具备送风机的激光振荡器的制造方法

文档序号:9378844阅读:426来源:国知局
具备送风机的激光振荡器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具备送风机的激光振荡器。
【背景技术】
[0002]在具备送风机的激光振荡器中,已知使用测速发电机或编码器等旋转检测装置来检测空转状态的送风机的转速,使重新开始送风机的运转时向送风机发送的旋转指令值与检测出的转速一致的技术(例如日本特开平3 - 218083号公报、日本特开平3 — 246982号公报以及日本特开平4 - 22181号公报)。
[0003]从降低激光振荡器的消耗电力的观点出发,希望停止向送风机的驱动部的电力供给,停止送风机的运转。此时,送风机成为空转。为了迅速地使空转状态的送风机的运转重新开始,需要检测重新开始运转时正在空转的送风机的转速。
[0004]然而,根据现有技术,为了检测送风机的转速需要编码器等旋转检测装置,从而导致激光振荡器的制造成本增加。因此,正在寻求能够更廉价且更高精度地推定空转状态的送风机的转速的技术。

【发明内容】

[0005]在本发明的一个方式中,激光振荡器具备:谐振器部,其生成激光;激光介质流路,其向谐振器部导入激光介质,并且从该谐振器部排出该激光介质;送风机,其使激光介质在激光介质流路中流动;驱动部,其驱动送风机;控制部,其控制驱动部;以及压力计,其测量激光介质流路的预先决定的位置的激光介质的压力。
[0006]此外,激光振荡器具备:转速推定部,其根据预先决定的位置的激光介质的压力与送风机的转速之间的预先决定的关系、压力计测量出的激光介质的压力,来推定送风机转速。当停止向送风机的电力供给,送风机进行空转时,控制部对驱动部进行控制,以便以转速推定部推定出的转速重新开始送风机的运转。
[0007]激光振荡器还可以具备能够在停电时向控制部供给电力的不间断电源。激光振荡器还可以具备存储预先决定的关系的存储部。所述预先决定的关系也可以包括分别与激光振荡器的多个运转模式对应的多个关系。
[0008]激光振荡器还可以具备:运转模式判别部,其对照停止向送风机的电力供给时压力计测量出的激光介质的压力与停止向送风机的电力供给时的激光介质的压力控制目标值,来判别运转模式;以及关系选择部,其从多个关系中选择出与运转模式判别部判别出的运转模式对应的关系。转速推定部根据关系选择部选择出的关系来推定送风机的转速。
[0009]激光振荡器还可以具备检测送风机是否正在进行空转的空转检测部。当通过空转检测部检测出送风机的空转结束时,控制部对驱动部进行控制,以转速推定部推定出的转速重新开始送风机的运转。
[0010]激光振荡器还可以具备检测停电以及复电的停电检测部。当通过停电检测部检测出复电时,控制部对驱动部进行控制,以转速推定部推定出的转速重新开始送风机的运转。激光振荡器还可以具备密闭激光介质流路的密闭机构。密闭机构也可以具备能够开闭地闭锁与激光介质流路连通的其他流路的阀机构。在停止向送风机的电力供给的期间,控制部可以闭锁阀机构。
[0011]激光振荡器还可以具备:温度计,其测量激光介质的温度;以及第I修正部,其根据温度计测量出的激光介质的温度来修正压力计测量出的激光介质的压力。转速推定部也可以根据第I修正部修正后的压力来推定送风机的转速。
[0012]激光振荡器还可以具备:流量计,其测量激光介质的流量;以及第2修正部,其根据流量计测量出的激光介质的流量来修正压力计测量出的激光介质的压力。转速推定部也可以根据第2修正部修正后的压力来推定送风机的转速。
【附图说明】
[0013]参照附图对以下的优选的实施方式进行说明,从而使本发明的上述或其他目的、特征以及优点更明确。
[0014]图1是本发明的一个实施方式的激光振荡器的框图。
[0015]图2是仅表示图1所示的激光振荡器中的谐振器部、激光介质流路以及送风机的概要图。
[0016]图3是表示送风机的不同的3个运转状态下的、激光介质流路内的各个位置的激光介质的压力与该位置的关系的曲线图。
[0017]图4是表示送风机的转速与激光介质流路内的预先决定的位置的激光介质的压力之间的关系的曲线图。
[0018]图5是本发明的其他实施方式的激光振荡器的框图。
[0019]图6是表示分别与激光振荡器的不同的3个运转模式对应的3个不同的关系的曲线图,与图4对应。
[0020]图7是本发明的又一其他实施方式的激光振荡器的框图。
[0021]图8是本发明的又一其他实施方式的激光振荡器的框图。
【具体实施方式】
