封装方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种封装方法。
【背景技术】
[0002]晶圆级封装(Wafer Level Packaging，简称WLP)技术是对整片晶圆进行封装测试后再切割得到单个成品芯片的技术，封装后的芯片尺寸与裸片完全一致。与陶瓷无引线芯片载具(Ceramic Leadless Chip Carrier)或有机无引线芯片载具(Organic LeadlessChip Carrier)等模式相比，晶圆级封装技术具有更轻、更小、更短、更薄以及更廉价等优点。经晶圆级封装技术封装后的芯片尺寸能够达到高度微型化，则芯片的制造成本随着芯片尺寸的减小和晶圆尺寸的增大而显著降低。晶圆级封装技术是可以将1C设计、晶圆制造、封装测试、基板制造整合为一体的技术，是当前封装领域的热点和未来发展的趋势。
[0003]扇出晶圆封装是晶圆级封装的一种。扇出晶圆封装方法包括以下工艺步骤:在载体表面形成剥离膜，并在剥离膜表面形成第一介质层，在第一介质层上形成第一图形层，所述第一图形层具有第一开口 ；在第一开口内形成用于与基板端连接的第一金属电极，在第一图形层表面形成再布线金属层；在第一金属电极表面、再布线金属层表面以及第一介质层表面形成第二介质层，并在第二介质层表面形成第二图形层，所述第二图形层具有第二开口 ；在第二开口内形成用于与芯片端连接的第二金属电极；将芯片倒装至第二金属电极后，在第二介质层和芯片表面形成塑封层，所述塑封层包围所述芯片，形成封装结构；将载体和剥离膜与封装结构分离；植球回流，形成焊球；单片切割，形成扇出芯片封装结构。
[0004]然而，现有的晶圆级封装技术的可靠性较差，以现有的晶圆级封装技术形成的封装结构良率较低。
【发明内容】
[0005]本发明解决的问题是提供一种封装方法，提高封装产品的良率和可靠性。
[0006]为解决上述问题，本发明提供一种封装方法，包括:
[0007]提供载板，所述载板包括若干芯片区以及位于相邻芯片区之间的切割区，所述载板包括第一表面；
[0008]在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽；
[0009]提供芯片，所述芯片包括相对的功能面和非功能面；
[0010]将所述芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定；
[0011 ] 在将芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定之后，在所述芯片的功能面表面形成凸点；
[0012]在所述载板第一表面和芯片表面形成塑封层，所述塑封层暴露出所述凸点的顶部表面；
[0013]在形成所述塑封层之后，去除所述载板；
[0014]在所述塑封层表面和凸点的顶部表面形成再布线结构；
[0015]对所述塑封层和再布线结构进行切割，使若干芯片相互分立，形成独立的封装结构。
[0016]可选的，所述凸点的形成工艺包括引线键合工艺。
[0017]可选的，所述凸点的材料为金、银、铜、金合金、银合金或铜合金。
[0018]可选的，所述凸点包括若干堆叠的子凸点；在每进行一次引线键和工艺形成子凸点之后，对所形成的子凸点进行压平。
[0019]可选的，所述芯片的功能面表面暴露出焊垫；所述焊垫表面低于或齐平于所述芯片的功能面；所述凸点位于所述焊垫表面。
[0020]可选的，将所述芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定的步骤包括:在所述芯片的非功能面粘贴第一粘结层；将所述第一粘结层与载板芯片区的第一表面相互粘接，以固定芯片的非功能面和载板芯片区的第一表面。
[0021]可选的，将所述芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定的步骤包括:在所述载板的第一表面涂布第二粘结层；将芯片的非功能面粘接于所述第二粘结层表面，并使所述芯片位于载板芯片区内。
[0022]可选的，在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽的工艺为激光切割工艺。
[0023]可选的，在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽的步骤包括:在所述载板的第一表面形成掩膜层，所述掩膜层暴露出载板的切割区；以所述掩膜层为掩膜，刻蚀所述载板，在所述载板的第一表面形成凹槽。
[0024]可选的，所述刻蚀工艺为干法刻蚀工艺或湿法刻蚀工艺。
[0025]可选的，所述凹槽垂直于载板第一表面方向的横截面形状为V型或U型；当所述凹槽的横截面形状为V型时，所述凹槽的底部尺寸小于顶部尺寸，所述凹槽底部具有顶角；当所述凹槽的横截面形状为U型时，所述凹槽的侧壁垂直于载板的第一表面。
