一种机械臂与降温腔体之间的定位装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体集成电路制造设备领域，涉及一种机械臂与降温腔体之间的定位装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展，300mm的娃片已经取代200mm的娃片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行输送的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，机械臂广泛应用于半导体集成电路制造技术领域中，成为在300_硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。
[0003]现有技术中，现有的机械臂包括单手机械臂、双手机械臂以及多手机械臂，用以搬运工艺处理前和工艺处理后的单枚、双枚以及多枚硅片，当机台进行安装调试或者更换完机械臂之后，就需要对机械臂需要传送的工艺腔体的搬送位置进行校正。
[0004]以双手机械臂为例，其包括金属机械臂和机械臂，在双手机械臂传输前，需要对金属机械臂和机械臂分别进行位置校正。正常传送时，由机械臂会将工艺处理后的晶圆传送至降温腔体进行冷却，冷却完成后，由金属机械臂将降温腔体上降温完成的晶圆传送回晶圆装载盒内。
[0005]然而，现有的机械臂将工艺处理后的晶圆传送至降温腔体进行冷却时，无法保证晶圆是否能放置于降温腔体基座上的中心位置处，从而导致现场工程师只能根据个人的经验，对机械臂进行前后左右的调整，最后根据肉眼判断晶圆是否被放置于降温腔体基座的中心位置。这就对现场工程师的经验和肉眼观察能力提出了较高的要求，往往由于个人判断标准不一致，会出现降温腔体内晶圆放置偏差的缺陷。
[0006]因此，本领域技术人员亟需提供一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，以保证晶圆能够快速精准的放置在降温腔体的中心位置处。
【发明内容】
[0007]本发明所要解决的技术问题是提供一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，以保证晶圆能够快速精准的放置在降温腔体的中心位置处。
[0008]为了解决上述技术问题，本发明提供了一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，包括:
[0009]机械臂，用于对被夹持的晶圆进行传送，所述机械臂的中心位置处设有第一定位识别孔，所述晶圆的圆心处设有第二定位识别孔；
[0010]降温腔体，用于对工艺后的晶圆进行降温，所述降温腔体的基座上的中心位置处设有第三定位识别孔，其中，通过验证所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的圆心是否位于同一条垂直线上，以确定所述机械臂的传送位置。
[0011]优选的，所述定位装置还包括定位销，所述定位销用于校验所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的圆心是否位于同一条垂直线上。
[0012]优选的，所述定位销具有圆柱状的端部，其端部用于插入所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔内，以验证其是否位于同一条垂直线上。
[0013]优选的，所述机械臂上具有存储单元，所述存储单元用于存储通过所述定位销验证后的机械臂的传送位置。
[0014]优选的，所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的孔径大小一致。
[0015]优选的，所述降温腔体基座上的第三定位识别孔为向内表面凹陷的圆形凹槽。
[0016]优选的，所述圆形凹槽的深度为1.5mm?2.5_。
[0017]优选的，所述圆形凹槽的深度为2mm。
[0018]优选的，所述机械臂包括金属机械臂以及机械臂。
[0019]优选的，所述基座上具有划定晶圆区域的多个顶针，所述顶针在所述基座上均匀布置。
[0020]与现有的方案相比，本发明提供的机械臂与降温腔体之间的定位装置，在机械臂、晶圆以及降温腔体的中心位置处分别设有定位识别孔，当各定位识别孔位于同一条垂直线上时，则保证晶圆放置在降温腔体的中心位置处，本发明具有工艺难度低、易于实施、成本低等特点，定位快速精准，避免了现有技术中人工判断偏差的缺陷，且与现有半导体集成电路制造工艺兼容。
【附图说明】
[0021]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本发明中降温腔体基座的结构示意图；
[0023]图2为本发明中机械臂与降温腔体之间的定位装置的结构示意图；
[0024]图3为本发明中金属机械臂与降温腔体之间的定位装置的结构剖面图。
【具体实施方式】
[0025]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
[0026]上述及其它技术特征和有益效果，将结合实施例及附图1-3对本发明的机械臂与降温腔体之间的定位装置进行详细说明。
[0027]如图1至3所示，本发明提供了一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，包括机械臂20以及降温腔体30，机械臂20用于对被夹持的晶圆10进行传送，机械臂20的中心位置处设有第一定位识别孔21，晶圆10的圆心处设有第二定位识别孔11 ;降温腔体30用于对工艺后的晶圆进行降温，降温腔体30的基座上的中心位置处设有第三定位识别孔31，其中，通过验证第一定位识别孔21、第二定位识别孔11以及第三定位识别孔31的圆心是否位于同一条垂直线上，以确定机械臂20的传送位置。
[0028]为了验证第一定位识别孔21、第二定位识别孔11以及第三定位识别孔31的圆心是否位于同一条垂直线上，验证装置为定位销40，即定位销40具有圆柱状的端部，其端部用于插入第一定位识别孔21、第二定位识别孔1