[0022]以下,根据附图对本发明的实施方式进行详细的说明。首先,参照图1,对本发明的一个实施方式的激光振荡器10进行说明。激光振荡器10具备:谐振器部12、激光介质流路14以及送风机16。谐振器部12在其内部填充激光介质,并具有相互相对地配置的放电电极(未图示)。当对放电电极施加预先决定的交流电压时,激发激光介质,生成激光。作为激光介质,例如可以列举二氧化碳。
[0023]激光介质流路14与谐振器部12的内部连通。具体而言,激光介质流路14由与谐振器部12的激光介质入口 12a和激光介质出口 12b连接的闭环流路管构成。激光介质流路14经由激光介质入口 12a向谐振器部12导入激光介质,并且经由激光介质出口 12b从谐振器部12排出激光介质。
[0024]将送风机16设置在激光介质流路14内。具体而言,送风机16具有配置在激光介质流路14内的、包括多个叶片的旋转体和旋转驱动该旋转体的电动机(都未进行图示)。送风机16旋转该旋转体使激光介质流路14内的激光介质产生压力变动,使激光介质向图I中的箭头15所示的方向流动。
[0025]激光振荡器10还具备:驱动部18、控制部20、存储部22以及压力计24。驱动部18驱动送风机16。具体而言,驱动部18例如由高频逆变器构成,向内置于送风机16内的电动机发送交流信号,并以与该交流信号的频率对应的转速旋转驱动送风机16的旋转体。
[0026]控制部20控制驱动部18。具体而言,控制部20向驱动部18发送旋转指令,驱动部18根据从控制部20接收到的旋转指令来驱动送风机16。存储部22例如是由EEPROM (注册商标)等构成的、可进行电擦除以及记录的非易失性存储器。
[0027]控制部20与存储部22进行通信,向存储部22记录数据或者从存储部22擦去数据。将压力计24设置在激光介质流路14内的预先决定的位置26。压力计24根据来自控制部20的指令,测量激光介质流路14内的位置26的激光介质的压力,并将与压力相关的数据发送给控制部20。控制部20将从压力计24接收到的压力数据存储在存储部22中。
[0028]本实施方式的激光振荡器10使用通过压力计24得到的激光介质的压力,推定送风机16的转速。以下,参照图2?图4对该推定方法的原理进行说明。在图2中示出了激光介质流路14内的不同的4个位置A、B、C以及D。
[0029]位置A是送风机16的排出口附近的位置。在本说明书中,将该位置A设成与上述的位置26对应来进行说明。另一方面,位置D是送风机16的吸入口附近的位置。此外,位置B位于在激光介质的流动方向上,位置A的下游侧且谐振器部12的上游侧,位置C位于在激光介质的流动方向上,谐振器部12的下游侧且位置D的上游侧。
[0030]图3是表示送风机16的不同的3个运转状态下的、激光介质流路14内的位置A?D的各自的激光介质的压力P与位置A?D的关系的曲线图。图3的实线28表示送风机16以预定的转速进行通常运转时的、激光介质的压力P与激光介质流路14内的位置A?D的关系。如实线28所示,当送风机16进行通常运转时,位置A中的激光介质的压力最高,然后按照位置B、位置C、位置D的顺序激光介质的压力P变小。
[0031]另一方面,虚线32表示送风机16停止时(即,转速为零)的、激光介质的压力P与位置A?D的关系。当送风机16停止时,激光介质的压力P在位置A?D中成为大致一定的压力。
[0032]双点划线30表示送风机16从实线28所示的通常运转状态减速至虚线32所示的停止状态的途中,或者,从虚线32所示的停止状态加速至实线28所示的通常运转状态的途中的状态下的、激光介质的压力P与位置A?D的关系。
[0033]这样,随着将送风机16从停止状态(转速为零)设为通常运转状态(预定的转速),位置A?D的激光介质的压力P变化为虚线32 —双点划线30 —实线28。S卩,送风机16的转速与激光介质流路14内的激光介质的压力P互相具有相关关系。
[0034]图4表示送风机16的转速R与位置A ( S卩,位置26)的激光介质的压力P之间的关系。如图4所示,当使送风机16的转速R增加时,激光介质的压力P也非线性地增加。根据该关系,可以从激光介质的压力P推定出送风机16的转速R。
[0035]例如,当激光介质的压力P为Pl (或P2)时,可以推定出正在以转速Rl (或R2)驱动送风机16。本实施方式的激光振荡器预先将图4所示的转速R与压力P之间的关系存储在存储部22
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