[0026]可选的，所述塑封层的形成步骤包括:采用塑封工艺在所述载板第一表面和芯片表面形成初始塑封层，所述初始塑封层覆盖所述芯片的功能面和凸点；平坦化所述初始塑封层，直至暴露出所述凸点顶部为止，形成所述塑封层。
[0027]可选的，还包括:在去除所述载板之后，形成所述再布线结构之前，对所述塑封层表面和芯片表面进行清洗。
[0028]可选的，所述塑封层还位于所述凹槽内；在去除所述载板之后，位于所述凹槽内的部分塑封层形成凸起；在形成所述再布线结构之前，还包括去除所述凸起。
[0029]可选的，还包括:在形成所述再布线结构之前，在所述塑封层表面形成第一绝缘层，所述第一绝缘层内具有暴露出所述芯片表面凸点的第一通孔；在所述第一通孔内以及部分第一绝缘层表面形成所述再布线结构。
[0030]可选的，还包括:形成所述再布线结构之后，对所述载板、塑封层和再布线结构进行切割之前，在所述再布线结构表面形成焊球。
[0031]可选的，还包括:在形成所述焊球之前，在所述再布线结构表面形成第二绝缘层，所述第二绝缘层内具有暴露出部分再布线结构的第二通孔；在所述第二通孔内形成所述焊球。
[0032]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0033]本发明的封装方法中，在将芯片的非功能面固定于载板芯片区的第一表面之前，在载板的切割区内形成若干凹槽，能够通过所述凹槽，使后续形成的塑封层与所述载板之间，因热膨胀系数差异而产生的应力得以释放，以此消除由应力引起的芯片漂移问题以及塑封层曲翘问题。所述凹槽形成于切割区内，而所述切割区位于相邻芯片区之间，所述芯片区用于固定芯片，则所述凹槽位于相邻芯片之间的载板内。在形成所述塑封层的过程中，由于所述凹槽为载板的热膨胀预留了空间，从而能够释放因载板与塑封层之间因热膨胀差异而产生的应力，从而抑制固定于载板表面的芯片发生漂移现象。同时，由于所述应力得以释放，从而能够抑制所形成的塑封层发生曲翘问题。则后续形成的再布线结构与所述芯片之间的位置对准精确。因此，所形成的封装结构的良率提高，可靠性增强。
[0034]进一步，在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽的工艺为激光切割工艺，所述激光切割工艺能够直接在所述载板的第一表面进行对准并切割，因此，采用所述激光切割工艺形成凹槽更为简单，且所形成的凹槽位置更为精确，且对于载板表面的损伤更小。
【附图说明】
[0035]图1是一种晶圆级封装结构实施例的剖面结构示意图；
[0036]图2至图15是本发明实施例的封装过程的结构示意图。
【具体实施方式】
[0037]如【背景技术】所述，现有的晶圆级封装技术的可靠性较差，以现有的晶圆级封装技术形成的封装结构良率较低。
[0038]请参考图1，图1是一种晶圆级封装结构实施例的剖面结构示意图，包括:载板100 ;固定于载板100表面的若干芯片101，所述芯片101包括功能面；覆盖于所述载板100和若干芯片101表面的塑封层102。其中，在所述载板100表面粘接芯片101之后，通过注塑或转注等塑封工艺形成所述塑封层102，且所述塑封层102包裹所述芯片101。在形成塑封层102之后，还包括:去除所述载板100，并暴露出芯片101的功能面；在塑封层102和芯片101功能面表面形成再布线层；在所述再布线层表面植球；在植球之后，对所述再布线层和塑封层102进行切割，使若干芯片101相互分立，且各芯片101表面由塑封层102包裹。
[0039]然而，经过研究发现，由于所述载板100的材料通常为PCB基板、玻璃基板、金属基板或半导体基板，所述芯片101通常由晶圆制造而成，而所述塑封层102的材料通常是树脂等聚合物材料，因此，所述塑封层102与载板100之间，或塑封层102与芯片101之间均容易因材料之间的热膨胀差异而产生应力。而且，对于整片载板100而言，所述应力会自载板100中心向边缘逐渐累积，致使载板100的边缘应力大于中心的应力。而所述载板100表面粘接有若干芯片101，由于所述载板100中心和边缘的应力差异，容易引起芯片漂移，尤其是越靠近所述载板100的边缘，所述芯片101发生漂移的现象更严重。
[0040]所述芯片101 —旦发生漂移，则会对后续工艺的对位精度造成妨碍；例如，在去除载板100之后，在塑封层102和芯片101功能面表面形成再布线层时，或者在所述再布线层表面植球时，由于芯片101的漂移，容易使再布线层的对位或植球对位发生偏差，从而降低了广品的良率。
[0041]其次，由于所述载板100和塑封层102之间的应力影响，还容易在采用塑封工艺形成所述塑封层102之后，引起塑封层102相对于整片载板100发生翘曲，同样容易对后续工艺的对位精度造成