三次连续沉积升温扩散工艺的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及三次连续沉积升温扩散工艺，属于光伏技术领域。
【背景技术】
[0002] 随着现代工业化的发展，不可再生能源日益减少，能源问题越来越成为制约国际 社会经济发展的瓶颈，很多国家开始实行"阳光计划"，开发太阳能资源，为经济发展提供新 的发展动力。在国际光伏市场巨大潜力的推动下，各国的太阳能电池制造商不仅竞相投入 巨资，扩大生产，还纷纷建立研发机构，研发新的太阳能电池项目，提高产品的质量和转换 效率。
[0003] 在竞争激烈的光伏行业，提高转换效率和降低生产成本成为光伏制造商的两大核 心目标。尤其是，光伏制造商可以通过光伏产品更高的光电转换效率拓宽市场，降低成本， 为企业带来更大的利润。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的在于提供一种三次连续沉积升温扩散工艺，把原有的一次沉积分为 三次，提高光的短波响应，提高光伏电池的短路电流和开压，从而提升光伏电池的光电转换 效率。
[0005] 三次连续沉积升温扩散工艺，具体步骤为： (1) 开始：时间为5~20s，温度设置为770~790 °C，大氮流量为7~13L/min，小氮和氧 气的流量均为〇L/min; (2) 进舟：时间为500~900s，温度设置为770~790 °C，大氮流量为7~13L/min，小氮和 氧气的流量为0L/min，进舟速度为300~600mm/min; (3) 升温：时间为300~800s，温度设置为770~790 °C，大氮流量为10~25L/min，小氮 和氧气的流量均为〇L/min; (4) 前氧化：时间为200~700s，温度设置为770~790 °C，大氮流量为10~25L/min，小 氮流量为〇L/min，氧气流量为]-5L/min; (5) 第一次沉积：时间为600~1200s，温度设置为785~805 °C，大氮流量为10~25L/ min，小氮流量为0· 9~2. 2L/min，氧气流量为0· 3~2. 2L/min; (6) 第二次沉积：时间为400~700s，温度设置为805~825 °C，大氮流量为10~25L/min，小氮流量为0· 9~2. 2L/min，氧气流量为0· 3~2. 2L/min; (7) 第三次沉积：时间为200~600s，温度设置为825~845 °C，大氮流量为10~25L/min，小氮流量为0· 9~2. 2L/min，氧气流量为0· 3~2. 2L/min; (8) 推进：时间为200~700s，温度设置为845~865 °C，大氮流量为10~25L/min，小氮 流量为〇L/min，氧气流量为0~2L/min; (9) 后氧化及降温：时间为300~2000s，温度设置为700~800 °C，大氮流量为10~25L/ min，小氮流量为0L/min，氧气流量为]-5L/min; (10) 出舟：时间为700~1200S，温度设置为700~800 °C，大氮流量为7~13L/min，小氮 和氧气的流量为〇L/min，出舟速度为200~400mm/min; (11) 结束：时间为5~20s，温度设置为750~800 °C，大氮流量为7~13L/min，小氮和氧 气的流量均为〇L/min。
[0006] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（3)步至第（4)步的设置温度相同。
[0007] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（5)步比第（4)步的温度高10~20 °C。
[0008] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（6)步比第（5)步的温度高10~20 °C。
[0009] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（7)步比第（6)步的温度高10~20 °C。
[0010] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（8)步比第（7)步的温度高10~20 °C。
[0011] 三次连续沉积升温扩散工艺，其中，第（3)步至第（9)步的工艺气体总量相同。
[0012] 本发明制备的硅片通过四探针测试的方块电阻在75~95 Ω/□之间；后续的刻 蚀、PECVD、丝印烧结等通过传统工艺完成，做出的电池片平均转换效率比传统工艺提升了 0. 2%以上。相对传统工艺两步扩散，该工艺的优点在于有效减小重掺杂"死层"，提高电池 短波响应，提高电池的短路电流和开路电压。
【具体实施方式】
[0013] 以下所述的仅是本发明所公开的三次连续沉积升温扩散工艺的优选实施方式，应 当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所创造构思的前提下，还可以做 出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
[0014] 实施例1，三次连续沉积升温扩散工艺，具体步骤为： (1) 开始：时间为10S，温度设置为780 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流量均 为 0L/min； (2) 进舟：时间为700s，温度设置为780 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流量 为0L/min，进舟速度为300mm/min; (3) 升温：时间为600s，温度设置为780 °C，大氮流量为18L/min，小氮和氧气的流量 均为 0L/min; (4) 前氧化：时间为400s，温度设置为780 °C，大氮流量为16L/min，小氮流量为0L/ min，氧气流量为2L/min; (5) 第一次沉积：时间为800s，温度设置为785~805 °C，大氮流量为14L/min，小氮流 量为2L/min，氧气流量为2L/min; (6) 第二次沉积：时间为400s，温度设置为805~825 °C，大氮流量为14. 4L/min，小氮 流量为1. 8L/min，氧气流量为1. 8L/min; (7) 第三次沉积：时间为200s，温度设置为825~845 °C，大氮流量为14. 8L/min，小氮 流量为1. 6L/min，氧气流量为1. 6L/min; (8) 推进：时间为500s，温度设置为845~865 °C，大氮流量为18L/min，小氮流量为0 L/min，氧气流量为0L/min; (9) 后氧化及降温：时间为600s，温度设置为700 °C，大氮流量为13L/min，小氮流量 为0L/min，氧气流量为5L/min; (10) 出舟：时间为1000s，温度设置为750 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流 量为0L/min，出舟速度为200mm/min; (11)结束：时间为10s，温度设置为780 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流量 均为 0L/min。
[0015] 实施例2,三次连续沉积升温扩散工艺，具体步骤为： (1) 开始：时间为10S，温度设置为780 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流量均 为 0L/min； (2) 进舟：时间为700s，温度设置为780 °C，大氮流量为8L/min，小氮和氧气的流量 为0L/min，进舟速度为300mm/min; (3) 升温：时间为600s，温度设置为780 °C，大氮流量为20L/min，小氮和氧气的流量 均为 0L/min; (4) 前氧化：时间为400s，温度设置为780 °C，大氮流量为18L/min，小氮流量为0L/ min，氧气流量为2L/min; (5) 第一次沉积：时间为800s，温度设置为785~805 °C，大氮流量为17L/min，小氮流 量为2L/min，氧气流量为1L/min; (6) 第二次沉积：时间为400s，温度设置为805~825 °C，大氮流量为17. 3L/min，小氮 流量为1. 8L/min，氧气流量为0· 9L/min; (7) 第三次沉积：时间为200s，温度设置为825~845 °C，大氮流量为17. 6L/min，小氮 流量为1. 6L/min，氧气流量为0· 8L/min; (8) 推进：时间为500s，温度设置为845~865 °C，大氮流量为20L/min，小氮流量为0 L/min，氧气流量为0L/min; (9) 后氧