全自动硅片插片及清洗系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种全自动硅片插片及清洗系统。
【背景技术】
[0002]现有技术中，硅片处理的工序，分别要通过不同的设备来完成，并且各个设备之间是分立开的，一个设备到另一个设备之间要人工进行搬运，费时费力，且容易造成损坏，不利于高效率生产。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种全自动硅片插片及清洗系统，其从插片到清洗实现全自动化，减低人员劳动强度的同时，有效提高生产效率。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案:
一种全自动硅片插片及清洗系统，其实现将硅片插入花篮中并进行清洗的功能，其包括第一传送机构、第二传送机构、第三传送机构、机械手组件、移载机构、清洗机构，所述的第一传送机构包括用于传送硅片的第一传送带；所述的第二传送机构包括用于传送空载花篮的第二传送带；所述的第三传送机构包括用于传送满载花篮的第三传送带；所述的机械手组件包括能够移动地设置在所述的第一传送带、所述的第二传送带与所述的第三传送带三者之间的用于夹持花篮的夹具；所述的移载机构包括用于收纳多个满载花篮的吊筐、用于将所述的第三传送带上的满载花篮转移至所述的吊筐中的转移组件；所述的吊筐上设置有多个具有入口的收纳空间，所述的收纳空间能够收纳多个满载花篮；所述的转移组件包括用于提取所述的第三传送带上的满载花篮的支撑部件、控制所述的支撑部件升降的升降控制单元、控制所述的支撑部件在水平面内摆动的转动控制单元、控制所述的支撑部件及其上的满载花篮移至所述的吊筐中的伸缩控制单元，所述的支撑部件具有便于提取所述的第三传送带上的满载花篮的第一位置和使满载花篮位于所述的收纳空间的入口处的第二位置；所述的伸缩控制单元具有能够将所述的支撑部件上的满载花篮推入所述的收纳空间中的伸出位置和与满载花篮相脱离的缩进位置；所述的清洗机构包括用于对硅片进行清洗的清洗槽，所述的清洗槽内盛装有清洗液。
[0005]优选地，所述的支撑部件为能够从花篮的相对两侧将其托起的两根承托杆，两根所述的承托杆安装在一个托架上。
[0006]进一步优选地，所述的托架的上方设置有一吊臂，所述的升降控制单元包括沿竖直方向设置的升降气缸，所述的升降气缸的缸筒安装在所述的吊臂上，所述的托架固定安装在所述的升降气缸的活塞杆的下端。
[0007]更进一步优选地，所述的转动控制单元包括安装轴承组件及推拉气缸，所述的升降气缸的缸筒的上端通过所述的轴承组件能够转动地安装在所述的吊臂上，所述的推拉气缸的缸筒铰接安装在所述的吊臂上，所述的推拉气缸的活塞杆连接至所述的升降气缸上。
[0008]优选地，所述的伸缩控制单元为两个伸缩气缸，所述的伸缩气缸的缸筒固定安装在所述的托架上，所述的支撑部件上的花篮位于所述的伸缩气缸的活塞杆的伸缩路径上。
[0009]优选地，该系统还包括能够将所述的吊筐移至所述的清洗槽中的吊具。
[0010]进一步优选地，所述的吊筐的相对侧壁上相对向外延伸设置有两对对称分布的凸柱，所述的吊具包括四个能够挂在所述的凸柱上而将所述的吊筐托起的吊钩。
[0011]优选地，该系统还包括设置在所述的第三传送带的传送路径上的能够改变满载花篮的摆放方向的换向单元。
[0012]优选地，所述的吊筐上的各所述的收纳空间相平行设置，且它们的入口朝向相同。
[0013]本发明的有益效果在于:本设计中，从空载花篮的传送、硅片的传送、满载花篮的传送、满载花篮转移到清洗全部都自动化操作，且结构可靠、维护方便，在降低操作人员的劳动强度的同时，能够大大提高生产效率。
【附图说明】
[0014]附图1为本实施例的全自动硅片插片及清洗系统的结构示意图(清洗槽未示出)； 附图2为本实施例的全自动硅片插片及清洗系统中的移载机构的结构示意图一；
附图3为本实施例的全自动硅片插片及清洗系统中的移载机构的结构示意图二；
附图4为本实施例的全自动硅片插片及清洗系统中的部分移载机构的结构示意图。
[0015]附图中:1、第一传送机构；101、第一传送带；2、第二传送机构；201、第二传送带；3、第三传送机构；301、第三传送带；4、机械手组件；401、夹具；5、移载机构；501、吊筐；5011、凸柱;502、收纳空间;503、支撑部件;504、托架;505、吊臂;506、升降气缸；507、轴承组件；508、推拉气缸；509、伸缩气缸；6、花篮；7、硅片。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述:
如附图1所示，一种全自动硅片插片及清洗系统，其实现将硅片7插入花篮6中并进行清洗的功能，其包括第一传送机构1、第二传送机构2、第三传送机构3、机械手组件4、移载机构5、清洗机构，第一传送机构I包括用于传送硅片7的第一传送带101 ;第二传送机构2包括用于传送空载花篮6的第二传送带201 ;第三传送机构3包括用于传送满载花篮6的第三传送带301 ;机械手组件4包括能够移动地设置在第一传送带101、第二传送带201与第三传送带301三者之间的用于夹持花篮6的夹具401。
[0017]如附图2、附图3及附图4所示，移载机构5包括用于收纳多个满载花篮6的吊筐501、用于将第三传送带301上的满载花篮6转移至吊筐501中的转移组件；吊筐501上设置有多个具有入口的收纳空间502，收纳空间502能够收纳多个满载花篮6 ;转移组件包括用于提取第三传送带301上的满载花篮6的支撑部件503、控制支撑部件503升降的升降控制单元、控制支撑部件503在水平面内摆动的转动控制单元、控制支撑部件503及其上的满载花篮6移至吊筐501中的伸缩控制单元，支撑部件503具有便于提取第三传送带301上的满载花篮6的第一位置和使满载花篮6位于收纳空间502的入口处的第二位置；伸缩控制单元具有能够将支撑部件503上的满载花篮6推入收纳空间502中的伸出位置和与满载花篮6相脱离的缩进位置；清洗机构包括用于对硅片7进行清洗的清洗槽，清洗槽内盛装有清洗液。
[0018]本实施例中，支撑部件503为能够从花篮6的相对两侧将其托起的两根承托杆，两根承托杆安装在一个托架504上，托架504的上方设置有一吊臂505，升降控制单元包括沿竖直方向设置的升降气缸506，升降气缸506的缸筒安装在吊臂505上，托架504固定安装在升降气缸506的活塞杆的下端，转动控制单元包括安装轴承组件507及推拉气缸508，升降气缸506的缸筒的上端通过轴承组件507能够转动地安装在吊臂505上，该轴承组件507包括固定安装在吊臂505上的轴承座和安装在