脱模膜的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种脱模性优异，并且即便在高溫的成型条件下也可抑制树脂的流出 而抑制制品外观的不良的脱模膜。
【背景技术】
[0002] 在半导体制品的制造中，进行如下的半导体塑模工序，使用模具并利用树脂将半 导体忍片密封而制成成型品。在该半导体塑模工序中，在W脱模膜被覆模具内面的状态下 进行树脂成型，由此提高生产率，且防止由树脂引起的模具的污染。W往，通常使用氣系膜 作为半导体塑模工序用脱模膜，但存在成本方面的问题、由热收缩引起的皱權产生、W及在 废弃时因产生氣系气体而无法进行焚烧处理的环境方面的问题等，而要求不使用氣系膜作 为基材的新颖的脱模膜。
[0003] 在专利文献1中记载了含有脱模层（A层）与承担对成形时的加热的耐热性的层 度层）的至少2层的半导体封装用脱模片，且记载了B层由未拉伸的尼龙6树脂构成的情 况。然而，尼龙6树脂存在因吸湿性高，因而不适合长期保管的缺点。
[0004] 作为吸湿性较低的树脂，例如可列举聚醋树脂。在专利文献2中记载了如下层叠 膜，该层叠膜是在由拉伸聚醋树脂膜构成的基材膜的至少单面上层叠有由氣树脂构成的膜 而成的。
[00化]然而，若使用W专利文献2所记载运样的拉伸聚醋树脂膜为支承层的脱模膜，则 有时在进行成型的高溫条件下注入规定量的树脂时，树脂向模具的外侧溢出。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本特开2004-79567号公报
[0009] 专利文献2 :日本特开2006-49850号公报
【发明内容】
[0010] 发明所要解决的课题
[0011] 本发明鉴于上述现状，目的在于提供一种脱模性优异，并且即便在高溫的成型条 件下也可抑制树脂的流出而抑制制品外观的不良的脱模膜。
[0012] 用于解决课题的手段
[0013] 本发明的脱模膜具有：单层结构或多层结构的支承层、和脱模层，该支承层具有至 少1层含有聚对苯二甲酸下二醇醋树脂的层。
[0014] W下对本发明详细地进行说明。
[001引本发明人对如下情况进行了研究，即，为了抑制树脂向模具的外侧溢出（W下，也 称为"树脂的流出"），而提高脱模膜在高溫的成型条件下的柔软性，改善对模具的追随性。 其结果是，发现通过在具有支承层和脱模层的脱模膜中使用具有至少1层含有聚对苯二甲 酸下二醇醋树脂（PBT)的层（W下，也称为"PBT层"）的单层结构或多层结构的支承层，从 而不仅脱模性优异，而且即便在高溫的成型条件下也可抑制树脂的流出，从而完成本发明。
[0016] 本发明的脱模膜含有具有至少1层PBT层的单层结构或多层结构的支承层。
[0017] 上述支承层具有PBT层，由此本发明的脱模膜在高溫的成型条件下的柔软性变 高，从而能够对模具显现充分的追随性，因此可抑制树脂的流出，抑制制品外观的不良。另 夕F，通过使用PBT层，从而本发明的脱模膜与使用氣系膜的情形相比，焚烧处理时的环境负 荷得W减轻，在经济上也有利。此外，PBT是低分子量成分少的树脂，因此可抑制由伴随着 热压的低分子量成分的渗出所引起的模具等的污染。
[0018] 在本说明书中，聚对苯二甲酸下二醇醋树脂（PBT)是通过1,4-下二醇（二醇成 分）与对苯二甲酸或对苯二甲酸二甲醋（酸成分）的缩聚反应而获得的聚对苯二甲酸下二 醇醋，除此W外，也可为通过向上述二醇成分和/或上述酸成分中分别添加共聚单体，进行 缩聚反应而获得的改性聚对苯二甲酸下二醇醋。
[0019] 作为上述二醇成分的共聚单体，可列举：乙二醇、丙二醇、四亚甲基二醇、环己烧二 甲醇等。作为上述酸成分的共聚单体，可列举：间苯二甲酸、己二酸、癸二酸等。二醇成分的 共聚单体及酸成分的共聚单体可各自单独使用，也可并用2种W上。
[0020] 另外，上述聚对苯二甲酸下二醇醋树脂（PBT)也可使用聚对苯二甲酸下二醇醋与 聚亚烷基二醇的共聚物等PBT弹性体（硬链段与软链段的共聚物）。
[0021] 上述PBT层可分别单独含有上述聚对苯二甲酸下二醇醋、改性聚对苯二甲酸下二 醇醋、PBT弹性体，也可组合含有它们的2种W上。
