具备激光媒介物流道的激光振荡器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备用于使激光媒介物循环的激光媒介物流道的激光振荡器。
【背景技术】
[0002]已知在具备配置于两个放电管之间的激光光路上的折回镜的激光振荡器中能够防止激光媒介物的流动在该折回镜的周围滞留的技术(例如，日本特开昭63-239888号公报以及日本特开2010-171145号公报)。
[0003]在具备多个放电管的激光振荡器中，这些放电管内的激光媒介物的压力分布互相不同时，产生的激光的激光功率不稳定。因此，谋求能使多个放电管内的激光媒介物的压力分布为一定、且不会滞留激光媒介物而循环的技术。
【发明内容】
[0004]涉及本发明的激光振荡器具备第一放电管及第二放电管、配置于第一放电管的第一端部与第二放电管的第一端部之间的第一导光管、流体化地与第一放电管、第二放电管以及第一导光管的每一个连通的激光媒介物流道、设置于激光媒介物流道并使激光媒介物在该激光媒介物流道、第一放电管以及第二放电管中循环的送风机。
[0005]送风机的排出口与第一放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻和排出口与第二放电管的第一端部之间的激光媒介物流道电阻互相相同。送风机的吸入口和与第一放电管相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口和第二放电管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻互相相同。
[0006]排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、排出口和第一导光管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻互相不同。
[0007]排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的长度可以比排出口与第一导光管的第二端部之间的激光媒介物流道的长度短。排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道包括具备第一相当直径的部分，排出口与第一导光管的第二端部之间的激光媒介物流道可以包括具有比第一相当直径小的第二相当直径的部分。
[0008]激光振荡器还可以具备配置于排出口的下游侧以及吸入口的上游侧中的至少一侦h从对通过的激光媒介物除去热量的热交换器。激光振荡器还可以具备调整流经第一导光管内部的激光媒介物的流量的第一流量调整部。
[0009]流经第一放电管以及第二放电管内部的激光媒介物的流量相对于流经第一导光管内部的激光媒介物的流量的比大于10且小于15。
[0010]激光振荡器还可以具备具有第一端部以及与该第一端部相反侧的第二端部的第三放电管、配置于第二放电管的第二端部与第三放电管的第二端部之间的第二导光管。在这种情况中，激光媒介物流道可以流体化地与第二导光管和第三放电管的每一个连通。
[0011]排出口与第三放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、排出口与第一放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相相同。吸入口与第三放电管的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口与第一放电管的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相相同。
[0012]吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口和第二导光管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相不同。
[0013]吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的长度可以比吸入口与第二导光管的第二端部之间的激光媒介物流道的长度长。吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道包括具备第三相当直径的部分，吸入口与第二导光管的第二端部之间的激光媒介物流道可以包括具备比第三相当直径大的第四相当直径的部分。
[0014]流经第一放电管、第二放电管以及第三放电管内部的激光媒介物的流量相对于流经第一导光管以及第二导光管内部的激光媒介物的流量的比可以大于10且小于15。激光振荡器还可以具备调整流经第二导光管内部的激光媒介物的流量的第二流量调整部。
