一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法

文档序号:9377919阅读:167来源:国知局
一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器设计制造技术领域,尤其涉及一种用于离线真空吸附玻璃基板的承载机构和基板传送方法。
【背景技术】
[0002]目前,如图1所示,在液晶显示器制造过程中需要对基板5’进行各种工艺,如对基板5’表面溅射各种离子,在溅射过程中需要基板5’直立并进行移动,现有的基板5’的移动过程中大多是通过夹持机构对基板5’进行加持固定,保证基板5’处于直立状态,然后再通过行走机构带动基板5’移动,虽然通过夹持机构能够实现基板5’在行走过程中保持直立状态,但是夹持机构主要是通过夹持器(如方块夹持器12’和三角夹持器11’ )对基板5’进行固定,基板5’与夹持器之间存在一定的缝隙,在基板5’移动过程中存在基板5’晃动脱落的隐患;而对于现有技术中采用真空吸附装置对基板5’进行吸附,真空管始终与真空吸附装置连接,会随着基板5’一起移动,无法实现离线吸附,真空管可能会缠绕钩挂在其他装置上,影响基板5’的移动。

【发明内容】

[0003](一 )要解决的技术问题
[0004]本发明要解决的技术问题是:单独使用夹持机构对基板进行固定,在基板直立行走过程中存在晃动脱落的隐患;使用真空吸附装置对基板进行吸附固定,无法实现离线吸附,整个装置体积更大,限制了基板的移动。
[0005]( 二)技术方案
[0006]为了解决上述技术问题,本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框,所述承载框上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附装置用于对基板进行吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管分开,并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。
[0007]其中,所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧由多条相互连通的管路构成的吸附架,所述吸附架上设置有与管路相互连通的真空吸头;所述真空管与所述管路连通。
[0008]其中,所述真空吸头包括吸盘和吸气管,所述吸气管的一端与吸盘连通,另一端与管路连通。
[0009]其中,所述吸附架上设置有多个真空吸头,多个所述真空吸头上吸盘的吸附面位于同一平面上,且每个所述吸附面均位于所述承载框内。
[0010]其中,所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧的真空板,所述真空板具有中空腔体和位于承载框内的吸附平面,所述吸附平面上设置有多个与所述中空腔体连通的吸附孔,所述真空管与所述中空腔体连通。
[0011]其中,多个所述吸附孔在所述吸附平面上均匀分布。
[0012]其中,所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头和设置在真空管上与第一接头配合的第二接头,所述第一接头上设置有截止阀。
[0013]其中,所述分离装置还包括气缸,所述气缸与第二接头连接,所述分离装置用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换。
[0014]其中,所述夹持器设置有多个,多个所述夹持器成对设置在承载框的两侧;背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开合。
[0015]本发明还提供了一种基板传送方法,包括以下步骤:
[0016]SI,将基板放入承载框内,使用夹持器对基板进行固定;
[0017]S2,利用真空吸附装置对基板吸附固定;
[0018]S3,通过分离装置将真空吸附装置与真空管分开,并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。
[0019](三)有益效果
[0020]本发明的上述技术方案具有如下优点:本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构,在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板进行初步的固定,再通过真空吸附装置对基板进一步的固定,固定的更加牢靠,解决了单独使用夹持机构对基板固定时,基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设置了分离装置,所述分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开,同时在真空管与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板进行吸附,实现离线吸附功能,真空管不会随着基板一起移动,避免了由于真空管的长度不够或者真空管缠绕钩挂在其他装置上影响基板的移动。
【附图说明】
[0021]本发明上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
[0022]图1是现有的用于传送基板的承载机构的结构示意图;
[0023]图2是本发明实施例一所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图;
[0024]图3是本发明实施例一中真空吸头的结构示意图;
[0025]图4是本发明实施例二所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图。
[0026]其中图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为:
[0027]11’、三角夹持器,12’、方块夹持器,5’、基板,1、承载框,11、三角夹持器,12、方块夹持器,2、吸附架,21、管路,22、真空吸头,221、吸盘,222、吸气管,223、吸附面,3、真空板,31、吸附孔,4、真空管,5、基板。
【具体实施方式】
[0028]在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上
[0030]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0031]本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框1,所述承载框I上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附装置用于对基板5进行吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管4分开,并保持真空吸附装置对待运送基板5的持续吸附。本发明提供的用于离线真空吸附基板5的承载机构,在设有夹持器的承载框I上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板5进行初步的固定,再通过真空吸附装置对基板5进一步的固定,固定的更加牢靠,解决了单独使用夹持机构对基板5固定时,基板5在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设置了分离装置,所述分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管4分开,同时在真空管4与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板5进行吸附,实现离线吸附功能,真空管4不会随着基板5 —起移动,避免了由于真空管4的长度不够或者真空管4缠绕钩挂在其他装置上影响基板5的移动。
[0032]实施例一
[0033]如图2所示,本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框1,所述承载框I上设置有真空吸附装置和分离装置,其中所述真空吸附装置包括固定在承载框I 一侧由多条相互连通的管路21构成的吸附架2,所述吸附架2上设置有与管路21相互连通的真空吸头22,优选地,所述吸附架2上设置有多个真空吸头22 (在构成吸附架2的每一条管路21上至少设置有一个真空吸头22),多个真空吸头22在吸附架2上均匀分布,这样真空吸头22对基板5的吸附力更加均匀,吸附效果更好,同时也可避免因基板5受力不均而出现变形的问题;基板5从承载框I的另一侧放入承载框I内,然后通过夹持器夹持固定。
[0034]具体地,如图3所示,所述真空吸头22包括吸盘221和吸气管222,所述吸气管222的一端与吸盘221连通,另一端与管路21连通,所述吸盘221为半球状橡胶吸盘221,多个所述真空吸头22上吸盘221的吸附面223位于同一平面上,且每个所述吸附面223均位于所述承载框I内,保证基板5被吸附在承载框I内,同时由于所有真空吸头22的吸附面223均位于同一平面上,在真空吸头22与基板5吸附在一起时,能够保证二者之间的密封性,为实现离线吸附提供了基础。当然,上述吸附盘不仅仅局限于橡胶材质,其他的弹性材料如树月旨、塑料等,同样也符合上述吸盘221对于密封吸附的要求。
[0035]优选地,所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头(图中未示出)和设置在真空管4上与第一接头配合的第二接头(图中未示出),吸附架2上的管路21通过进气管与真空管4连通,其中第一接头设置在进气管的端部,第二接头设置在真空管4的端部,真空管4和进气管通过第一接头与第二接头的配合连接在一起,同时在进气管上设置有截止阀,通过设置截止阀能够使真空管4与进气管在分开时,保证吸附架2上的管路21内一直维持真空状态,实现离线真空吸附基板5的目的;其中真空管4与真空栗或者动力厂房管路21连通,通过真空栗或者其它真空装置将吸附架2上的管路21内吸成真空,以完成对基板5的吸附。
[0036]优选地,所述分离装置还包括气缸(图中未示出),所述气缸可以设置在承载框I上,也可以设置在其他位置,所述气缸与第二接头连接,所述气缸用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换,即:气缸为第一接头与第二接头
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