[0022] 关于上述PBT，优选使用差示扫描量热计所测定的烙点为200°CW上。通过使用烙 点为200°CW上的聚对苯二甲酸下二醇醋树脂，从而在小于200°C的通常的热压条件下没 有烙融或被破坏的情况，可发挥出优异的脱模性。上述烙点更优选为220°CW上。
[0023] 需要说明的是，作为差示扫描量热计，例如可列举：DSC2920(TAInstruments公 司制造）等。
[0024] 上述PBT层中的PBT的含量的优选下限为60重量％，更优选为70重量％，进一步 优选为80重量％。通过PBT层含有60重量％W上的PBT，从而可可靠地发挥出如下本发明 的优异效果：即便在高溫的成型条件下也抑制树脂的流出，抑制制品外观的不良。上述聚对 苯二甲酸下二醇醋树脂的含量的上限并无特别限定，也可100重量％为聚对苯二甲酸下二 醇醋树脂。 阳0巧]上述PBT层也可在不损害本发明的效果的范围内含有除上述聚对苯二甲酸下二 醇醋树脂W外的热塑性树脂或橡胶成分。
[0026] 上述热塑性树脂并无特别限定，例如可列举：聚締控、改性聚締控、聚苯乙締、聚氯 乙締、聚酷胺、聚碳酸醋、聚讽、聚醋等。
[0027] 上述橡胶成分并无特别限定，例如可列举：天然橡胶、苯乙締-下二締共聚物、聚 下二締、聚异戊二締、丙締腊-下二締共聚物、乙締-丙締共聚物巧PM、EPDM)、聚氯下二締、 下基橡胶、丙締酸系橡胶、娃橡胶、聚氨醋橡胶等。
[0028] 上述PBT层也可在不损害本发明的效果的范围内含有稳定剂、纤维、无机填充剂、 阻燃剂、紫外线吸收剂、抗静电剂、无机物、高级脂肪酸盐等添加剂。
[0029] 上述稳定剂并无特别限定，例如可列举：受阻酪系抗氧化剂、热稳定剂等。上述 受阻酪系抗氧化剂并无特别限定，例如可列举：1，3, 5-S甲基-2,4,6-S(3, 5-二-叔下 基-4-径基苄基）苯、3,9-双{2-[3-(3-叔下基-4-径基-5-甲基苯基）-丙酷氧基]-I， 1-二甲基乙基}-2,4,8，10-四氧杂螺[5，引十一烧等。上述热稳定剂并无特别限定，例如可 列举：亚憐酸S(2,4-二-叔下基苯基）醋、亚憐酸S月桂醋、亚憐酸2-叔下基-a-(3-叔 下基-4-径基苯基）-对异丙苯基双（对壬基苯基）醋、3,3'-硫代二丙酸二肉豆違醋、3， 3'-硫代二丙酸二硬脂醋、季戊四醇四（硫代丙酸3-月桂醋）、3,3'-硫代二丙酸双十= 烷基酯等。
[0030] 上述纤维可为无机纤维，也可为有机纤维。上述无机纤维并无特别限定，例如可列 举：玻璃纤维、碳纤维、棚纤维、碳化娃纤维、氧化侣纤维、非晶纤维、娃-铁-碳系纤维等。 上述有机纤维并无特别限定，例如可列举：芳族聚酷胺纤维等。
[0031] 上述无机填充剂并无特别限定，例如可列举：碳酸巧、氧化铁、云母、滑石等。
[0032] 上述阻燃剂并无特别限定，例如可列举：六漠环十二烧、憐酸=-(2, 3-二氯丙基） 醋、五漠苯基締丙酸等。
[0033] 上述紫外线吸收剂并无特别限定，例如可列举：水杨酸对叔下基苯基醋、2-径 基-4-甲氧基二苯甲酬、2-径基-4-甲氧基-2-簇基二苯甲酬、2,4,5-=径基丙基苯基酬 等。
[0034] 上述抗静电剂并无特别限定，例如可列举：N，N-双（径基乙基）烷基胺、烷基締丙 基横酸盐、烷基横酸盐等。
[0035] 上述无机物并无特别限定，例如可列举：硫酸领、氧化侣、氧化娃等。
[0036] 上述高级脂肪酸盐并无特别限定，例如可列举：硬脂酸钢、硬脂酸领、栋桐酸钢等。
[0037] 本发明的脱模膜支承层为多层的膜的情形时，也可具有中间层。在该情形时，含有 聚对苯二甲酸下二醇醋树脂的层优选处于与脱模层相反侧的最外层。
[0038] 上述中间层优选含有聚締控系树脂。
[0039] 作为上述聚締控系树脂，例如可列举：聚乙締、低密度聚乙締、直链状低密度聚乙 締、聚丙締、乙締-甲基丙締酸甲醋共聚物、乙締-乙酸乙締醋共聚物、乙締-丙締酸乙醋共 聚物、乙締-丙締酸共聚物等。运些聚乙締树脂可单独使用，也可并用2种W上。
[0040] 上述中间层也可与上述表层同样地含有纤维、无机填充剂、阻燃剂、紫外线吸收 剂、抗静电剂、无机物、高级脂肪酸盐等添加剂。
[0041] 上述支承层可为未拉伸树脂层，也可为拉伸树脂层，但就尤其是在高溫的成型条 件下的柔软性高，对模具的追随性高的方面而言，优选为未拉伸树脂层。另外，上述支