【附图说明】
[0015]本发明的上述或其他的目的、特征以及优点通过参照【附图说明】以下适当的实施方式，会更加清楚。
[0016]图1是涉及一实施方式的激光振荡器的概略图。
[0017]图2表示图1中所示的激光媒介物流道的等效电路。
[0018]图3表示图1中所示的激光媒介物流道的一例。
[0019]图4表示图1中所示的激光媒介物流道的其他例子。
[0020]图5表示图1中所示的激光媒介物流道的另一其他例子。
[0021]图6是涉及其他实施方式的激光振荡器的概略图。
[0022]图7A是表不图6中所不的光圈机构的一例的图，表不光圈机构全部打开的状态。
[0023]图7B表不光圈机构半开的状态。
[0024]图7C表示光圈机构最紧闭的状态。
[0025]图8是表示流经放电管内的激光媒介物的流量相对于流经导光管内的激光媒介物流量的比、产生的激光的激光功率、激光功率稳定性之间的关系性的图表。
[0026]图9是涉及另一其他实施方式的激光振荡器的概略图。
[0027]图10表示图9中所示的激光媒介物流道的等效电路。
[0028]图11表示图9中所示的激光媒介物流道的其他例子。
[0029]图12是涉及又一其他实施方式的激光振荡器的概略图。
【具体实施方式】
[0030]以下，基于附图详细说明本发明的实施方式。首先，参照图1，关于涉及本发明的一实施方式的激光振荡器10进行说明。并且，在以下所说明的各种实施方式中，在相同的要素上标注相同的符号，省略详细说明。
[0031]激光振荡器10具备输出镜12、后部镜14、第一放电管16、第二放电管18、导光管(第一导光管)20、激光媒介物流道22以及送风机24。输出镜12以及后部镜14通过导光管20相互光学性连结。
[0032]输出镜12由局部反射镜(所谓的半透半反镜)构成，在接收从后部镜14传播的激光的一侧具有凹面12a。输出镜12使在凹面12a入射的激光的一部分透过，向外部射出。
[0033]后部镜14由全反射镜构成，在接收从输出镜12传播的激光的一侧具有凹面14a。后部镜14几乎将在凹面14a入射的激光全反射。
[0034]第一放电管16是具备第一端部16a、与该第一端部16a相反侧的第二端部16b的中空部件。第一放电管16以其第二端部16b面向输出镜12的方式配置。第一放电管16具备由石英等构成的内周面、设置放电电极(未图示)的外周面。放电电极电连接于放电电源(未图示)。
[0035]第二放电管18具备与第一放电管16相同的结构。具体地说，第二放电管18是具备第一端部18a、与该第一端部18a相反侧的第二端部18b的中空部件。
[0036]第二放电管18以其第二端部18b面向后部镜14的方式配置。第二放电管18具备由石英等构成的内周面、设置放电电极(未图示)的外周面。放电电极电连接于放电电源(未图示)。
[0037]导光管20配置于第一放电管16的第一端部16a与第二放电管18的第一端部18a之间。导光管20是具备第一端部20a、与该第一端部20a相反侧的第二端部20b的中空部件。导光管20将从输出镜12传播的激光向后部镜14导光，并且，将从后部镜14传播的激光向输出镜12导光。
[0038]具体地说，在导光管20上设置第一折回镜26以及第二折回镜28。第一折回镜26由全反射镜构成，在从输出镜12传播的激光的光路上以相对于该光路成45°的角度倾斜的方式配置。
[0039]第一折回镜26将从输出镜12传播的激光向第二折回镜28反射，另一方面，将从第二折回镜28传播的激光向输出镜12反射。
[0040]第二折回镜28由全反射镜构成，在从第一折回镜26传播的激光的光路上以相对于该光路倾斜45°的方式配置。
[0041]第二折回镜28将从第一折回镜26传播的激光向后部镜14反射，另一方面，将从后部镜14传播的激光向第一折回镜26反射。
[0042]激光媒介物流道22是与第一放电管16、第二放电管18以及导光管20的各自的内部流体化连通的管状部件，承担使含有二氧化碳等的激光媒介物在第一放电管16、第二放电管18以及导光管20内循环的功能。
[0043]送风机24设置于激光媒介物流道22内。送风机24例如是轴流型送风机，在激光媒介物流道22内的激光媒介物中产生压力变动，使激光媒介物向图1中的箭头30所示的方向流动。
[0044]以下，关于涉及本实施方式的激光媒介物流道22的结构，更详细地进行说明。激光媒介物流道22具备在送风机24的排出口 24a与分支部32之间延伸的流道34、在分支部32与分支部36之间延伸的流道38、在分支部32与分支部40之间延伸的流道42。
[0045]分支部32、36以及40由如三通接头管构成。分支部32配置于送风机24的排出口 24a的下游侧。在流道34上设置热交换器44。热交换器44从通过的激光媒介物中除去热。
[0046]分支部36配置于分支部32的下游侧且