。
[0094]在一些实施方式中，包括状态SI和状态SO的一个周期具有数毫秒(例如2毫秒、3毫秒等)的时间段。在多种实施方式中，状态SI和SO具有相同的占空比。状态SI与状态SO是连续的。在若干实施方式中，相比于状态SO的占空比，状态SI具有不同的占空比，例如，具有较大、较小的占空比等。状态SI与状态SO是连续的。
[0095]在若干实施方式中，正或负斜率在统计测量信号(例如RMS波形、峰至峰幅值波形等)的一个周期期间出现持续至少一定百分比(例如，百分之五、百分之六、百分之十等)的占空比。
[0096]应当注意的是，在图1A至IF和2A至2F中的每个图中，如本文所用的曲线图是在图中所示的RF信号的统计测量结果。例如，图1A的曲线图al是具有RF信号的RMS值的信号。具有RMS值的信号示于图1A。
[0097]应当指出的是，虽然图1A至IF和2A至2F的曲线图描绘了 RMS值，但在一些实施方式中，曲线图描绘了由RF发生器产生的正弦RF信号的任何其它统计测量结果。
[0098]图3是曲线图105和107的实施方式的示图，其图解，曲线图al至al8和曲线图bl至bl8描绘由RF发生器产生的正弦信号的RMS值。曲线图105包括由RF发生器产生的正弦RF信号102与时间t的关系曲线的图形，例如，波形等。正弦RF信号102包括在状态SO期间产生的第一部分101和在状态SI期间产生的第二部分103。曲线图105的图形106是正弦RF信号102的统计测量结果(例如，包络线、峰至峰幅值等)与时间t的关系曲线。
[0099]类似地，曲线图107包括由RF发生器产生的正弦RF信号108与时间t的关系曲线的图形。曲线图107包括正弦RF信号108的统计测量结果110与时间t的关系曲线。
[0100]图4是示图，该示图用于图解:由RF发生器产生RF信号以得到如曲线图al至al8中任何一个所示的第一变量和由另一 RF发生器产生RF信号以同时得到如曲线图bl至bl8中任何一个所示的第二变量。例如，RF发生器由该RF发生器的数字信号处理器(DSP)控制以产生RF信号，从而得到曲线图al的第一变量，同时，另一 RF发生器由该另一 RF发生器的其他DSP控制以产生RF信号，从而得到曲线图b2的第二变量。又例如，RF发生器由该RF发生器的DSP控制以产生RF信号，从而得到曲线图al6的第一变量，同时，另一 RF发生器由该另一 RF发生器的其他DSP控制以产生RF信号，从而得到曲线图blO的第二变量。又例如，RF发生器由该RF发生器的DSP控制以产生RF信号，从而进一步得到曲线图al至al8中任何一个的第一变量，同时，另一 RF发生器由该另一 RF发生器的其他DSP控制以产生RF信号，从而得到曲线图bl至bl8中任何一个的第二变量。又例如，RF发生器的DSP提供如曲线图al至al8中任何一个所示的第一变量以产生具有第一变量的RF信号，而另一RF发生器的DSP提供如曲线图bl至bl8中任何一个所示的第二变量以产生具有第二变量的RF信号。又例如，RF发生器的DSP提供具有如曲线图a3所示的函数关系的第一变量以产生具有如曲线图a3所示的第一变量的RF信号，RF发生器的DSP进一步提供具有如曲线图b5所示的函数关系的第二变量以产生具有如曲线图b5所示的第二变量的RF信号。
[0101]如本文所使用的，处理器包括专用集成电路(ASIC)、或可编程逻辑器件(PLD)、或中央处理单元(CPU)、或控制器、微处理器、或它们的组合。
[0102]图5示出了多个曲线图gl、g2、g3和g4的实施方式以图解曲线图gl至g4之间的相似性。曲线图gl表示RMS值，该RMS值是第一变量的实施例，曲线g2表示RMS值，该RMS值是第二变量的实施例，曲线图g3表示第一参数的实施例，曲线图g4表示第二参数的实施例。
[0103]曲线图gl至g4中的每个被绘制在具有时间t的时间轴上。例如，曲线图gl的状态SI和SO被表示为时间tl、t2、t3和t4的函数。同样地，曲线图g2至g4中的每个的状态SI和SO被表示为时间tl至t4的函数。
[0104]在多种实施方式中